公开(公告)号：KR102077363B1

公开(公告)日：2020-02-13

申请号：KR1020157018890

申请日：2014-01-31

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시마사토 ,  히가시고우다이

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687

公开(公告)号：KR1020150115734A

公开(公告)日：2015-10-14

申请号：KR1020157018890

申请日：2014-01-31

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시마사토 ,  히가시고우다이

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/67265 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67724 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/68707

Abstract: 복수의기판을선반형으로유지하는기판유지구에유지되는상기기판과, 상기기판의이면을지지하여반송하는지지체와의스침을정밀도높게검출하는것. 상기기판유지구가배치되는배치부와, 상기기판의하면을지지하는지지체, 및상기지지체를진퇴시키는진퇴기구를구비하고, 상기기판유지구에대해기판의전달을행하기위한기판반송기구와, 상기지지체를상기기판유지구에대해상대적으로승강시키는승강기구와, 상기기판유지구에유지된기판과지지체와의접촉에의해발생하는접촉음을증폭시키기위한소리증폭부와, 상기기판유지구를전파하는고체전파음을감지하여감지신호를출력하는진동센서로부터의상기감지신호에기초하여상기기판과지지체와의스침을검출하기위한검출부를구비하도록기판반송장치를구성한다.