公开(公告)号：KR102009917B1

公开(公告)日：2019-08-12

申请号：KR1020180101255

申请日：2018-08-28

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 미나미다준야 ,  츠가오케이스케

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

公开(公告)号：KR101894438B1

公开(公告)日：2018-09-03

申请号：KR1020150149399

申请日：2015-10-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 미나미다준야 ,  츠가오케이스케

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67017 ,  H01L21/6715

Abstract: 배기전환시에있어서의액처리부의압력변동을억제하는것. 실시형태에따른기판액처리장치는, 액처리부와, 배기관과, 복수의개별배기관과, 배기전환부를구비한다. 액처리부는복수종류의처리액을이용하여기판을처리한다. 배기관은, 액처리부에접속되고, 액처리부로부터의배기가흐른다. 복수의개별배기관은, 복수종류의처리액중 적어도 1 개에대응하는배기관이다. 또한, 배기전환부는, 배기도입부와, 복수의전환기구를구비한다. 배기도입부에는, 배기관으로부터의배기가도입된다. 복수의전환기구는, 개별배기관마다마련되고, 배기도입부에연통하는배기취입구와, 개별배기관에연통하는유출구와, 외기를취입하는외기취입구와, 배기취입구, 유출구및 외기취입구의연통상태를배기취입구와유출구가연통한상태또는외기취입구와유출구가연통한상태로전환하는밸브체를가진다.

公开(公告)号：KR1020160051622A

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：KR1020150149399

申请日：2015-10-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 미나미다준야 ,  츠가오케이스케

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67017 ,  H01L21/6715

Abstract: 배기전환시에있어서의액처리부의압력변동을억제하는것. 실시형태에따른기판액처리장치는, 액처리부와, 배기관과, 복수의개별배기관과, 배기전환부를구비한다. 액처리부는복수종류의처리액을이용하여기판을처리한다. 배기관은, 액처리부에접속되고, 액처리부로부터의배기가흐른다. 복수의개별배기관은, 복수종류의처리액중 적어도 1 개에대응하는배기관이다. 또한, 배기전환부는, 배기도입부와, 복수의전환기구를구비한다. 배기도입부에는, 배기관으로부터의배기가도입된다. 복수의전환기구는, 개별배기관마다마련되고, 배기도입부에연통하는배기취입구와, 개별배기관에연통하는유출구와, 외기를취입하는외기취입구와, 배기취입구, 유출구및 외기취입구의연통상태를배기취입구와유출구가연통한상태또는외기취입구와유출구가연통한상태로전환하는밸브체를가진다.

Abstract translation: 可以抑制在排气切换操作期间的液体处理单元的压力变化。 根据实施例，基板液体处理装置包括液体处理单元，排气管，多个排气管和排气切换单元。 液体处理单元被配置为用多种处理液处理基板。 排气管连接到液体处理单元，并且被配置为允许来自液体处理单元的废气在其中流动。 多个单独的排气管对应于多种处理液中的至少一种。 排气切换单元包括排气入口室和多个切换机构。 排气入口室具有从其中引入的排气管的排气。 为排气管分别设置有多个切换机构，每个切换机构包括与排气入口室连通的排气吸入口，与各个排气管相应的一个连通的出口开口，用于 引入外部空气的阀体，以及构成为在排气吸入口与出口开口连通的状态和外部空气的状态之间切换排气吸入口，出口开口和外部空气吸入口的连通状态的阀体 空气吸入口与出口开口连通。