公开(公告)号：KR1019990088473A

公开(公告)日：1999-12-27

申请号：KR1019990018418

申请日：1999-05-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 후지타요시유키 ,  히라이준 ,  이이타카아즈사 ,  다무라다쓰야

IPC: H01L21/304

CPC classification number: C23C16/52 ,  C23C16/4405

Abstract: 성막장치의처리용기내의처리공간에크리닝가스를흐르게하고, 처리용기내에설치한가스온도검출수단에의해처리용기내의가스온도를소정시간계속하여검출한다. 처리공간을통과하고있는크리닝가스가불필요한부착막과반응함으로써크리닝하고있는동안에는점차로가스온도검출수단의검출치가상승한다. 가스온도검출수단에의해서검출한검출치의시간변화에의거하여크리닝조작의종료시점을검출한다. 바람직하게는, 검출치가피크치를넘어선후 소정시간경과한시점을크리닝조작의종료시점으로한다. 그결과, 크리닝부족이나과다한에칭을발생시키지않고, 정확하게크리닝의종료시점을검출하여크리닝조작을거의완전하게행할수 있다.

公开(公告)号：KR100554113B1

公开(公告)日：2006-02-20

申请号：KR1019990018418

申请日：1999-05-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 후지타요시유키 ,  히라이준 ,  이이타카아즈사 ,  다무라다쓰야

IPC: H01L21/304

CPC classification number: C23C16/52 ,  C23C16/4405

Abstract: 성막장치의 처리용기내의 처리공간에 크리닝 가스를 흐르게 하고, 처리용기내에 설치한 가스온도센서에 의해 처리용기내의 가스 온도를 소정시간 계속하여 검출한다. 처리공간을 통과하고 있는 크리닝 가스가 불필요한 부착막과 반응함으로써 크리닝하고 있는 동안에는 점차로 가스온도센서의 검출치가 상승한다. 가스온도센서에 의해서 검출한 검출치의 시간변화에 의거하여 크리닝 조작의 종료시점을 검출한다. 바람직하게는, 검출치가 피크치를 넘어선 후 소정 시간 경과한 시점을 크리닝 조작의 종료시점으로 한다. 그 결과, 크리닝 부족이나 과다한 에칭을 발생시키지 않고, 정확하게 크리닝의 종료시점을 검출하여 크리닝 조작을 거의 완전하게 행할 수 있다.