公开(公告)号：KR101443420B1

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：KR1020107005732

申请日：2008-08-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 츠키노키와타루 ,  야마모토유이치

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67745 ,  H01L21/67276

Abstract: 카세트 배치부에 카세트가 배치된 후, 제어 장치로부터 기판의 처리 장치에, 카세트 내의 기판의 처리의 개시를 지시한다. 그 후, 제어 장치로부터 기판의 처리 장치에, 기판이 처리 종료 시에 반송되는 카세트 배치부의 카세트를 지시한다. 기판의 나머지 처리 공정수가 미리 정해진 설정수가 되었을 때에, 그 기판의 처리 종료 시의 반송처인 카세트가 지시되어 있지 않은 경우에는, 기판의 처리 장치로부터 경고가 내보내진다. 상기 경고는, 기판의 처리 장치로부터 제어 장치에 통지되고, 제어 장치는, 기판의 반송처인 카세트를 지시한다.

Abstract translation: 在盒子布置在盒子布置部分中之后，控制设备指示基板的处理设备开始处理盒子中的基板。 然后，从控制装置到基板的处理装置，指示在处理结束时传送基板的盒配置部分的盒。 当基板的剩余处理步骤数量达到预定设置数量时，如果在基板处理结束时没有指定作为运输目的地的盒子，则从基板的处理装置发出警告。 警告从基板的处理装置通知给控制装置，控制装置指示作为基板的目的地的盒。

公开(公告)号：KR101295494B1

公开(公告)日：2013-08-09

申请号：KR1020100013793

申请日：2010-02-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 츠키노키와타루

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/027 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67781 ,  H01L21/67775

Abstract: 본 발명은 캐리어로부터 처리 블록으로 기판을 신속하게 공급하는 것을 과제로 한다.
웨이퍼 반입부(211)에서 웨이퍼(W)가 꺼내진 캐리어(C)를 퇴피용 배치부(22)로 이송하고, 웨이퍼 반입부(211)에 미처리 웨이퍼(W)를 수납한 새로운 캐리어를 이송하며, 이 새로운 캐리어로부터 처리 블록(S2)에 웨이퍼(W)를 공급할 때에, 예컨대 100장의 웨이퍼(W)를 선반 형상으로 유지하는 기판 유지부(4)를 준비하고, 웨이퍼 이송 수단(A1)에 의해 캐리어(C)로부터 기판 유지부(4)에 5장의 웨이퍼(W)를 일괄해서 이송하며, 이어서 전달 수단(A2)에 의해 기판 유지부(4)로부터 처리 블록(S2)에 웨이퍼(W)를 1장씩 전달한다. 기판 유지부(4)에는 1번에 5장의 웨이퍼(W)가 전달되는 한편, 기판 유지부(4)로부터는 웨이퍼(W)가 1장씩 꺼내지기 때문에, 처리 블록(S2)으로의 웨이퍼의 공급이 중단되는 일이 없어, 웨이퍼(W)를 신속하게 공급할 수 있다.

Abstract translation: 发明内容本发明涉及从载体快速供应衬底到处理块。

公开(公告)号：KR101535317B1

公开(公告)日：2015-07-08

申请号：KR1020110036893

申请日：2011-04-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 츠키노키와타루 ,  야마모토유이치

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67276 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/67778

Abstract: 본발명은작업처리량을향상시켜, 처리타이밍을관리할수 있는기판처리시스템을제공하는것을과제로한다. 처리장치군에대하여관리하는그룹컨트롤러를설치한다. 그룹컨트롤러는, 캐리어내의기판에대하여순차적으로복수의처리장치에의해처리가이루어졌을때 최종처리장치의처리종료시점이가장빠른처리장치의조합을, 기판의처리레시피및 처리상황에기초하여결정하는단계와, 상기처리장치의조합에있어서, 미리결정된하나의처리장치에의한로트의처리종료시점으로부터, 미리결정된하류측의처리장치에의한처리개시시점까지의예측경과시간을, 기판의처리레시피및 처리상황에기초하여결정하고, 예측경과시간이설정시간내에수습되도록상기하나의처리장치또는상류측의처리장치에기판을배출하는타이밍을결정하는단계를수행한다.

