公开(公告)号：KR1020170121729A

公开(公告)日：2017-11-02

申请号：KR1020170135134

申请日：2017-10-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시도쿠타료 ,  사카구치기미나리

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/68

Abstract: 본발명은, 기판의주연부에절결이있는기판을포크에의해유지하고, 반송할때에, 기판위치의어긋남량을정밀도좋게검출할수 있어, 그어긋남량을용이하게보정할수 있고, 포크의상태를동시에확인하여보정할수 있는기판반송장치를제공하는것을과제로한다. 베이스와, 베이스로부터진퇴가능하게설치되고, 기판(W)을유지하는유지부(3A)와, 유지부(3A)가기판(W)을유지한상태에서후퇴했을때에, 유지부(3A)가유지하고있는기판(W)의주연부의위치를, 각각상이한위치에서검출하는 4개이상의검출부(5)와, 검출부(5)가주연부의위치를검출한검출값에기초하여, 검출부(5) 중어느것이기판(W)의주연부의절결이형성된부분(WN)을검출했는지여부를판정하여, 하나의검출부(5)가절결이형성된부분(WN)을검출했다고판정했을때에, 하나의검출부(5) 이외의 3개의검출부(5)의검출값에기초하여, 다음처리유닛에반송할때에처리유닛의기판(W)의전달위치에보정하는, 제어부를갖는다.

Abstract translation: 本发明中，保持基板与所述基板的周缘的切口由一个叉的装置，并且时间返回，它能够以高的精度检测基片位置的位移，并且可以容易地校正位移量，叉的状态 本发明的目的是提供一种能够同时验证和校正缺陷的基板传送设备。 在基座中，在被安装成可从基座伸缩时，在基板（W）eulyu地下会从保持部（3A），和一个保持部（3A）至顶板缩回（W）eulyu极寒状态下，保持部（3A） 四个或更多个检测部分5用于检测保持基板W的保持部分在不同位置处的位置，以及用于检测检测部分5的位置的检测部分， 当通过判断是否检测部（WN）具有基片（W）在义州边切割，检测的检测器5 gajeol部分（WN）织构形成，检测部判断感觉（ 基于处理单元中除检测单元5之外的三个检测单元5的检测值，

公开(公告)号：KR101891446B1

公开(公告)日：2018-08-24

申请号：KR1020170135134

申请日：2017-10-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시도쿠타료 ,  사카구치기미나리

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/68

Abstract: 본발명은, 기판의주연부에절결이있는기판을포크에의해유지하고, 반송할때에, 기판위치의어긋남량을정밀도좋게검출할수 있어, 그어긋남량을용이하게보정할수 있고, 포크의상태를동시에확인하여보정할수 있는기판반송장치를제공하는것을과제로한다. 베이스와, 베이스로부터진퇴가능하게설치되고, 기판(W)을유지하는유지부(3A)와, 유지부(3A)가기판(W)을유지한상태에서후퇴했을때에, 유지부(3A)가유지하고있는기판(W)의주연부의위치를, 각각상이한위치에서검출하는 4개이상의검출부(5)와, 검출부(5)가주연부의위치를검출한검출값에기초하여, 검출부(5) 중어느것이기판(W)의주연부의절결이형성된부분(WN)을검출했는지여부를판정하여, 하나의검출부(5)가절결이형성된부분(WN)을검출했다고판정했을때에, 하나의검출부(5) 이외의 3개의검출부(5)의검출값에기초하여, 다음처리유닛에반송할때에처리유닛의기판(W)의전달위치에보정하는, 제어부를갖는다.

