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公开(公告)号：KR1020100074039A
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：KR1020090128441
申请日：2009-12-21
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 우치다요헤이
IPC: B01F15/02 , B01F3/02 , C23C16/455 , H01L21/205
CPC classification number: F17D1/04
Abstract: PURPOSE: A method for supplying mixture gas is provided to save energy by reducing necessary electric energy. CONSTITUTION: A method for supplying mixture gas comprises: a step of supplying plural gases through plural separate gas supply lines(1A-1M); a step of supplying the mixture gas through a gas outlet(51) by a mixture gas supply line(70); and a step of supplying liquid fuel gas and general gas.
Abstract translation: 目的：提供混合气体的提供方法，通过减少必要的电能来节约能源。 构成：提供混合气体的方法包括：通过多个单独的气体供应管线（1A-1M）供应多个气体的步骤; 通过混合气体供给管线（70）将混合气体供给气体出口（51）的步骤; 以及供给液体燃料气体和普通气体的步骤。
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公开(公告)号：KR101596048B1
公开(公告)日：2016-02-19
申请号：KR1020090128441
申请日：2009-12-21
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 우치다요헤이
IPC: B01F15/02 , B01F3/02 , C23C16/455 , H01L21/205
CPC classification number: F17D1/04
Abstract: 본발명은액체원료를가열해서기화시킨액체원료가스를사용하는경우에있어서, 종래에비해히터에의한가열에필요한전력량을저감할수 있어, 에너지절약화를도모할수 있는혼합가스의공급방법및 혼합가스의공급장치를제공한다. 가스공급원으로부터기체의상태로공급되는통상가스와, 액체원료공급원으로부터공급되는액체원료를기화유닛을갖는유량제어기기(14)로가열해서기화시킨액체원료가스를동시에공급할때에, 통상가스보다액체원료가스를상기개별가스공급라인중 가스아웃부(51)에가까운위치에마련한개별가스공급라인(1A)으로부터공급하고, 또한통상가스중의파티클을제거하기위한필터(53)의하류측에액체원료가스를공급한다.
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公开(公告)号：KR1020150018773A
公开(公告)日：2015-02-24
申请号：KR1020147028375
申请日：2013-05-09
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 우치다요헤이
IPC: H01L21/3065 , H01L21/02
CPC classification number: H01L21/67069 , C23C16/45563 , C23C16/45565 , H01J37/32091 , H01J37/3244
Abstract: 처리 공간에서 보다 균일하게 플라즈마를 분포시킬 수 있는 가스 공급 장치를 제공한다. 처리 가스 공급원 및 부가 가스 공급원으로부터 처리 공간(S)으로 처리 가스 및 부가 가스를 공급하는 샤워 헤드(13)(가스 공급 장치)는, 복수의 가스 분배판(28 ~ 31)과, 냉각판(32)과, 덮개판(33)을 구비하고, 가스 분배판(28 ~ 31), 냉각판(32) 및 덮개판(33)이 적층되고, 최하층의 가스 분배판(28)에는 주연 가스 확산실(35) 및 최외 가스 확산실(36)이 형성되고, 가스 분배판(28 ~ 31)의 각각에는 처리 가스 공급원 또는 부가 가스 공급원으로부터 주연 가스 확산실(35) 및 최외 가스 확산실(36)의 어느 일방으로 처리 가스 및 부가 가스를 공급하는 적어도 1 개의 가스 공급로(52(53, 54 또는 55))가 형성되고, 예를 들면 가스 분배판(31)의 가스 공급로(52)는 복수의 분기로(52b ~ 52e)로 분기되고, 처리 가스 공급원으로부터 각 분기로(52b ~ 52e)의 선단까지의 거리는 동일하다.
