公开(公告)号：KR1020170017806A

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：KR1020160099889

申请日：2016-08-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야쿠타케히로노부 ,  츠치야다카후미 ,  간자키고이치로

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: C23C2/04 ,  G03F7/423 ,  H01L21/67086

Abstract: 의도하는효과에따른양태로과산화수소공급을행한다. 기판액처리장치는, 황산과과산화수소수의혼합액이저류되고, 저류된혼합액에기판이침지되어기판의처리가행해지는처리조와, 상기처리조로부터유출된혼합액을받는외부조와, 상기외부조내의혼합액을상기처리조에복귀시키는순환라인과, 상기혼합액중에황산을공급하는황산공급부와, 상기외부조내의혼합액에과산화수소수를공급하는제1 과산화수소수공급부와, 상기순환라인의하류측부분을흐르는혼합액에과산화수소수를공급하는제2 과산화수소수공급부를구비한다.

Abstract translation: 公开了一种基板液体处理装置，包括：储存硫酸和过氧化氢的混合物的处理槽，将基板浸渍在所存储的混合物中，使得对基板进行加工; 外浴，其构造成接收从处理槽流出的混合物; 循环管线，其构造成将外浴中的混合物返回到处理槽; 构造成向混合物供给硫酸的硫酸供给单元; 第一过氧化氢供给单元，其构造成向所述外浴中的混合物供给过氧化氢; 以及第二过氧化氢供给单元，其构造成向流经所述循环管路的下游部分的混合物供给过氧化氢。