公开(公告)号：KR1020120084792A

公开(公告)日：2012-07-30

申请号：KR1020127015541

申请日：2010-12-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이시다히사끼 ,  하야시마사또 ,  히가시고오다이

IPC: G01K1/18 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01K1/18 ,  H01L21/67248 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/8592 ,  H01L2924/00014

Abstract: 본 발명에 관한 온도 측정용 장치는, 기판(2)과, 기판(2)의 한쪽의 면에 배치된 온도 센서(3)와, 온도 센서(3)를 사용하여 온도를 검출하는 회로와 온도 센서(3) 사이를 전기적으로 접속하도록 배치된 와이어(8)를 구비한다. 온도 센서(3)의 주위에 있어서의 기판(2)의 한쪽의 면에는, 기판(2)을 형성하는 물질보다도 열 용량이 작은 오목부(7)가 형성되어 있다. 오목부(7)는, 온도 센서(3)에 소정의 간격을 두고, 온도 센서(3)를 둘러싸도록, 또한, 소정의 폭 및 소정의 깊이를 갖도록 형성되어 있다. 바람직하게는, 저열 용량대는 단면이 오목 형상의 홈인 오목부(7)이다.

公开(公告)号：KR101447340B1

公开(公告)日：2014-10-06

申请号：KR1020127015541

申请日：2010-12-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이시다히사끼 ,  하야시마사또 ,  히가시고오다이

IPC: G01K1/18 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01K1/18 ,  H01L21/67248 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/8592 ,  H01L2924/00014

Abstract: 본 발명에 관한 온도 측정용 장치는, 기판(2)과, 기판(2)의 한쪽의 면에 배치된 온도 센서(3)와, 온도 센서(3)를 사용하여 온도를 검출하는 회로와 온도 센서(3) 사이를 전기적으로 접속하도록 배치된 와이어(8)를 구비한다. 온도 센서(3)의 주위에 있어서의 기판(2)의 한쪽의 면에는, 기판(2)을 형성하는 물질보다도 열 용량이 작은 오목부(7)가 형성되어 있다. 오목부(7)는, 온도 센서(3)에 소정의 간격을 두고, 온도 센서(3)를 둘러싸도록, 또한, 소정의 폭 및 소정의 깊이를 갖도록 형성되어 있다. 바람직하게는, 저열 용량대는 단면이 오목 형상의 홈인 오목부(7)이다.