公开(公告)号：KR1020090127059A

公开(公告)日：2009-12-09

申请号：KR1020090045015

申请日：2009-05-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야히로슌이치 ,  후타마타유우스케

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/168 ,  G03F7/707 ,  G03F7/70875 ,  H01L21/67098 ,  H01L21/67248

Abstract: PURPOSE: A decompressing drying unit is provided to prevent traces of pins supporting a treated substrate from being transferred to the substrate, by performing drying treatment of a treatment solution for the substrate coated with the treatment solution. CONSTITUTION: A chamber(106) accommodates a treated substrate(G). A decompressing part(142) decompresses in the chamber. Plural lift pins(128) are arranged in the chamber, and support the treated substrate from the bottom. A lift pin lifting part lifts a lift pin in each group independently, by grouping the plural lift pins. A substrate temperature range detection part detects temperature of the substrate varying according to the decompressing drying treatment. A lift pin temperature control part sets a contact part with the substrate in the pin to have a fixed temperature included in the temperature range detected by the substrate temperature range detection part. A control part controls the operation of the lift pin lifting part.

Abstract translation: 目的：通过对涂覆有处理溶液的基材的处理溶液进行干燥处理，提供减压干燥单元以防止支撑经处理的基材的引脚的痕迹被转移到基底。 构成：室（106）容纳经处理的基板（G）。 减压部件（142）在腔室中减压。 多个提升销（128）布置在室中，并从底部支撑经处理的基板。 升降销提升部件通过分组多个提升销钉独立地提升每个组中的升降销。 基板温度范围检测部检测根据减压干燥处理而变化的基板的温度。 升降针温度控制部将与针脚中的基板的接触部设定为具有由基板温度范围检测部检测出的温度范围内的固定温度。 控制部件控制升降杆提升部件的操作。

公开(公告)号：KR101359751B1

公开(公告)日：2014-02-06

申请号：KR1020090045015

申请日：2009-05-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야히로슌이치 ,  후타마타유우스케

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은, 피처리 기판을 지지하는 핀의 흔적이 기판에 전사(轉寫)되는 것을 방지할 수 있는 기판 처리 장치를 제공한다.
피처리 기판(G)을 수용하는 챔버(106)와, 챔버(106) 내를 감압하는 감압 수단(142)과, 챔버(106) 내에 배열되어, 피처리 기판(G)을 하측으로부터 지지하는 복수 개의 리프트 핀(128)과, 리프트 핀(128) 복수 개를 그룹 단위로 하여, 각 그룹 내의 리프트 핀(128)을 각각 독립적으로 승강시키는 리프트 핀 승강 수단(126)과, 감압 건조 처리에 따라 변화되는 기판(G)의 온도를, 소정의 온도 범위로 구획지어 검출하는 기판 온도 범위 검출 수단(133)과, 상기 그룹 내의 리프트 핀(128)마다, 상기 핀에 있어서의 기판(G)과의 접촉부를 상기 기판 온도 범위 검출 수단(133)에 의해 검출된 온도 범위에 포함되는 소정 온도로 설정하는 리프트 핀 온도 조절 수단(131, 132)과, 리프트 핀 승강 수단(126)의 구동 제어를 행하는 제어 수단(133)을 구비한다.