公开(公告)号：KR1020090095501A

公开(公告)日：2009-09-09

申请号：KR1020090018428

申请日：2009-03-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 츠츠미켄지 ,  쿄우다히데하루 ,  야마우치타카시 ,  키타노쥰이치

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B08B3/022 ,  B25J11/0095 ,  B25J19/0058 ,  H01L21/68707

Abstract: A transfer arm cleaning device, a transfer arm cleaning method, a program and a computer-readable recording medium are provided to allow a user to clean a maintenance unit of the transfer arm efficiently by preventing a foreign material and a washing solution from being leaked. In a transfer arm cleaning device, a transfer arm cleaning method, a program and a computer-readable recording medium, a cleaning device(1) washes a maintenance unit of a transfer arm(10) having a plurality of the substrate maintenance units. An opening part is formed at one side of a treatment basin(20) so that it allows the access of the transfer arm, and a cleaning gas or the washing solution is discharged to the cleaning nozzle(40). A gas jet part(30) is installed at the opening of the treatment basin and discharges the gas.

Abstract translation: 提供了传送臂清洁装置，传送臂清洁方法，程序和计算机可读记录介质，以允许用户通过防止异物和洗涤液泄漏而有效地清洁传送臂的维护单元。 在传送臂清洁装置，传送臂清洁方法，程序和计算机可读记录介质中，清洁装置（1）洗涤具有多个基板维护单元的传送臂（10）的维护单元。 开口部形成在处理槽（20）的一侧，使得其能够进入传送臂，并且清洁气体或清洗液被排出到清洁喷嘴（40）。 气体喷射部分（30）安装在处理池的开口处并排出气体。

公开(公告)号：KR101401760B1

公开(公告)日：2014-05-30

申请号：KR1020090018428

申请日：2009-03-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 츠츠미켄지 ,  쿄우다히데하루 ,  야마우치타카시 ,  키타노쥰이치

IPC: H01L21/677

Abstract: 본 발명은 반송 아암 세정 장치, 반송 아암 세정 방법, 프로그램 및 컴퓨터 기억 매체에 관한 것으로서 반송 아암 세정 장치(1)는 반송 아암(102)측의 측면이 개구한 처리 용기(20)를 가지고 있다. 처리 용기(20)의 개구부(21)의 상부와 하부에는, 기체를 분사하는 기체 분사부(30, 31)가 설치되고 있다. 기체 분사부(30)로부터의 기체의 분사에 의해 개구부(21)에는 에어 커튼이 형성된다. 처리 용기(20)내의 상부에는 세정 가스 및 세정액을 토출하는 세정 노즐(40)이 설치되고, 세정 노즐(40)은 수평 방향 및 수직 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 세정 노즐(40)으로부터 토출되는 세정 가스 및 세정액은 가열되고 세정액은 미스트형상이 되어 있다. 처리 용기(20)의 바닥면에는 세정 노즐(40)로부터 토출되고 처리 용기(20)의 바닥면에 낙하한 세정액을 회수하는 배액구(50)가 형성되고 있는 반송 아암의 보유 지지부를 효율적으로 세정하는 기술을 제공한다.