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公开(公告)号：KR100251875B1
公开(公告)日：2000-04-15
申请号：KR1019930024821
申请日：1993-11-20
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤
IPC: H01L21/304
CPC classification number: H01L21/67028 , Y10S134/902
Abstract: 기판 세정장치는, 기판의 한 쪽면을 스크래빙하는 스크레버를 가지는 제 1 유니트와, 기판을 반전하는 반전기구를 가지는 제 2 유니트와, 제 1 및 제 2 유니트 사이에서 기판을 반송하는 반송로보트를 가진다.
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公开(公告)号：KR1019940012522A
公开(公告)日：1994-06-23
申请号：KR1019930024821
申请日：1993-11-20
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤
IPC: H01L21/304
Abstract: 기판 세정장치는, 기판의 한 쪽면을 스크래빙하는 스크래벌 가지는 제1유니트와, 기판을 반전하는 반전기구를 가지는 제2유니트와, 제1 및 제2유니트 사이에서 기판을 반송하는 반송로보트를 가진다.
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