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    기판 반송 장치, 기판 반송 방법 및 그 기판 반송 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체
    1.
    发明授权
    기판 반송 장치, 기판 반송 방법 및 그 기판 반송 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체 有权

    公开(公告)号：KR101891446B1

    公开(公告)日：2018-08-24

    申请号：KR1020170135134

    申请日：2017-10-18

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 하야시도쿠타료 ,  사카구치기미나리

    IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

    CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/68

    Abstract: 본발명은, 기판의주연부에절결이있는기판을포크에의해유지하고, 반송할때에, 기판위치의어긋남량을정밀도좋게검출할수 있어, 그어긋남량을용이하게보정할수 있고, 포크의상태를동시에확인하여보정할수 있는기판반송장치를제공하는것을과제로한다. 베이스와, 베이스로부터진퇴가능하게설치되고, 기판(W)을유지하는유지부(3A)와, 유지부(3A)가기판(W)을유지한상태에서후퇴했을때에, 유지부(3A)가유지하고있는기판(W)의주연부의위치를, 각각상이한위치에서검출하는 4개이상의검출부(5)와, 검출부(5)가주연부의위치를검출한검출값에기초하여, 검출부(5) 중어느것이기판(W)의주연부의절결이형성된부분(WN)을검출했는지여부를판정하여, 하나의검출부(5)가절결이형성된부분(WN)을검출했다고판정했을때에, 하나의검출부(5) 이외의 3개의검출부(5)의검출값에기초하여, 다음처리유닛에반송할때에처리유닛의기판(W)의전달위치에보정하는, 제어부를갖는다.

    기판 반송 장치, 이것을 구비하는 도포 현상 장치, 및 기판 반송 방법
    2.
    发明公开
    기판 반송 장치, 이것을 구비하는 도포 현상 장치, 및 기판 반송 방법 无效
    基板传输装置，涂覆开发装置提供的基板传送装置和基板传送方法

    公开(公告)号：KR1020120127220A

    公开(公告)日：2012-11-21

    申请号：KR1020120044434

    申请日：2012-04-27

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 야노미츠테루 ,  사카구치기미나리

    IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  H01L21/027

    CPC classification number: H01L21/67712 ,  B65G49/07 ,  H01L21/0273 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67727

    Abstract: PURPOSE: A substrate transfer apparatus, a coating and developing apparatus including the same, and a substrate transfer method are provided to easily monitor the transfer of a substrate by detecting the position of a substrate holding unit which supports and transfers the substrate. CONSTITUTION: A transfer apparatus(A3) includes supporting units(13A,13B) which support a substrate. The transfer apparatus includes a base(31) which slantly supports the supporting unit. A position sensor(5) detects a position of forks(3A,3B). The position sensor comprises a light emitting unit(5L) and a light receiving unit(5D) corresponding to the light emitting unit. The light emitting unit includes a light source which generates light and a collimator.

    Abstract translation: 目的：提供一种基板转印装置，包括该基板的涂布和显影装置以及基板转印方法，以便通过检测支撑并转印基板的基板保持单元的位置来容易地监视基板的转印。 构成：传送装置（A3）包括支撑基板的支撑单元（13A，13B）。 传送装置包括：倾斜地支撑支撑单元的底座（31）。 位置传感器（5）检测叉（3A，3B）的位置。 位置传感器包括对应于发光单元的发光单元（5L）和光接收单元（5D）。 发光单元包括产生光的光源和准直器。

    기판 반송 장치, 기판 반송 방법 및 그 기판 반송 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체
    3.
    发明公开
    기판 반송 장치, 기판 반송 방법 및 그 기판 반송 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체 审中-实审
    一种基板输送装置，基板输送方法以及记录有用于执行基板输送方法的程序的记录介质

    公开(公告)号：KR1020170121729A

    公开(公告)日：2017-11-02

    申请号：KR1020170135134

    申请日：2017-10-18

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 하야시도쿠타료 ,  사카구치기미나리

    IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

    CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/68

    Abstract: 본발명은, 기판의주연부에절결이있는기판을포크에의해유지하고, 반송할때에, 기판위치의어긋남량을정밀도좋게검출할수 있어, 그어긋남량을용이하게보정할수 있고, 포크의상태를동시에확인하여보정할수 있는기판반송장치를제공하는것을과제로한다. 베이스와, 베이스로부터진퇴가능하게설치되고, 기판(W)을유지하는유지부(3A)와, 유지부(3A)가기판(W)을유지한상태에서후퇴했을때에, 유지부(3A)가유지하고있는기판(W)의주연부의위치를, 각각상이한위치에서검출하는 4개이상의검출부(5)와, 검출부(5)가주연부의위치를검출한검출값에기초하여, 검출부(5) 중어느것이기판(W)의주연부의절결이형성된부분(WN)을검출했는지여부를판정하여, 하나의검출부(5)가절결이형성된부분(WN)을검출했다고판정했을때에, 하나의검출부(5) 이외의 3개의검출부(5)의검출값에기초하여, 다음처리유닛에반송할때에처리유닛의기판(W)의전달위치에보정하는, 제어부를갖는다.

