-
公开(公告)号：KR1020170040100A
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：KR1020160124619
申请日：2016-09-28
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 후쿠오카데츠오
IPC: H01L21/66 , H01L21/683 , H01L21/67 , H01L21/324
Abstract: 적재대상에적재되는기판의적재상태를높은확실성을갖고검출할수 있는기술을제공하는것이다. 기판인웨이퍼(W)에대해열처리를행하기위해웨이퍼(W)를적재하는열판(2)에, 당해열판(2)에정상적으로적재되어있는웨이퍼(W)의하방측에위치하도록와전류센서(3)를설치한다. 와전류센서(3)는열판(2)에적재된웨이퍼(W)에와전류를발생시켜, 와전류의강도에기초하여웨이퍼(W)까지의거리를측정하는것이며, 이거리의측정결과에기초하여, 열판(2) 상의웨이퍼(W)의적재상태를검출한다. 열판(2) 상의이물에웨이퍼(W)가올려놓여져있거나, 웨이퍼(W)가휜 상태에서열판(2)에적재되면, 웨이퍼(W)가열판(2)에정상적으로적재되어있을때에비해웨이퍼(W)까지의거리가변화되므로, 열판(2) 상의웨이퍼(W)의적재상태에대해높은확실성을갖고검출할수 있다.
Abstract translation: 并且提供能够高度确定地检测堆叠在堆叠物体上的基板的堆叠状态的技术。 涡电流传感器3为了加热晶片W而配置在放置晶片W的加热板2上，以使其位于通常层叠在加热板2上的晶片W的下方， 安装。 涡电流传感器3在安装在加热板2上的晶片W上产生涡电流，根据该涡电流的强度测定到晶片W的距离，根据该测定结果， 在晶片W上检测到2。 热板（2）时sanguiyi水或到位晶片（W），在晶片（W）gahwin状态在热板（2）的负载，将晶片（W）相比，在将晶片（W）的加热板在正常负载（2） 相对于晶片W的固态，可以高度确定地检测热板2上的晶片W. [
-
公开(公告)号：KR1020120082353A
公开(公告)日：2012-07-23
申请号：KR1020120001929
申请日：2012-01-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H01G13/04 , H01G11/06 , H01G11/34 , H01G11/86 , H01G13/02 , H01M4/04 , H01M4/139 , Y02E60/122 , Y02E60/13
Abstract: PURPOSE: An apparatus for manufacturing an electrode, and a method thereof, and a computer storage medium are provided to uniformly apply an active material mixture on a surface of a metal film by controlling a film thickness of the active material mixture. CONSTITUTION: A unwind roll(10) unwinds a strip-shaped metal film(M). A coating part(11) coats an active material mixture on both sides of the metal film. A drying part(12) forms the active material layer by drying the active material mixture on the metal film. A winding roll(13) is used for tying the metal film. The dryer part includes a plurality of road heaters(30a,30b,30c) arranged in a long direction of the metal film side by side The plurality of road heaters irradiates infrared rays. The drying part is divided into a plurality of regions(Ta,Tb,Tc). The temperature of the road heater in one region corresponds to a temperature range of not boiling the active material mixture for a water film thickness of the active material mixture in one region. The temperature of the road heater is set as the temperature of maximizing an absorption rate of the infrared rays in water.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造电极的设备及其方法和计算机存储介质，以通过控制活性材料混合物的膜厚来均匀地将活性材料混合物施加到金属膜的表面上。 构成：展开卷（10）展开带状金属薄膜（M）。 涂覆部分（11）在金属膜的两侧涂覆活性材料混合物。 干燥部件（12）通过干燥金属膜上的活性物质混合物形成活性物质层。 卷绕辊（13）用于捆扎金属膜。 干燥部包括并排配置在金属膜的长度方向上的多个道路加热器（30a，30b，30c）。多个道路加热器照射红外线。 干燥部分被分成多个区域（Ta，Tb，Tc）。 一个区域中道路加热器的温度对应于在一个区域中活性物质混合物的水膜厚度不沸腾活性物质混合物的温度范围。 道路加热器的温度被设定为最大化红外线在水中的吸收率的温度。
-
公开(公告)号：KR1020120082351A
公开(公告)日：2012-07-23
申请号：KR1020120001481
申请日：2012-01-05
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: Y02E60/13 , H01G13/04 , H01G11/06 , H01G11/34 , H01G11/86 , H01G13/02 , H01M4/04 , H01M4/139 , Y02E60/122
Abstract: PURPOSE: A method and apparatus for manufacturing an electrode, and a computer memory medium are provided to form an active material layer with a uniform thickness on both surfaces of a metal foil. CONSTITUTION: An unwinding roll(10) unwinds a metal foil. A coating unit(11) coats both sides of the metal foil with active materials and includes a coating head(20). A drying unit(12) forms the active material layer by drying the active materials and includes a plurality of rod heaters(30a,30b,30c) which radiates infrared rays. A winding roll(13) winds the metal foil from the unwinding roll.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造电极的方法和装置以及计算机存储介质，以在金属箔的两个表面上形成均匀厚度的活性材料层。 构成：展开卷（10）展开金属箔。 涂覆单元（11）用活性材料涂覆金属箔的两侧并且包括涂覆头（20）。 干燥单元（12）通过干燥活性物质形成活性物质层，并且包括辐射红外线的多个棒状加热器（30a，30b，30c）。 卷绕辊（13）将金属箔从开卷辊卷绕。
-
-
Search Results
3
records
(took 0.017 seconds)
