公开(公告)号：KR1020100113472A

公开(公告)日：2010-10-21

申请号：KR1020100098880

申请日：2010-10-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카이미츠히로 ,  이케다카츠히로

IPC: G02F1/13 ,  H01L21/683

CPC classification number: G02F1/1303 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67098

Abstract: PURPOSE: A substrate processing apparatus having a connecting member interlinked a plurality of supporting members is provided to realize the substrate processing apparatus while maintaining the thermion on the substrate. CONSTITUTION: A plate member is horizontally arranged on a surface. The plate member enforces the thermal process for the substrate. The predetermined external diameter for mounting the substrate in which a plurality of wires(54) is arranged in the surface of the plate member is had. The apparatus for adjusting tension regularly supports the tension of a plurality of wires.

Abstract translation: 目的：提供具有连接多个支撑构件的连接构件的基板处理装置，以在基板上保持热离子的同时实现基板处理装置。 构成：平板构件水平地布置在表面上。 板构件对衬底进行加热处理。 具有用于安装其中在板构件的表面中布置有多根电线（54）的基板的预定外径。 用于调节张力的装置规则地支撑多根电线的张力。

公开(公告)号：KR101026323B1

公开(公告)日：2011-03-31

申请号：KR1020030083533

申请日：2003-11-24

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카이미츠히로 ,  이케다카츠히로

IPC: G02F1/13

Abstract: 본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로, 본 발명의 기판처리장치는 기판을 재치시켜 열처리하기 위한 재치부와 재치부상에서 기판을 지지하는 복수의 지지부재와, 재치부에 자유롭게 붙였다 떼었다 할 수 있게 설치되고, 복수의 지지부재를 연결하는 연결부재를 갖는다.
본 발명에 따르면, 복수의 지지부재에 의해 기판을 지지할 수 있고, 재치부에 연결부재를 붙였다 떼었다 하는 것으로, 연결된 지지부재를 설치할 수가 있다. 이것에 의해 종래와 같이 예를 들면, 와이어 등으로 직접 기판을 지지하는 일도 없이, 전사의 흔적이 남지 않도록 할 수가 있다. 또, 프로키시미티 핀(Proximity Pin)을 하나씩 교환할 필요도 없고 붙였다 떼었다 하는 것이 용이하게 됨으로 유지보수성이 향상한다.

公开(公告)号：KR101000602B1

公开(公告)日：2010-12-10

申请号：KR1020100098880

申请日：2010-10-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카이미츠히로 ,  이케다카츠히로

IPC: G02F1/13 ,  H01L21/683

Abstract: 본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로, 본 발명의 기판처리장치는 기판을 재치시켜 열처리하기 위한 재치부와 재치부상에서 기판을 지지하는 복수의 지지부재와, 재치부에 자유롭게 붙였다 떼었다 할 수 있게 설치되고, 복수의 지지부재를 연결하는 연결부재를 갖는다.
본 발명에 따르면, 복수의 지지부재에 의해 기판을 지지할 수 있고, 재치부에 연결부재를 붙였다 떼었다 하는 것으로, 연결된 지지부재를 설치할 수가 있다. 이것에 의해 종래와 같이 예를 들면, 와이어 등으로 직접 기판을 지지하는 일도 없이, 전사의 흔적이 남지 않도록 할 수가 있다. 또, 프록시미티 핀(Proximity Pin)을 하나씩 교환할 필요도 없고 붙였다 떼었다 하는 것이 용이하게 됨으로 유지보수성이 향상한다.

Abstract translation: 基板处理装置及基板处理装置技术领域本发明涉及一种基板处理装置及基板处理装置，其包括：安装部，其对基板进行安装及热处理;多个支撑部件，其用于将所述基板支撑在所述安装部上; 并且具有用于连接多个支撑部件的连接部件。

公开(公告)号：KR1020040047616A

公开(公告)日：2004-06-05

申请号：KR1020030083533

申请日：2003-11-24

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카이미츠히로 ,  이케다카츠히로

IPC: G02F1/13

Abstract: PURPOSE: A substrate handling device is provided to support a substrate with a small number of line materials and sealing materials without forming plural holes in a plate member. CONSTITUTION: Supporting balls(50) connected by line materials(54) are disposed on a surface of a hot plate. Pins(55) for attaching the line materials(54) are installed on sides(45a,45b) of the hot plate. Hooking portions(54a) are formed on both ends of the line materials(54) to be attached to the hot plate. The line materials(54) are attached to the hot plate, depending on whether the hooking portions(54a) are hooked over the pins(55) of the hot plate.

Abstract translation: 目的：提供一种基板处理装置，用于支撑具有少量线材和密封材料的基板，而不在板构件中形成多个孔。 构成：通过线材（54）连接的支撑球（50）设置在热板的表面上。 用于安装线材（54）的销（55）安装在热板的侧面（45a，45b）上。 钩挂部分（54a）形成在线材（54）的两端以附接到热板上。 根据挂钩部分（54a）是否钩在热板的销（55）上，线材（54）附接到热板。