公开(公告)号：KR101931061B1

公开(公告)日：2018-12-19

申请号：KR1020180093820

申请日：2018-08-10

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시도쿠타료 ,  사카구치기미나리

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

Abstract: 본 발명은, 기판의 주연부에 절결이 있는 기판을 포크에 의해 유지하고, 반송할 때에, 기판 위치의 어긋남량을 정밀도 좋게 검출할 수 있어, 그 어긋남량을 용이하게 보정할 수 있고, 포크의 상태를 동시에 확인하여 보정할 수 있는 기판 반송 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
베이스와, 베이스로부터 진퇴 가능하게 설치되고, 기판(W)을 유지하는 유지부(3A)와, 유지부(3A)가 기판(W)을 유지한 상태에서 후퇴했을 때에, 유지부(3A)가 유지하고 있는 기판(W)의 주연부의 위치를, 각각 상이한 위치에서 검출하는 4개 이상의 검출부(5)와, 검출부(5)가 주연부의 위치를 검출한 검출값에 기초하여, 검출부(5) 중 어느 것이 기판(W)의 주연부의 절결이 형성된 부분(WN)을 검출했는지 여부를 판정하여, 하나의 검출부(5)가 절결이 형성된 부분(WN)을 검출했다고 판정했을 때에, 하나의 검출부(5) 이외의 3개의 검출부(5)의 검출값에 기초하여, 다음 처리 유닛에 반송할 때에 처리 유닛의 기판(W)의 전달 위치에 보정하는, 제어부를 갖는다.

公开(公告)号：KR1020180094505A

公开(公告)日：2018-08-23

申请号：KR1020180093820

申请日：2018-08-10

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시도쿠타료 ,  사카구치기미나리

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/68 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/68707 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20 ,  H01L22/24 ,  Y10S414/141

Abstract: 본발명은, 기판의주연부에절결이있는기판을포크에의해유지하고, 반송할때에, 기판위치의어긋남량을정밀도좋게검출할수 있어, 그어긋남량을용이하게보정할수 있고, 포크의상태를동시에확인하여보정할수 있는기판반송장치를제공하는것을과제로한다. 베이스와, 베이스로부터진퇴가능하게설치되고, 기판(W)을유지하는유지부(3A)와, 유지부(3A)가기판(W)을유지한상태에서후퇴했을때에, 유지부(3A)가유지하고있는기판(W)의주연부의위치를, 각각상이한위치에서검출하는 4개이상의검출부(5)와, 검출부(5)가주연부의위치를검출한검출값에기초하여, 검출부(5) 중어느것이기판(W)의주연부의절결이형성된부분(WN)을검출했는지여부를판정하여, 하나의검출부(5)가절결이형성된부분(WN)을검출했다고판정했을때에, 하나의검출부(5) 이외의 3개의검출부(5)의검출값에기초하여, 다음처리유닛에반송할때에처리유닛의기판(W)의전달위치에보정하는, 제어부를갖는다.

公开(公告)号：KR101790867B1

公开(公告)日：2017-10-26

申请号：KR1020160022561

申请日：2016-02-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시도쿠타료 ,  사카구치기미나리

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/68

Abstract: 본발명은, 기판의주연부에절결이있는기판을포크에의해유지하고, 반송할때에, 기판위치의어긋남량을정밀도좋게검출할수 있어, 그어긋남량을용이하게보정할수 있고, 포크의상태를동시에확인하여보정할수 있는기판반송장치를제공하는것을과제로한다. 베이스와, 베이스로부터진퇴가능하게설치되고, 기판(W)을유지하는유지부(3A)와, 유지부(3A)가기판(W)을유지한상태에서후퇴했을때에, 유지부(3A)가유지하고있는기판(W)의주연부의위치를, 각각상이한위치에서검출하는 4개이상의검출부(5)와, 검출부(5)가주연부의위치를검출한검출값에기초하여, 검출부(5) 중어느것이기판(W)의주연부의절결이형성된부분(WN)을검출했는지여부를판정하여, 하나의검출부(5)가절결이형성된부분(WN)을검출했다고판정했을때에, 하나의검출부(5) 이외의 3개의검출부(5)의검출값에기초하여, 다음처리유닛에반송할때에처리유닛의기판(W)의전달위치에보정하는, 제어부를갖는다.