    Abstract translation: 本发明中，保持基板与所述基板的周缘的切口由一个叉的装置，并且时间返回，它能够以高的精度检测基片位置的位移，并且可以容易地校正位移量，叉的状态 本发明的目的是提供一种能够同时验证和校正缺陷的基板传送设备。 在基座中，在被安装成可从基座伸缩时，在基板（W）eulyu地下会从保持部（3A），和一个保持部（3A）至顶板缩回（W）eulyu极寒状态下，保持部（3A） 四个或更多个检测部分5用于检测保持基板W的保持部分在不同位置处的位置，以及用于检测检测部分5的位置的检测部分， 当通过判断是否检测部（WN）具有基片（W）在义州边切割，检测的检测器5 gajeol部分（WN）织构形成，检测部判断感觉（ 基于处理单元中除检测单元5之外的三个检测单元5的检测值，

    기판 반송 장치, 기판 반송 방법 및 그 기판 반송 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체
    6.
    发明授权
    기판 반송 장치, 기판 반송 방법 및 그 기판 반송 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체 有权

    公开(公告)号：KR101931061B1

    公开(公告)日：2018-12-19

    申请号：KR1020180093820

    申请日：2018-08-10

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 하야시도쿠타료 ,  사카구치기미나리

    IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

    Abstract: 본 발명은, 기판의 주연부에 절결이 있는 기판을 포크에 의해 유지하고, 반송할 때에, 기판 위치의 어긋남량을 정밀도 좋게 검출할 수 있어, 그 어긋남량을 용이하게 보정할 수 있고, 포크의 상태를 동시에 확인하여 보정할 수 있는 기판 반송 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
    베이스와, 베이스로부터 진퇴 가능하게 설치되고, 기판(W)을 유지하는 유지부(3A)와, 유지부(3A)가 기판(W)을 유지한 상태에서 후퇴했을 때에, 유지부(3A)가 유지하고 있는 기판(W)의 주연부의 위치를, 각각 상이한 위치에서 검출하는 4개 이상의 검출부(5)와, 검출부(5)가 주연부의 위치를 검출한 검출값에 기초하여, 검출부(5) 중 어느 것이 기판(W)의 주연부의 절결이 형성된 부분(WN)을 검출했는지 여부를 판정하여, 하나의 검출부(5)가 절결이 형성된 부분(WN)을 검출했다고 판정했을 때에, 하나의 검출부(5) 이외의 3개의 검출부(5)의 검출값에 기초하여, 다음 처리 유닛에 반송할 때에 처리 유닛의 기판(W)의 전달 위치에 보정하는, 제어부를 갖는다.

    기판처리장치
    8.
    发明公开
    기판처리장치 失效
    基板加工设备

    公开(公告)号：KR1020060117296A

    公开(公告)日：2006-11-16

    申请号：KR1020060094090

    申请日：2006-09-27

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 미야자키게이 ,  우치하마유이치로 ,  야스다겐지 ,  사카구치기미나리 ,  나가시마신지

    IPC: H01L21/263

    CPC classification number: H01L21/67115 ,  H01L21/67109

    Abstract: A substrate processing apparatus is provided to form a thick uniform insulating layer on a substrate by using an enhanced pressure control unit. A substrate processing apparatus comprises a transfer unit, a heat treatment unit, a cooling unit, and a pressure control unit. The transfer unit(22) is used for transferring a substrate to an aiming position. The heat treatment unit(53) is used for performing a heat treatment on the substrate. The cooling unit is installed adjacent to the heat treatment unit. The pressure control unit is used for adjusting properly the pressure of the heat treatment unit. The pressure control unit is capable of adjusting the pressure of the cooling unit.