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公开(公告)号：KR102069773B1
公开(公告)日：2020-01-23
申请号：KR1020130071639
申请日：2013-06-21
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01J37/32 , H01L21/683
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公开(公告)号：KR1020140067920A
公开(公告)日：2014-06-05
申请号：KR1020130143640
申请日：2013-11-25
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 우치다요헤이
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/6833 , H01J37/32642 , H01J37/32697 , H01J37/32715 , H01L21/6831
Abstract: In a mounting table structure of an embodiment of the present invention, a sheet with heat transferring properties is interposed between a focus ring and a base. A press member of the mounting table structure comprises a press surface and multiple contact surfaces facing towards a lower part and installed at constant intervals in the circumference direction. A support part connected to the base includes multiple first contacted surfaces and multiple second contacted surfaces. The multiple first contacted surfaces are installed at constant intervals in the circumference direction. The multiple second contacted surfaces are installed to be alternated with the multiple first contacted surfaces at constant intervals in the circumference direction. The multiple first contacted surfaces and the multiple second contacted surfaces are installed at different positions in the height direction. Multiple contacting surfaces protrude from a different part of the press member at a distance which is larger than distances in the height direction of the multiple first contacted surfaces and the multiple second contacted surfaces.
Abstract translation: 在本发明的实施例的安装台结构中，具有传热性的片材插入在聚焦环和基底之间。 安装台结构的按压构件包括压制表面和面向下部的多个接触表面，并且在圆周方向上以恒定的间隔安装。 连接到基座的支撑部分包括多个第一接触表面和多个第二接触表面。 多个第一接触表面在圆周方向上以恒定的间隔安装。 多个第二接触表面安装成与圆周方向上恒定间隔的多个第一接触表面交替。 多个第一接触表面和多个第二接触表面安装在高度方向上的不同位置。 多个接触表面以比多个第一接触表面和多个第二接触表面的高度方向上的距离大的距离从按压构件的不同部分突出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR102070702B1
公开(公告)日：2020-01-29
申请号：KR1020147028375
申请日：2013-05-09
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 우치다요헤이
IPC: H01L21/3065 , H01L21/02
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公开(公告)号：KR101669277B1
公开(公告)日：2016-10-25
申请号：KR1020090128448
申请日：2009-12-21
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: B01F15/02 , B01F3/02 , C23C16/455 , H01L21/205
CPC classification number: G05D11/132 , Y10T137/0363 , Y10T137/8122 , Y10T137/87684
Abstract: 본발명은소유량가스가처리챔버에도달하는시간에큰 지연이발생하는것을억제할수 있고, 소정의혼합가스를보다빨리가스사용대상에공급할수 있는혼합가스의공급방법및 혼합가스의공급장치를제공한다. 공통배관(10)에접속된복수의개별가스공급라인(1A 내지 1P)을통하여복수종의가스를공급하고, 해당복수종의가스의혼합가스를, 상기공통배관(10)의가스아웃부(11)를통해서혼합가스공급라인에의해처리챔버(30)에공급하는혼합가스의공급방법으로서, 유량이다른 2종류이상의가스를동시에공급할때에, 유량이적은가스를, 유량이많은가스보다가스아웃부(11)에가까운위치에마련한개별가스공급라인(1A 내지 1P)으로부터공급한다.
Abstract translation: 本发明提供一种混合气体供给方法和混合气体供给装置，其能够抑制推进剂气体到达处理室的时间产生较大的延迟，能够更迅速地向燃气使用对象物供给规定的混合气体 。 通过连接到公共管10的多个单独的气体供应管线1A到1P供应多种气体，并且将多种气体的混合气体供应到气体出口 11.一种通过气体供给管路（11）通过混合气体供给管路向处理室（30）供给混合气体的方法，其特征在于，当同时供给流量不同的两种以上的气体时， 从靠近出口（11）的位置处提供的各个气体供应管线（1A至1P）。
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公开(公告)号：KR1020100074040A
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：KR1020090128448
申请日：2009-12-21
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: B01F15/02 , B01F3/02 , C23C16/455 , H01L21/205
CPC classification number: G05D11/132 , Y10T137/0363 , Y10T137/8122 , Y10T137/87684 , B01F15/02 , B01F3/02 , C23C16/455 , F17D1/02 , G05D7/00 , H01L21/205
Abstract: PURPOSE: A method and apparatus for supplying mixture gas are provided to suppress delay of time of reaching a treat chamber and to supply gas quickly. CONSTITUTION: A method for supplying mixture gas comprises: a supplying plural kinds of gas though gas supply lines(1A-1P); a step of supplying the mixture gas through a gas outlet(11) of a common pipe by a mixture gas supply line(20); and a step of firstly supplying gas having less flow amount in case of supplying two different gases.
