公开(公告)号：KR1019910007092A

公开(公告)日：1991-04-30

申请号：KR1019900006565

申请日：1990-05-09

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 사카이히로시 ,  히라카와에이이치 ,  야마구치지미쓰 ,  다케구마타쓰시

IPC: H01L21/31

Abstract: 내용 없음

公开(公告)号：KR1019910001952A

公开(公告)日：1991-01-31

申请号：KR1019900008898

申请日：1990-06-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 마쓰무라키미하루 ,  사카이히로시 ,  무라카이마사아키 ,  오오타테쓰야 ,  야마구치지미쓰

IPC: H01L21/20

Abstract: 내용 없음

公开(公告)号：KR100155994B1

公开(公告)日：1998-12-01

申请号：KR1019900008898

申请日：1990-06-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 마쓰무라키미하루 ,  사카이히로시 ,  무라카이마사아키 ,  오오타테쓰야 ,  야마구치지미쓰

IPC: H01L21/20

Abstract: 내용 없음.

公开(公告)号：KR100140519B1

公开(公告)日：1998-07-15

申请号：KR1019900006565

申请日：1990-05-09

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 사카이히로시 ,  히라카와에이이치 ,  야마구치지미쓰 ,  다케구마타쓰시

IPC: H01L21/31

Abstract: 내용없음.