公开(公告)号：KR1019920010782A

公开(公告)日：1992-06-27

申请号：KR1019910020990

申请日：1991-11-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 이노우에마사후미

IPC: H01L21/304

Abstract: 내용 없음

公开(公告)号：KR100167478B1

公开(公告)日：1999-02-01

申请号：KR1019910020990

申请日：1991-11-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 이노우에마사후미

IPC: H01L21/304

Abstract: 여러개의 웨이퍼를 배치처리하는 세정장치는 세정탱크와 이 세정탱크 전용의 상하로 이동가능한 웨이퍼 보트를 구비한다.
상기 보트는 세정탱크 내에서 상기 웨이퍼를 서로 간격(S)을 두고 이간시킨 상태로 지지하는 로드를 가진다.
상기 웨이퍼는 상기 세정탱크 밖에서 캐리어 내에 수납되며, 회전반송아암에 의해 상기 보트까지 반송된다.
상기 회전반송아암은 상기 웨이퍼의 반송중에 상기 웨이퍼를 지지하는 포크를 가진다.
상기 포크는 상기 웨이퍼를 상기 보트에 두는 간격과 갈은 간격으로 서로 이간시킨 상태로 지지한다.
상기 보트와 상기 회전반송아암의 포크와의 사이의 상기 웨이퍼의 옮겨 바꿈은 상기 세정탱크의 위쪽이며 상기 보트의 상하 움직임에 의해 행해진다.
이때, 상기 보트의 로드와 상기 포크의 이빨이 서로 다르게 맞물린다.