公开(公告)号：KR1020170113089A

公开(公告)日：2017-10-12

申请号：KR1020170028731

申请日：2017-03-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이이노다다시 ,  이하라도루 ,  가이요시히로 ,  도쿠나가요이치

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  H01L21/02

CPC classification number: C25D17/08 ,  C25D7/12 ,  C25D17/007 ,  C25D21/12 ,  H01L21/2885 ,  H01L21/67023 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/6723 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/68728 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/6875 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/68792

Abstract: 본발명은기판을전기적장해로부터적절히보호할수 있는기판처리장치및 기판처리방법을제공하는것을목적으로한다. 실시형태에따른기판처리장치는, 도전성의유지부와, 도통(導通) 경로부와, 공급부와, 접지부와, 가변저항부를구비한다. 유지부는, 기판을유지한다. 도통경로부는, 유지부와접촉하고, 도전성소재로형성된다. 공급부는, 유지부에유지된기판에대해처리액을공급한다. 접지부는, 일단부가도통경로부에접속되고, 타단부가접지전위에접속된다. 가변저항부는, 접지부에설치되고, 저항값을변경시킬수 있다.

Abstract translation: 本发明的目的在于提供能够适当地保护基板免受电击危害的基板处理装置和基板处理方法。 根据实施例的基板处理设备包括导电保持部分，导电路径部分，供电部分，接地部分和可变电阻部分。 保持部分保持基板。 导电路径部分与保持部分接触并且由导电材料形成。 供给部向由保持部保持的基板供给处理液。 接地部分的一端连接到导电路径部分，另一端连接到地电位。 可变电阻部分设置在接地部分，电阻值可以改变。