Abstract translation: 目的：提供一种供应混合气体的方法和装置，以抑制到达处理室的时间延迟并快速供应气体。 构成：提供混合气体的方法包括：通过气体供应管线（1A-1P）供应多种气体; 通过混合气体供给管线（20）将混合气体供给到共用管道的气体出口（11）的步骤; 以及在供给两种不同气体的情况下首先供给流量少的气体的步骤。
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公开(公告)号：KR101754257B1
公开(公告)日：2017-07-06
申请号：KR1020130143640
申请日：2013-11-25
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 우치다요헤이
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/6833 , H01J37/32642 , H01J37/32697 , H01J37/32715 , H01L21/6831
Abstract: 일실시예의재치대구조에서는, 포커스링과기부의사이에전열성의시트가개재된다. 이재치대구조의누름부재는, 포커스링을기부를향해누르는누름면과, 하방을향하고있고, 둘레방향에서소정의간격으로설치된복수의접촉면을가진다. 또한, 기부와연결된지지부가, 복수의제 1 피접촉면및 복수의제 2 피접촉면을가지고있다. 복수의제 1 피접촉면은, 둘레방향에서소정의간격으로설치되어있다. 복수의제 2 피접촉면은, 복수의제 1 피접촉면과교호로둘레방향에서소정의간격으로설치되어있다. 복수의제 1 피접촉면과복수의제 2 피접촉면은, 높이방향에서상이한위치에설치되어있다. 복수의접촉면은, 복수의제 1 피접촉면과복수의제 2 피접촉면의상기높이방향에서의거리보다큰 거리로, 누름부재의다른부분으로부터돌출되어있다.
Abstract translation: 在一个实施例的安装结构中，导热片插入在聚焦环和散热器之间。 滑动构件结构的按压构件具有用于将聚焦环朝向基部按压的按压面和朝向下方且在周向上以预定间隔设置的多个接触面。 此外，连接到基部的支撑部分具有多个第一接触表面和多个第二接触表面。 多个第一接触表面沿圆周方向以预定间隔设置。 多个第二被接触面在周向上与多个第一被接触面交替地以预定间隔设置。 多个第一被接触表面和多个第二被接触表面设置在高度方向上的不同位置处。 多个接触面从按压部件的其他部分以比多个第一被接触面与多个第二被接触面之间的高度方向的距离大的距离突出。
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公开(公告)号：KR101661003B1
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：KR1020117020923
申请日：2009-11-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 가부시키가이샤 후지킨
IPC: G05D7/06 , C23C16/455 , H01L21/67
CPC classification number: C23C16/45561 , H01L21/67017 , Y10T137/0396
Abstract: 본발명은, 비용을절감하고, 스페이스의감소도가능하게한 유체제어장치를제공하는것을목적으로한다. 유체제어장치(1)는, 유체제어부(2)와유체도입부(3)를포함하고있다. 유체도입부(3)는, 3개로나누어져있고, 입구측에배치되어각각 2×N/2개의개폐밸브(23)로이루어진제1 및제2 입구측차단개방부(5, 6)와, 4×M개의개폐밸브(23)로이루어지며, 제1 및제2 입구측차단개방부(5, 6)와유체제어부(2) 사이에배치된유체제어부측차단개방부(7)를포함한다.
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