公开(公告)号：KR1020170063573A

公开(公告)日：2017-06-08

申请号：KR1020177007021

申请日：2015-09-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 소노다치카라 ,  미야하라츠요시 ,  오오카와가츠히로 ,  우츠노미야요시노리 ,  아카다히카루 ,  하세베가즈히사

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/26 ,  B05C11/10 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/027 ,  B05C11/10 ,  G03F7/26 ,  H01L21/67017

Abstract: 반도체제조용의처리액을저류하는용기를복수수용하는용기수용장치는, 용기가배치되는배치대와, 배치대에배치되는용기내의처리액의액량에따라서승강하는지지판과, 지지판의승강에따라서용기에대한상대적인위치가변화하는셔터를갖는다. 셔터는, 용기내의액량이소정의값을하회하는경우에, 용기의배치대로부터의이동을저해하는위치까지상승한다.

Abstract translation: 容器用于多个接收的容器，用于存储用于半导体制造的接收装置的处理液，根据支撑板和所述支撑板根据用于排列解除的解除，以及在容器中的处理液的液体体积的容器被布置在用于所述容器被放置在批处理 如图所示。 当容器中的液体量低于预定值时，闸门升高到阻止容器从其位置移动的位置。