公开(公告)号：KR101601510B1

公开(公告)日：2016-03-11

申请号：KR1020140143481

申请日：2014-10-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시도쿠타료 ,  사카구치기미나리

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  B25J13/08 ,  G06F19/00

CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/68

Abstract: 본발명은, 기판의주연부에절결이있는기판을포크에의해유지하고, 반송할때에, 기판위치의어긋남량을정밀도좋게검출할수 있어, 그어긋남량을용이하게보정할수 있고, 포크의상태를동시에확인하여보정할수 있는기판반송장치를제공하는것을과제로한다. 베이스와, 베이스로부터진퇴가능하게설치되고, 기판(W)을유지하는유지부(3A)와, 유지부(3A)가기판(W)을유지한상태에서후퇴했을때에, 유지부(3A)가유지하고있는기판(W)의주연부의위치를, 각각상이한위치에서검출하는 4개이상의검출부(5)와, 검출부(5)가주연부의위치를검출한검출값에기초하여, 검출부(5) 중어느것이기판(W)의주연부의절결이형성된부분(WN)을검출했는지여부를판정하여, 하나의검출부(5)가절결이형성된부분(WN)을검출했다고판정했을때에, 하나의검출부(5) 이외의 3개의검출부(5)의검출값에기초하여, 다음처리유닛에반송할때에처리유닛의기판(W)의전달위치에보정하는, 제어부를갖는다.

公开(公告)号：KR1020140130094A

公开(公告)日：2014-11-07

申请号：KR1020140143481

申请日：2014-10-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시도쿠타료 ,  사카구치기미나리

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  B25J13/08 ,  G06F19/00

CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/68 ,  H01L21/67745

Abstract: 본 발명은, 기판의 주연부에 절결이 있는 기판을 포크에 의해 유지하고, 반송할 때에, 기판 위치의 어긋남량을 정밀도 좋게 검출할 수 있어, 그 어긋남량을 용이하게 보정할 수 있고, 포크의 상태를 동시에 확인하여 보정할 수 있는 기판 반송 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
베이스와, 베이스로부터 진퇴 가능하게 설치되고, 기판(W)을 유지하는 유지부(3A)와, 유지부(3A)가 기판(W)을 유지한 상태에서 후퇴했을 때에, 유지부(3A)가 유지하고 있는 기판(W)의 주연부의 위치를, 각각 상이한 위치에서 검출하는 4개 이상의 검출부(5)와, 검출부(5)가 주연부의 위치를 검출한 검출값에 기초하여, 검출부(5) 중 어느 것이 기판(W)의 주연부의 절결이 형성된 부분(WN)을 검출했는지 여부를 판정하여, 하나의 검출부(5)가 절결이 형성된 부분(WN)을 검출했다고 판정했을 때에, 하나의 검출부(5) 이외의 3개의 검출부(5)의 검출값에 기초하여, 다음 처리 유닛에 반송할 때에 처리 유닛의 기판(W)의 전달 위치에 보정하는, 제어부를 갖는다.

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种基板传送装置，其可以通过叉子在圆周部分保持具有弯曲纹理的基板，并且可以精确地检测在转印基板时基板位置的不一致量，从而容易地补偿未对准的基板 位置，检查叉的状态，并同时补偿叉。 基板传送装置包括基座; 维修单元（3A），其从所述基座安装以可前后移动并维持基板（W）; 四个或更多个检测单元（5）当维护单元（3A）在保持基板（W）的同时移回时，从不同的位置检测由维护单元（3A）保持的基板的圆周部分的位置; 以及控制单元，基于由所述检测单元（5）检测到的圆周部位置值，确定所述检测单元（5）中的一个是否已经检测到形成有弯曲纹理的基板的圆周部分的部分（WN） 并且如果确定检测单元（5）中的一个具有检测到的部分（WN），则基于由其余部件检测到的值将基板传送到下一个处理单元时补偿处理单元的基板（W）转移位置 的三个检测单元（5）。

公开(公告)号：KR1020160030143A

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：KR1020160022561

申请日：2016-02-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시도쿠타료 ,  사카구치기미나리

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/68

Abstract: 본발명은, 기판의주연부에절결이있는기판을포크에의해유지하고, 반송할때에, 기판위치의어긋남량을정밀도좋게검출할수 있어, 그어긋남량을용이하게보정할수 있고, 포크의상태를동시에확인하여보정할수 있는기판반송장치를제공하는것을과제로한다. 베이스와, 베이스로부터진퇴가능하게설치되고, 기판(W)을유지하는유지부(3A)와, 유지부(3A)가기판(W)을유지한상태에서후퇴했을때에, 유지부(3A)가유지하고있는기판(W)의주연부의위치를, 각각상이한위치에서검출하는 4개이상의검출부(5)와, 검출부(5)가주연부의위치를검출한검출값에기초하여, 검출부(5) 중어느것이기판(W)의주연부의절결이형성된부분(WN)을검출했는지여부를판정하여, 하나의검출부(5)가절결이형성된부분(WN)을검출했다고판정했을때에, 하나의검출부(5) 이외의 3개의검출부(5)의검출값에기초하여, 다음처리유닛에반송할때에처리유닛의기판(W)의전달위치에보정하는, 제어부를갖는다.

