公开(公告)号：KR100873114B1

公开(公告)日：2008-12-09

申请号：KR1020057000083

申请日：2003-06-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 펑크메리트 ,  하트만스티븐

IPC: G06F17/50 ,  G05B19/418 ,  H01L21/00

CPC classification number: G05B19/418 ,  G05B2219/31334 ,  G05B2219/32128 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/02 ,  Y02P90/16 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/185 ,  Y02P90/86

Abstract: 본 발명에 따르면, 반도체 처리 시스템내의 툴 및 프로세스 성능을 모니터링하는 센서들을 구성 및 셋업하기 위한 그래픽 사용자 인터페이스(GUIs)가 제시된다. 상기 반도체 처리 시스템은 다수의 처리 툴, 다수의 처리 모듈(챔버) 및 다수의 센서를 포함한다. 모든 중요한 파라미터들이 명확하고 논리적으로 디스플레이됨으로써, 사용자가 가능한 한 적은 입력으로 원하는 구성 및 셋업의 임무를 수행할 수 있도록 그래픽 디스플레이가 조직된다. GUI는 웹을 기반으로하며 웹 브라우저를 사용하는 사용자에 의하여 뷰잉될 수 있다.

公开(公告)号：KR1020050016953A

公开(公告)日：2005-02-21

申请号：KR1020057000083

申请日：2003-06-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 펑크메리트 ,  하트만스티븐

IPC: G06F17/50 ,  G05B19/418 ,  H01L21/00

CPC classification number: G05B19/418 ,  G05B2219/31334 ,  G05B2219/32128 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/02 ,  Y02P90/16 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/185 ,  Y02P90/86

Abstract: 본 발명에 따르면, 반도체 처리 시스템내의 툴 및 프로세스 성능을 모니터링하는 센서들을 구성 및 셋업하기 위한 그래픽 사용자 인터페이스(GUIs)가 제시된다. 상기 반도체 처리 시스템은 다수의 처리 툴, 다수의 처리 모듈(챔버) 및 다수의 센서를 포함한다. 모든 중요한 파라미터들이 명확하고 논리적으로 디스플레이됨으로써, 사용자가 가능한 한 적은 입력으로 원하는 구성 및 셋업의 임무를 수행할 수 있도록 그래픽 디스플레이가 조직된다. GUI는 웹을 기반으로하며 웹 브라우저를 사용하는 사용자에 의하여 뷰잉될 수 있다.