公开(公告)号：KR100187920B1

公开(公告)日：1999-06-01

申请号：KR1019930002709

申请日：1993-02-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 미야자키다카노리 ,  사쿠라이히로시

IPC: H01L21/304

Abstract: 처리액을 저장하는 여러 개의 처리 탱크와, 피세정물을 반송하여 상기 처리 탱크 내의처리액에 침지하는 반송수단과, 상기 처리 탱크로부터의 폐액을 희석하기 위한 희석액을 배관계를 통하여 공급하는 희석액 공급 수단과 희석된 폐액을 저장하기 위한 폐액 저장 수단을 구비한 세정 장치에 있어서, 폐액 정장 수단에 이 폐액 저장 수단내의 폐액의 온도를 검지하는 온도 측정 수단을 설치하며, 이 온도 측정 수단의 온도 측정 결과에 따라서 상기 희석액 공급 수단으로 부터의 희석액 공급량을 온도 제어 장치에 의하여 제어하도록 한 것을 특징으로 하는 세정장치에 관한 것이다. 또 배관계의 배관용 죠인트의 고정장치를 설치한다. 이와 같이 구성하므로서 처리 탱크의 파손등의 사고가 발생한 경우에 있어서도, 폐액 저장 수단내의 폐액의 온도가 이상 상승하는 것을 미연에 방지할 수 있다. 또 폐액 저장 수단내로부터 공장의 폐액계에 고온의 약액이 유출하는 것을 방지할 수가 있고, 종래에 비하여 작업의 안전성 향상을 도모할 수 있다. 또, 고정장치에 의하여 배관계의 맥동에 의한 배관용 죠인트의 느슨함을 방지할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019930018666A

公开(公告)日：1993-09-22

申请号：KR1019930002709

申请日：1993-02-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 미야자키다카노리 ,  사쿠라이히로시

IPC: H01L21/304

Abstract: 처리액을 저장하는 여러 개의 처리탱크와, 피세정물을 반송하여 상기 처리 탱크 내의처리액에 침지하는 반송수단과, 상기 처리 탱크로부터의 폐액을 희석하기 위한 희석액을 배관계를 통하여 공급하는 희석액 공급수단과, 희석된 폐액을 저장하기 위한 폐액 저장 수단을 구비한 세정 장치에 있어서, 폐액 저장 수단에 이 폐액 저장 수단내의 폐액의온도를 검지하는 온도 측정 수단을 설치하며, 이 온도 측정 수단의 온도 측정 결과에 따라서 상기 희석액 공급 수단으로 부터의 희석액 공급량을 온도제어 장치에 의하여 제어하도록 한 것을 특징으로 하는 세정장치에 관한 것이다. 또 배관게의 배관용 죠인트의 고정장치를 설치한다. 이와 같이 구성하므로서 처리 탱크의 파손등의 사고가 발생한 경우에 있어서도, 폐액 저장 수단내의 폐액의 온도가 이상 상승하는 것을 미연에 방지할수 있다. 또 폐액 저장 수단내로부터 공장의 폐액계에 고온의 약액이 유출하는 것을 방지할 수가 있고, 종래에 비하여 작업의 안정성 향상을 도모 할수 있다. 또, 고정장치에 의하여 배관계의 맥동에 의한 배관용 죠인트의 느슨함을 방지할 수 있다.