Abstract translation: 本发明的目的在于提供一种基板输送装置，其能够通过叉子在基板的边缘单元上保持具有切口的基板，并且高精度地检测基板位置偏差，以便在传送基板时容易地校正偏差，并且 可以同时检查叉子的状态并进行更正。 本发明的装置包括：基座; 保持单元（3A），其能够朝向或远离所述基座移动以维持基板（W）; 四个或更多个检测单元（5），用于在保持单元（3A）在保持基板（W）的同时向后移动时，检测由维护单元（3A）维持的基板（W）的边缘单元的位置在不同位置处; 以及控制单元，用于基于由检测单元（5）检测到的检测值，确定检测单元（5）中的哪一个检测到基板（W）的边缘单元的切口部分（WN） 边缘单元的位置，并且基于除了一个检测单元以外的三个检测单元（5）的检测值，将处理单元的基板（W）的传送位置修正到下一次的处理单元 5）当确定一个检测单元（5）检测到形成切口的部分（WN）时。

公开(公告)号：KR101524335B1

公开(公告)日：2015-05-29

申请号：KR1020110066928

申请日：2011-07-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시도쿠타료 ,  사카구치기미나리

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  B25J13/08 ,  G06F19/00

CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/68

Abstract: 본발명은, 기판의주연부에절결이있는기판을포크에의해유지하고, 반송할때에, 기판위치의어긋남량을정밀도좋게검출할수 있어, 그어긋남량을용이하게보정할수 있고, 포크의상태를동시에확인하여보정할수 있는기판반송장치를제공하는것을과제로한다. 베이스와, 베이스로부터진퇴가능하게설치되고, 기판(W)을유지하는유지부(3A)와, 유지부(3A)가기판(W)을유지한상태에서후퇴했을때에, 유지부(3A)가유지하고있는기판(W)의주연부의위치를, 각각상이한위치에서검출하는 4개이상의검출부(5)와, 검출부(5)가주연부의위치를검출한검출값에기초하여, 검출부(5) 중어느것이기판(W)의주연부의절결이형성된부분(WN)을검출했는지여부를판정하여, 하나의검출부(5)가절결이형성된부분(WN)을검출했다고판정했을때에, 하나의검출부(5) 이외의 3개의검출부(5)의검출값에기초하여, 다음처리유닛에반송할때에처리유닛의기판(W)의전달위치에보정하는, 제어부를갖는다.

公开(公告)号：KR1020120023517A

公开(公告)日：2012-03-13

申请号：KR1020110066928

申请日：2011-07-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시도쿠타료 ,  사카구치기미나리

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  B25J13/08 ,  G06F19/00

CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/68 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/68707 ,  Y10S414/141

Abstract: PURPOSE: A substrate transfer apparatus, a substrate transfer method thereof, and a recording medium in which a program for executing the substrate transfer method is recorded are provided to detect a substrate position deviation amount with high precision, thereby easily correcting the deviation amount. CONSTITUTION: A maintenance part(3A) maintains a substrate(W). The maintenance part is installed in order to be transferred from/to a base. Four or more detection parts(5A,5B,5C,5D) respectively detect a location of a peripheral part of the substrate at different locations. The detection part is comprised of a light source and linear image sensors(52A,52B,52C,52D). A controller calculates the center position of the substrate based on the location of the peripheral part.

Abstract translation: 目的：提供记录基板转印方法的程序的基板转印装置及其基板转印方法以及记录介质，以高精度检测基板位置偏差量，从而容易地校正偏差量。 构成：维护部件（3A）维持基板（W）。 安装维护部件以从基座转移到基座。 四个或更多个检测部分（5A，5B，5C，5D）分别在不同位置检测基板的周边部分的位置。 检测部分由光源和线性图像传感器（52A，52B，52C，52D）组成。 控制器基于周边部件的位置来计算基板的中心位置。