公开(公告)号：KR1020140124762A

公开(公告)日：2014-10-27

申请号：KR1020147021918

申请日：2013-02-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 히라노타이치 ,  쿠마가이후미토시

IPC: H01L21/3065 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01J37/32045 ,  G05B11/01 ,  H01J37/32027 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32935 ,  H01J2237/06 ,  H01J2237/3343 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/31144 ,  H01L21/76802 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4682 ,  Y10T307/367

Abstract: 일실시예의 전원 시스템(90)은, 플라즈마 생성용의 고주파 전력을 발생하는 고주파 전원(92, 93)과, 전극에 인가하는 직류 전압을 발생하는 직류 전원(91)과, 직류 전원(91) 및 고주파 전원(92, 93)을 제어하는 제어 장치(94)를 구비한다. 직류 전원(91)은, 음의 제 1 직류 전압(V1)을 발생하는 제 1 직류 전원부(101)와, 상기 제 1 직류 전압(V1)보다 절대값이 큰 음의 제 2 직류 전압(V2)을 발생하는 제 2 직류 전원부(102)와, 제 1 직류 전원부(101)와 제 2 직류 전원부(102)를 선택적으로 전극에 접속하는 선택 회로(103)를 구비한다. 직류 전원(91)은, 제 1 직류 전원부(101)와 선택 회로(103) 사이의 노드(109)에 접속한 방전 회로(104)를 더 포함한다.

公开(公告)号：KR102038649B1

公开(公告)日：2019-10-30

申请号：KR1020147021918

申请日：2013-02-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 히라노타이치 ,  쿠마가이후미토시

IPC: H01L21/3065 ,  H05H1/46