    Abstract translation: 提供基板处理装置，通过使用增强的压力控制单元在基板上形成厚均匀的绝缘层。 基板处理装置包括转印单元，热处理单元，冷却单元和压力控制单元。 转印单元（22）用于将基板转印到瞄准位置。 热处理单元（53）用于对基板进行热处理。 冷却单元安装在热处理单元附近。 压力控制单元用于适当地调节热处理单元的压力。 压力控制单元能够调节冷却单元的压力。

    기판 반송 장치, 기판 반송 방법 및 그 기판 반송 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체
    9.
    发明公开
    기판 반송 장치, 기판 반송 방법 및 그 기판 반송 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체 有权
    基板传送装置，基板传送方法和具有用于执行基板传送方法的记录程序的记录介质

    公开(公告)号：KR1020160030143A

    公开(公告)日：2016-03-16

    申请号：KR1020160022561

    申请日：2016-02-25

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 하야시도쿠타료 ,  사카구치기미나리

    IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683

    CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/68

    Abstract: 본발명은, 기판의주연부에절결이있는기판을포크에의해유지하고, 반송할때에, 기판위치의어긋남량을정밀도좋게검출할수 있어, 그어긋남량을용이하게보정할수 있고, 포크의상태를동시에확인하여보정할수 있는기판반송장치를제공하는것을과제로한다. 베이스와, 베이스로부터진퇴가능하게설치되고, 기판(W)을유지하는유지부(3A)와, 유지부(3A)가기판(W)을유지한상태에서후퇴했을때에, 유지부(3A)가유지하고있는기판(W)의주연부의위치를, 각각상이한위치에서검출하는 4개이상의검출부(5)와, 검출부(5)가주연부의위치를검출한검출값에기초하여, 검출부(5) 중어느것이기판(W)의주연부의절결이형성된부분(WN)을검출했는지여부를판정하여, 하나의검출부(5)가절결이형성된부분(WN)을검출했다고판정했을때에, 하나의검출부(5) 이외의 3개의검출부(5)의검출값에기초하여, 다음처리유닛에반송할때에처리유닛의기판(W)의전달위치에보정하는, 제어부를갖는다.

    Abstract translation: 本发明的目的在于提供一种基板输送装置，其能够通过叉子在基板的边缘单元上保持具有切口的基板，并且高精度地检测基板位置偏差，以便在传送基板时容易地校正偏差，并且 可以同时检查叉子的状态并进行更正。 本发明的装置包括：基座; 保持单元（3A），其能够朝向或远离所述基座移动以维持基板（W）; 四个或更多个检测单元（5），用于在保持单元（3A）在保持基板（W）的同时向后移动时，检测由维护单元（3A）维持的基板（W）的边缘单元的位置在不同位置处; 以及控制单元，用于基于由检测单元（5）检测到的检测值，确定检测单元（5）中的哪一个检测到基板（W）的边缘单元的切口部分（WN） 边缘单元的位置，并且基于除了一个检测单元以外的三个检测单元（5）的检测值，将处理单元的基板（W）的传送位置修正到下一次的处理单元 5）当确定一个检测单元（5）检测到形成切口的部分（WN）时。

    기판 반송 장치, 기판 반송 방법 및 그 기판 반송 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체
    10.
    发明授权
    기판 반송 장치, 기판 반송 방법 및 그 기판 반송 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체 有权
    基板传送装置，基板传送方法和具有用于执行基板传送方法的记录程序的记录介质

    公开(公告)号：KR101524335B1

    公开(公告)日：2015-05-29

    申请号：KR1020110066928

    申请日：2011-07-06

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 하야시도쿠타료 ,  사카구치기미나리

    IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  B25J13/08 ,  G06F19/00

    CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/68

    Abstract: 본발명은, 기판의주연부에절결이있는기판을포크에의해유지하고, 반송할때에, 기판위치의어긋남량을정밀도좋게검출할수 있어, 그어긋남량을용이하게보정할수 있고, 포크의상태를동시에확인하여보정할수 있는기판반송장치를제공하는것을과제로한다. 베이스와, 베이스로부터진퇴가능하게설치되고, 기판(W)을유지하는유지부(3A)와, 유지부(3A)가기판(W)을유지한상태에서후퇴했을때에, 유지부(3A)가유지하고있는기판(W)의주연부의위치를, 각각상이한위치에서검출하는 4개이상의검출부(5)와, 검출부(5)가주연부의위치를검출한검출값에기초하여, 검출부(5) 중어느것이기판(W)의주연부의절결이형성된부분(WN)을검출했는지여부를판정하여, 하나의검출부(5)가절결이형성된부분(WN)을검출했다고판정했을때에, 하나의검출부(5) 이외의 3개의검출부(5)의검출값에기초하여, 다음처리유닛에반송할때에처리유닛의기판(W)의전달위치에보정하는, 제어부를갖는다.

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