公开(公告)号：KR1020170015195A

公开(公告)日：2017-02-08

申请号：KR1020160095223

申请日：2016-07-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이토유다이 ,  도바시가즈야 ,  사이토미사코

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67051 ,  B01D3/00 ,  B01D15/08 ,  B03D1/02 ,  B08B3/10 ,  C11D11/0047 ,  H01L21/02057 ,  H01L21/6831

Abstract: 본발명은, 피처리체에액을공급하여액 처리할때에, 피처리체에대한미소한메탈함유불순물의부착을억제하는것을목적으로한다. 유지부에유지된피처리체의대전을제어함으로써, 전하를띤 미소한메탈함유불순물이피처리체에정전기력에의해부착되는것을억제한다. 또는, 유지부에유지된피처리체에액체가공급되는과정에서, 액체에포함되는전하를띤 미소한메탈함유불순물을제거한다. 또는, 그양쪽을실시한다.

Abstract translation: 公开了一种使用液体处理装置，通过含有含微量金属的杂质的液体对工件进行液体处理的方法，该液体处理装置包括：保持单元，其构造成保持工件; 以及液体供给机构，其构造成将液体供给到由所述保持单元保持的工件。 该方法包括：在将液体供给到由保持单元保持的工件上时，去除包含在液体中的含金属杂质; 和/或控制由保持单元保持的工件的充电，以通过静电力来抑制含金属杂质附着在工件上。

公开(公告)号：KR1020160076467A

公开(公告)日：2016-06-30

申请号：KR1020150182676

申请日：2015-12-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이토유다이 ,  도바시가즈야 ,  사이토미사코 ,  고지마시게요시 ,  니시무라히데키

IPC: H01L21/02 ,  C02F103/34 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67017 ,  C23C16/4407 ,  H01J37/32862

Abstract: 약액공급라인에사용되는불소계수지의금속오염을단기간에효율적으로제거한다. 피처리체에약액을공급하는약액공급라인(25)에사용되는불소계수지의내벽에존재하는금속오염을제거함에있어서, 금속오염을구성하는금속에대하여반응성을갖는세정물질을, 그일부또는전부를기체상으로하여약액공급라인(25)에공급하고, 기체상의세정물질을약액공급라인(25)에사용되는불소계수지의내벽에존재하는금속오염에작용시켜금속오염을제거한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种去除金属污染的方法和装置。 用于医用液体供给管线的氟系树脂的污染能够在短时间内有效地除去。 为了将用于向被处理物供给医用液体的医用流体供给管线（25）所用的氟系树脂的内壁上除去金属污染物，可以向形成金属的金属供给具有反应性的清洗材料 在气相中一部分或全部洗涤材料对药液供应管线（25）的污染; 并且允许气相洗涤材料与用于医用流体供给管线（25）的氟系树脂的内壁上存在的金属污染物反应，以去除金属污染物。