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公开(公告)号：KR100513781B1
公开(公告)日：2005-12-08
申请号：KR1019980045270
申请日：1998-10-28
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/00
Abstract: 본 발명에 의한 종형처리장치는 내부에 개구부가 형성된 고리형상의 하단면(37)을 갖춘 원통형상의 처리용기(2)와, 고리형상의 하단면(37)에 대응하는 고리형상의 접합부(32) 및 고리형상의 접합부(32)의 내측에 형성된 탑재면(6p)을 갖춘 원판형상의 캡(6)을 구비하고 있다. 캡(6)의 탑재면(6p)에는 피처리체(W)를 지지하는 웨이퍼보트(8)가 탑재된다. 캡(6)의 접합부(32)에는 링형상 홈(34A)이 형성되어 있다. 링형상 홈(34A)에는 링형상 홈(34A) 내로 불활성가스를 도입하는 불활성가스 도입로(38)가 공급헤더(16)를 매개로 연통해 있다. 링형상 홈(34A)의 안쪽둘레측에는 링형상 홈(34A) 내와 처리용기(2) 내부를 연통하는 불활성가스 분사용 개구(36)가 형성되어 있다.
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公开(公告)号：KR1020030077434A
公开(公告)日：2003-10-01
申请号：KR1020030018476
申请日：2003-03-25
Applicant: 도시바 세라믹스 가부시키가이샤 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 오츠아키라 , 모리히로시 , 사이토노리히코 , 혼마히로유키 , 도야에이이치 , 콘도미오 , 나가타도모히로 , 세코수나오 , 사이토다카노리 , 나카오켄 , 미우라가쯔토시 , 하세가와하루나리 , 호시게오지 , 이시이가츠토시
IPC: H05B3/44
CPC classification number: H05B3/145 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 본 발명에 따른 카본 와이어 발열체 봉입 히터가 제공된다. 카본 섬유를 이용한 카본 와이어 발열체는 석영 유리 부재 내에 봉입되고, 상기 카본 와이어 발열체의 흡착 수분량은 2×10
-3 g/㎤ 이하이다.-
公开(公告)号：KR100522260B1
公开(公告)日：2005-10-19
申请号：KR1020030018476
申请日：2003-03-25
Applicant: 도시바 세라믹스 가부시키가이샤 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 오츠아키라 , 모리히로시 , 사이토노리히코 , 혼마히로유키 , 도야에이이치 , 콘도미오 , 나가타도모히로 , 세코수나오 , 사이토다카노리 , 나카오켄 , 미우라가쯔토시 , 하세가와하루나리 , 호시게오지 , 이시이가츠토시
IPC: H05B3/44
CPC classification number: H05B3/145 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 본 발명에 따른 카본 와이어 발열체 봉입 히터가 제공된다. 카본 섬유를 이용한 카본 와이어 발열체는 석영 유리 부재 내에 봉입되고, 상기 카본 와이어 발열체의 흡착 수분량은 2×10
-3 g/㎤ 이하이다.-
公开(公告)号：KR1019990037438A
公开(公告)日：1999-05-25
申请号：KR1019980045270
申请日：1998-10-28
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/00
Abstract: 본 발명에 의한 종형처리장치(10)는 내부에 개구부가 형성된 고리형상의 하단면(37)을 갖춘 원통상의 처리용기(2)와, 고리형상의 하단면(37)에 대응하는 고리형상의 접합부(32)및, 고리형상의 접합부(32)의 내측에 형성된 재치면(6p;載置面)을 갖춘 원판상의 캡(6)을 구비하고 있다. 캡(6)의 재치면(6p)에는 피처리체(W)를 지지하는 웨이퍼보트(8)가 얹어 놓여진다. 캡(6)의 접합부(32)에는 링형상 홈(34A)이 형성되어 있다. 링형상 홈(34A)에는 링형상 홈(34A)내로 불활성가스를 도입하는 불활성가스 도입로(38)가 공급헤더(16)를 매개로 연통해 있다. 링형상 홈(34A)의 안쪽둘레측에는 링형상 홈(34A)내와 처리용기(2) 내부를 연통하는 불활성가스 분사용 개구(36)가 형성되어 있다.
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