公开(公告)号：KR101516819B1

公开(公告)日：2015-05-04

申请号：KR1020080091185

申请日：2008-09-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마모토유이치 ,  테라모토아키히로 ,  쯔키노키와타루

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/02

Abstract: 본 발명은 기판을 수용하는 카세트를 처리 장치의 외부와의 사이에서 반출입할 때에 적재하는 카세트 적재부와, 기판을 처리하는 기판 처리부와, 상기 카세트 적재부의 카세트 내의 기판을 상기 기판 처리부에 반송하고, 또한 상기 기판 처리부에서 처리를 종료한 기판을 상기 카세트 적재부의 카세트에 반송하는 기판 반송부와, 기판이 기판 처리부에 반송되어 비게 된 카세트를 일시적으로 적재하는 공카세트 적재부와, 상기 공카세트 적재부와 상기 카세트 적재부 사이에서 빈 카세트를 이송하는 공카세트 이송 기구를 포함한다.

Abstract translation: 本发明和携带盒装载单元，以及用于处理基板的基板处理单元，在盒装载部磁带盒装载基板时banchulip盒，用于从处理装置的外部接收所述基板至基板处理部， 盒装载部分，用于临时装载已经将基板传送到基板处理部分并且是空的盒;以及盒装载部分，用于临时装载装载在盒装载部分中的盒， 以及用于在盒装载部分和盒装载部分之间传送空白盒的盒传送机构。

公开(公告)号：KR1020090031255A

公开(公告)日：2009-03-25

申请号：KR1020080091185

申请日：2008-09-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마모토유이치 ,  테라모토아키히로 ,  쯔키노키와타루

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/6773 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769 ,  Y10S414/14

Abstract: A substrate treatment apparatus is provided to consecutively carry the substrate in the substrate processing part by using the cassette loading part by loading temporally the empty cassette on the empty cassette loader instead of the cassette loader. When the cassette (C) carried in and carrier out the processing unit, the cassette is loaded in the cassette load stock(12). The substrate transfer part(2) transfers the substrate to the substrate processing part. The substrate processing part(3) processes the transferred substrate. The substrate transfer part transfers the processed substrate in the cassette of the cassette loading part. After the substrate is transferred to the substrate processing part, the blank cassette loading part(20) temporally loads the empty cassette. The ball cassette transfer tool transfers the empty cassette between the blank cassette loading part and the cassette loading part.

Abstract translation: 提供了一种基板处理装置，其通过使用带盒装载部分在时间上将空盒装载到空盒装载器而不是盒式装载器上来将基板连续地携带在基板处理部分中。 当盒式录像带（C）携带并携带在处理单元中时，盒式磁带被装载在盒式载货架（12）中。 基板转印部分（2）将基板转印到基板处理部分。 基板处理部（3）对转印的基板进行处理。 基板转印部分将处理过的基板转移到盒装载部分的盒中。 在将衬底转移到衬底处理部件之后，空白盒装载部件（20）在时间上加载空盒子。 球盒转移工具将空盒装入空盒装载部分和盒装载部分之间。