公开(公告)号：KR1020100097601A

公开(公告)日：2010-09-03

申请号：KR1020100013793

申请日：2010-02-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 츠키노키와타루

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/027 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67781 ,  H01L21/67775 ,  G03F7/70691 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70975 ,  H01L21/6779

Abstract: PURPOSE: A substrate processing apparatus is provided to reduce the processing time by supplying a substrate from a carrier to a processing block incessantly. CONSTITUTION: Distribution unit(211, 212) for transferring a carrier and a distribution unit for retrieving are installed in multi stages in a carrier station(2). A carrier transport unit(3) transfers the carrier between distribution units of the carrier station. A substrate holding unit(4) maintains a plurality of wafers as multistage.

Abstract translation: 目的：提供一种基板处理装置，用于通过从载体向处理块不断地供给基板来缩短处理时间。 构成：用于传送载体的分配单元（211,212）和用于检索的分配单元在载波台（2）中以多级安装。 载波传输单元（3）在载波台的分配单元之间传送载波。 基板保持单元（4）将多个晶片保持为多级。

公开(公告)号：KR1020110132220A

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：KR1020110036893

申请日：2011-04-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 츠키노키와타루 ,  야마모토유이치

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67276 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/0274

Abstract: PURPOSE: A substrate processing system and method are provided to efficiently manage processing timing by selecting a processing unit using a cluster controller and calculating estimated elapsed time. CONSTITUTION: An output port transfers a carrier to an automatic returning vehicle. An input port receives the carrier from the automatic returning vehicle. An exclusive returning unit returns the carrier between processing units which are adjacent. A cluster controller(21) manages a processor group(40). A group controller controls a carrier mobile load unit and the exclusive returning unit. A host computer(10) transmits a processing recipe about a substrate which is located in the carrier by the automatic returning vehicle to the group controller. The host computer comprises a program and a memory.

Abstract translation: 目的：提供一种基板处理系统和方法，通过使用集群控制器选择处理单元并计算估计的经过时间来有效地管理处理定时。 构成：输出端口将载体传送到自动返回车辆。 输入端口从自动返回车辆接收载体。 独立返回单元在相邻的处理单元之间返回载体。 集群控制器（21）管理处理器组（40）。 组控制器控制载波移动负载单元和专用返回单元。 主计算机（10）将通过自动返回车辆位于载体中的基板的处理配方发送到组控制器。 主机包括程序和存储器。

公开(公告)号：KR1020100074131A

公开(公告)日：2010-07-01

申请号：KR1020107005732

申请日：2008-08-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 츠키노키와타루 ,  야마모토유이치

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67745 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67242 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67778

Abstract: After a cassette is placed on a cassette placing section, a controller instructs a substrate processing apparatus to start processing the substrate in the cassette. Then, the controller instructs the substrate processing apparatus a cassette on the cassette placing section to which the substrate is to be transferred when processing is ended. When the number of remaining processing steps of the substrate is at a set number and the cassette to which the substrate is to be transferred when processing of the substrate is ended is not instructed, a warning is issued from the substrate processing apparatus. The controller is notified of the warning from the substrate processing apparatus, and the controller instructs a cassette to which the substrate is to be transferred.

Abstract translation: 在盒式磁带放置在盒放置部分上之后，控制器指示衬底处理设备开始处理盒中的衬底。 然后，控制器在处理结束时向衬底处理设备指示要放置衬底的盒放置部分上的盒。 当没有指示基板的剩余处理步骤的数量为设定数量，并且在处理基板时要传送基板的盒子结束时，从基板处理装置发出警告。 从基板处理装置通知控制器的警告，并且控制器指示要传送基板的盒。