公开(公告)号：KR1020050061498A

公开(公告)日：2005-06-22

申请号：KR1020057005460

申请日：2003-09-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 펑크메리트 ,  피터슨레이몬드

IPC: H01L21/02 ,  G05B19/418

CPC classification number: G05B19/4184 ,  G05B19/41865 ,  G05B23/0259 ,  G05B23/0264 ,  G05B23/0267 ,  G05B2219/31186 ,  G05B2219/32126 ,  G05B2219/32128 ,  G05B2219/33148 ,  G05B2219/33225 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67276 ,  H01L22/20 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/86

Abstract: An Advanced Process Control (APC) system including Graphical User Interfaces (GUIs) is presented for monitoring and controlling a semiconductor manufacturing process that is performed by a semiconductor processing system. The semiconductor processing system includes a number of processing tools, a number of processing modules (chambers), and a number of sensors, and the APC system comprises an APC server, database, interface server, client workstation, and GUI component. The GUI is webbased and is viewable by a user using a web browser.

Abstract translation: 提出了包括图形用户界面（GUI）的高级过程控制（APC）系统，用于监控和控制由半导体处理系统执行的半导体制造过程。 半导体处理系统包括多个处理工具，多个处理模块（室）和多个传感器，APC系统包括APC服务器，数据库，接口服务器，客户端工作站和GUI组件。 GUI是基于web的，并且可以由使用web浏览器的用户查看。

公开(公告)号：KR101025527B1

公开(公告)日：2011-04-04

申请号：KR1020057005460

申请日：2003-09-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 펑크메리트 ,  피터슨레이몬드

IPC: H01L21/02 ,  G05B19/418

CPC classification number: G05B19/4184 ,  G05B19/41865 ,  G05B23/0259 ,  G05B23/0264 ,  G05B23/0267 ,  G05B2219/31186 ,  G05B2219/32126 ,  G05B2219/32128 ,  G05B2219/33148 ,  G05B2219/33225 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67276 ,  H01L22/20 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/86

Abstract: 반도체 처리 시스템에 의해 수행되는 반도체 제조 공정을 모니터링 및 제어하기 위한, 그래픽 사용자 인터페이스(GUI)들을 포함하는 어드밴스트 프로세스 제어(APC) 시스템이 제시되어 있다. 상기 반도체 처리 시스템은 여러 처리 툴들, 여러 처리 모듈(챔버)들, 및 여러 센서들을 포함하고, 상기 APC 시스템은 APC 서버, 데이터베이스, 인터페이스 서버, 클라이언트 워크스테이션 및 GUI 구성요소를 포함하여 이루어진다. 상기 GUI는 웹기반이며, 웹 브라우저를 이용하여 사용자가 볼 수 있다.