公开(公告)号：KR101447340B1

公开(公告)日：2014-10-06

申请号：KR1020127015541

申请日：2010-12-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이시다히사끼 ,  하야시마사또 ,  히가시고오다이

IPC: G01K1/18 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01K1/18 ,  H01L21/67248 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/8592 ,  H01L2924/00014

Abstract: 본 발명에 관한 온도 측정용 장치는, 기판(2)과, 기판(2)의 한쪽의 면에 배치된 온도 센서(3)와, 온도 센서(3)를 사용하여 온도를 검출하는 회로와 온도 센서(3) 사이를 전기적으로 접속하도록 배치된 와이어(8)를 구비한다. 온도 센서(3)의 주위에 있어서의 기판(2)의 한쪽의 면에는, 기판(2)을 형성하는 물질보다도 열 용량이 작은 오목부(7)가 형성되어 있다. 오목부(7)는, 온도 센서(3)에 소정의 간격을 두고, 온도 센서(3)를 둘러싸도록, 또한, 소정의 폭 및 소정의 깊이를 갖도록 형성되어 있다. 바람직하게는, 저열 용량대는 단면이 오목 형상의 홈인 오목부(7)이다.

公开(公告)号：KR1020120121852A

公开(公告)日：2012-11-06

申请号：KR1020120043711

申请日：2012-04-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시마사또 ,  히가시고오다이

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/02

Abstract: PURPOSE: A temperature measuring apparatus having a Wheatstone bridge circuit, a temperature calibration apparatus, and a temperature calibration method are provided to appropriately calibrate temperatures by thermally treating a substrate at predetermined temperature using a heat treatment device. CONSTITUTION: A plurality of resistance temperature detectors(72) is installed on a substrate. A Wheatstone bridge circuit(71) includes the plurality of resistance temperature detectors. The plurality of resistance temperature detectors changes a resistance value according to temperature change. The Wheatstone bridge circuit includes a fixed resistor. The fixed resistor has a predetermined resistance value.

Abstract translation: 目的：提供一种具有惠斯登电桥电路，温度校准装置和温度校准方法的温度测量装置，以通过使用热处理装置在预定温度下热处理基板来适当地校准温度。 构成：多个电阻温度检测器（72）安装在基板上。 惠斯登电桥电路（71）包括多个电阻温度检测器。 多个电阻温度检测器根据温度变化改变电阻值。 惠斯通电桥电路包括一个固定电阻。 固定电阻器具有预定的电阻值。

公开(公告)号：KR102052216B1

公开(公告)日：2019-12-04

申请号：KR1020140015828

申请日：2014-02-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시마사토 ,  히가시고오다이

IPC: H01L21/67 ,  G03F7/16

公开(公告)号：KR1020160036654A

公开(公告)日：2016-04-04

申请号：KR1020150135284

申请日：2015-09-24

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 히가시고오다이 ,  미사카신이치로

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/66 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/67248 ,  H01L21/67109 ,  H05B1/0233

Abstract: 본발명의과제는, 열처리상태의이상을보다확실하게검지할수 있는기판열처리장치, 기판열처리방법및 기록매체를제공하는것이다. 열처리유닛(U2)은, 웨이퍼(W)를적재하기위한열판(20)과, 적재부상의웨이퍼(W)를가열하기위한히터(21)와, 열판(20) 상의웨이퍼(W)의복수개소에각각대응하도록배치된복수의온도센서(40)와, 제어부(100)를구비한다. 제어부(100)는복수의온도센서(40)에의해검출된온도에기초하여히터(21)를제어하는것, 복수의온도센서(40)에의해검출된온도를질량으로간주한경우의중심에상당하는온도중심의위치를산출하는것, 온도중심의위치에기초하여, 웨이퍼(W)의열처리상태를검지하는것을실행하도록구성되어있다.

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种能够更可靠地检测热处理条件异常的装置，方法和存储介质。 热处理单元（U2）包括与晶片（W）堆叠的加热板（20）; 用于加热位于放置单元上的晶片（W）的加热器（21）; 多个温度传感器（40），分别对应于加热板（20）上的晶片（W）的多个位置; 和控制单元（100）。 控制单元（100）被配置为基于由温度传感器（40）检测到的温度来控制加热器（21），基于由温度传感器（40）检测到的温度来计算温度重心的位置， 并且检测晶片（W）在温度中心位置的热处理条件。

公开(公告)号：KR1020140102147A

公开(公告)日：2014-08-21

申请号：KR1020140015828

申请日：2014-02-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시마사토 ,  히가시고오다이

IPC: H01L21/302

CPC classification number: H01L21/67253 ,  G03F7/162 ,  H01L21/67051

Abstract: A liquid processing device detects friction with high precision between a rotating substrate and a ring-shaped part installed in a circumferential direction of a spin chuck in the lower position of the substrate. The liquid processing device comprises a sound amplifier which is installed in the ring-shaped part to amplify contact sound generated by contact between the rotating substrate supported by the spin chuck and the ring-shaped part; a vibration sensor which senses solid propagation sound spreading in the ring-shaped part and outputs a sensing signal; and a detection unit for detecting the friction between the substrate and the ring-shaped part based on the sensing signal. It is difficult to attenuate the solid propagation sound even when a propagation length is long so that the sensing signal is transmitted to the vibration sensor accurately. Therefore, the detection with high precision can be conducted.

Abstract translation: 液体处理装置在旋转基板和安装在基板的下部位置的旋转卡盘的圆周方向上的环形部件之间高精度地检测摩擦。 液体处理装置包括安装在环形部分中以放大由旋转卡盘支撑的旋转基板与环形部分之间的接触产生的接触声音的声音放大器; 感测环形部分中的固体传播声音扩散的振动传感器，并输出感测信号; 以及检测单元，用于基于感测信号检测基板和环形部件之间的摩擦。 即使在传播长度较长的情况下也难以衰减固体传播声音，从而将感测信号准确地传递给振动传感器。 因此，可以进行高精度的检测。

公开(公告)号：KR1020120084792A

公开(公告)日：2012-07-30

申请号：KR1020127015541

申请日：2010-12-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이시다히사끼 ,  하야시마사또 ,  히가시고오다이

IPC: G01K1/18 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01K1/18 ,  H01L21/67248 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/8592 ,  H01L2924/00014

Abstract: 본 발명에 관한 온도 측정용 장치는, 기판(2)과, 기판(2)의 한쪽의 면에 배치된 온도 센서(3)와, 온도 센서(3)를 사용하여 온도를 검출하는 회로와 온도 센서(3) 사이를 전기적으로 접속하도록 배치된 와이어(8)를 구비한다. 온도 센서(3)의 주위에 있어서의 기판(2)의 한쪽의 면에는, 기판(2)을 형성하는 물질보다도 열 용량이 작은 오목부(7)가 형성되어 있다. 오목부(7)는, 온도 센서(3)에 소정의 간격을 두고, 온도 센서(3)를 둘러싸도록, 또한, 소정의 폭 및 소정의 깊이를 갖도록 형성되어 있다. 바람직하게는, 저열 용량대는 단면이 오목 형상의 홈인 오목부(7)이다.