公开(公告)号：KR1020170063573A

公开(公告)日：2017-06-08

申请号：KR1020177007021

申请日：2015-09-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 소노다치카라 ,  미야하라츠요시 ,  오오카와가츠히로 ,  우츠노미야요시노리 ,  아카다히카루 ,  하세베가즈히사

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/26 ,  B05C11/10 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/027 ,  B05C11/10 ,  G03F7/26 ,  H01L21/67017

Abstract: 반도체제조용의처리액을저류하는용기를복수수용하는용기수용장치는, 용기가배치되는배치대와, 배치대에배치되는용기내의처리액의액량에따라서승강하는지지판과, 지지판의승강에따라서용기에대한상대적인위치가변화하는셔터를갖는다. 셔터는, 용기내의액량이소정의값을하회하는경우에, 용기의배치대로부터의이동을저해하는위치까지상승한다.

Abstract translation: 容器用于多个接收的容器，用于存储用于半导体制造的接收装置的处理液，根据支撑板和所述支撑板根据用于排列解除的解除，以及在容器中的处理液的液体体积的容器被布置在用于所述容器被放置在批处理 如图所示。 当容器中的液体量低于预定值时，闸门升高到阻止容器从其位置移动的位置。

公开(公告)号：KR1020170042234A

公开(公告)日：2017-04-18

申请号：KR1020160127686

申请日：2016-10-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 소노다치카라 ,  아카다히카루 ,  하세베카즈히사 ,  우츠노미야요시노리

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/687

Abstract: 피설치물을수평으로지면에설치하기위하여요하는작업시간을단축하는것이다. 피설치물(D1)을, 하부에마련된복수의높이조정기구(31)에의해조정하여수평으로지면에설치하기위한수평설치장치(8)에있어서, 상기피설치물(D1)의복수의측정개소에각각설치되는수준계측기(41)와, 각수준계측기(41)의측정치와적정한수준범위에기초하여각 수준계측기(31)의측정치중 적정한수준범위로부터벗어난측정치를당해적정한수준범위에들어가게하기위하여, 적어도하나의높이조정기구(31)의조정량을연산하는연산부(91)와, 연산된상기조정량에기초하여상기피설치물을수평으로지면에설치하기위한대처를행하는대처부(81)를구비하도록수평설치장치를구성한다. 그에따라작업자의부담을경감하고, 작업시간을단축할수 있다.

Abstract translation: 从而缩短水平安装在地面上所需的时间。 一种水平安装装置（8），用于通过调节设置在所述固定装置的下部的多个高度调节机构（31）来将固定装置（D1）水平地布置在地面上 为了基于各个电平计41的测量值和适当的电平范围使测量结果偏离每个电平计31的测量的适当电平范围， 它设置有一个计算部分91，和上型部81，用于计算的高度调整机构的调整量进行用于操作的基础上用于安装在地面上的血液夹具的动作和调节量水平（31） 构建一个水平安装设备。 因此，可以减轻操作员的负担，并且可以缩短工作时间。