公开(公告)号：KR1020160052346A

公开(公告)日：2016-05-12

申请号：KR1020150149398

申请日：2015-10-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 미나미다준야 ,  키야마쇼고

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67017 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6708 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/6719

Abstract: 액처리부로부터의배기의기액분리성을향상시키는것. 실시형태에따른기판액처리장치는, 액처리부와, 제 1 배기관과, 제 2 배기관을구비한다. 액처리부는처리액을이용하여기판을처리한다. 제 1 배기관은적어도일부가액처리부보다상방에배치된다. 제 2 배기관은액처리부에일단측이접속되고, 배기기구에의해제 1 배기관을통하여액처리부를배기한다. 또한, 제 2 배기관은, 제 1 배기관의액처리부보다상방에배치되는부분에타단측이접속된다.

Abstract translation: 提供了一种用于处理具有液体的基板的装置，其改进了来自液体处理单元的废气的气液分离。 根据本发明的实施例，用液体处理衬底的装置包括：液体处理单元; 第一排气管; 和第二排气管。 液体处理单元通过使用处理液处理基板。 第一排气管的至少一部分位于液体处理单元上方。 第二排气管的一端连接到液体处理单元，第二排气管通过排气装置通过第一排气管排出液体处理单元。 此外，第二排气管的另一端连接到位于液体处理单元上方的第一排气管的一部分。