公开(公告)号：KR1020210008550A

公开(公告)日：2021-01-22

申请号：KR1020210004431

申请日：2021-01-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 시나다마사토 ,  와타나베나오키 ,  미야시타데츠야 ,  지하야히로아키

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/56 ,  C23C14/50 ,  C23C14/54 ,  H01J37/34

Abstract: 본발명의과제는타겟으로부터의입자의기판에대한입사각도를소망의각도로설정하는것이가능한성막시스템을제공한다. 해결수단으로서, 일실시형태의성막시스템에서는, 챔버, 스테이지, 홀더, 캐소드마그넷, 실드, 제 1 이동기구, 및제 2 이동기구를구비한다. 스테이지는, 챔버의처리공간내에서, 기판을지지하도록구성되어있다. 홀더는, 타겟을보지하도록구성되어있다. 캐소드마그넷은, 타겟에대하여챔버의외측에마련되어있다. 실드는, 슬릿을제공한다. 제 1 이동기구는, 스테이지와타겟사이에서, 주사방향을따라서실드를이동시키도록구성되어있다. 제 2 이동기구는, 캐소드마그넷을주사방향을따라서이동시키도록구성되어있다.