公开(公告)号：KR1020070084624A

公开(公告)日：2007-08-24

申请号：KR1020077012317

申请日：2005-11-28

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 알고트스마틴제이. ,  버그스테트로버트에이. ,  글레스피월터디. ,  쿨게이코블라디미르에이. ,  파틀로윌리엄엔. ,  라일로프게르만이. ,  샌드스트롬리차드엘. ,  스트레이트브라이언디. ,  다이어디모티에스.

IPC: H01S3/22

CPC classification number: H01S3/1055 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  H01S3/005 ,  H01S3/036 ,  H01S3/08 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/08059 ,  H01S3/097 ,  H01S3/106 ,  H01S3/2251

Abstract: A line narrowing method and module for a narrow band DUV high power high repetition rate gas discharge laser producing output laser light pulse beam pulses in bursts of pulses, the module having a nominal optical path are disclosed which may comprise: a dispersive center wavelength selection optic moveably mounted within an optical path of the line narrowing module, selecting at least one center wavelength for each pulse determined at least in part by the angle of incidence of the laser light pulse beam containing the respective pulse on the dispersive wavelength selection optic; a first tuning mechanism operative in part to select the angle of incidence of the laser light pulse beam containing the respective pulse upon the dispersive center wavelength selection optic, by selecting an angle of transmission of the laser light pulse beam containing the pulse toward the dispersive center wavelength selection optic; a second tuning mechanism operative in part to select the angle of incidence of the laser light pulse beam containing the respective pulse by changing the position of the dispersive center wavelength selection optic relative to the nominal optical path of the line narrowing module; wherein the second tuning mechanism coarsely selects a value for the center wavelength and the first tuning mechanism more finely selects the value for the center wavelength.

Abstract translation: 一种用于窄带DUV大功率高重复率气体放电激光器的线窄化方法和模块，其产生具有标称光路的脉冲串中的输出激光束脉冲束脉冲，其可以包括：分散中心波长选择光学器件 可移动地安装在线路窄化模块的光路内，为至少部分地由分散波长选择光学器件上包含相应脉冲的激光束的入射角确定的每个脉冲选择至少一个中心波长; 第一调谐机构部分地通过选择包含脉冲朝向分散中心的激光束的透射角度来选择包含分散中心波长选择光学器件上的各个脉冲的激光束的入射角 波长选择光学; 第二调谐机构部分地通过改变色散中心波长选择光学器件相对于线条变窄模块的标称光路的位置来选择包含相应脉冲的激光束的入射角; 其中第二调谐机构粗略地选择中心波长的值，并且第一调谐机构更精细地选择中心波长的值。

公开(公告)号：KR101235047B1

公开(公告)日：2013-02-21

申请号：KR1020127002413

申请日：2005-11-28

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 알고트스마틴제이. ,  버그스테트로버트에이. ,  글레스피월터디. ,  쿨게이코블라디미르에이. ,  파틀로윌리엄엔. ,  라일로프게르만이. ,  샌드스트롬리차드엘. ,  스트레이트브라이언디. ,  다이어디모티에스.

IPC: H01S3/22

CPC classification number: H01S3/1055 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  H01S3/005 ,  H01S3/036 ,  H01S3/08 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/08059 ,  H01S3/097 ,  H01S3/106 ,  H01S3/2251

Abstract: 공칭 광경로를 갖고 있고, 펄스의 버스트를 포함하는 출력 레이저 광 빔을 생성하는 협대역 DUV 고전력 고반복율 가스 방전 레이저용 라인 내로잉 모듈에 있어서, 분산 중심 파장 선택 광학기구상의 각각의 펄스를 포함하는 레이저 광 빔의 입사각에 의해 적어도 부분적으로 결정된 각 펄스에 대하여 적어도 하나의 중심 파장을 선택하는, 상기 라인 내로우잉 모듈의 광경로내에 이동가능하게 장착된 상기 분산 중심 파장 선택 광학기구; 상기 분산 중심 파장 선택 광학기구쪽으로 펄스를 포함하는 레이저 광 빔의 투사각을 선택함으로써, 상기 분산 중심 파장 선택 광학 기구상에 각 펄스를 포함하는 레이저 광 빔의 입사각을 선택하도록 부분적으로 동작하는 제1 튜닝 메커니즘; 및 상기 라인 내로우잉 모듈의 공칭 광경로에 대하여 상기 분산 중심 파장 선택 광학기구의 위치를 변경함으로써 상기 각 펄스를 포함하는 레이저 광 빔의 입사각을 선택하도록 부분적으로 동작하는 제2 튜닝 메커니즘;을 포함하고, 상기 제2 튜닝 메커니즘은 상기 중심 파장에 대한 값을 거칠게 선택하고 상기 제1 튜닝 메커니즘은 상기 중심 파장에 대한 값을 보다 미세하게 선택하는 라인 내로우잉 방법 및 모듈이 개시되어 있다.

公开(公告)号：KR101147316B1

公开(公告)日：2012-05-18

申请号：KR1020077012317

申请日：2005-11-28

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 알고트스마틴제이. ,  버그스테트로버트에이. ,  글레스피월터디. ,  쿨게이코블라디미르에이. ,  파틀로윌리엄엔. ,  라일로프게르만이. ,  샌드스트롬리차드엘. ,  스트레이트브라이언디. ,  다이어디모티에스.

IPC: H01S3/22

CPC classification number: H01S3/1055 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  H01S3/005 ,  H01S3/036 ,  H01S3/08 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/08059 ,  H01S3/097 ,  H01S3/106 ,  H01S3/2251

Abstract: 공칭 광경로를 갖고 있고, 펄스의 버스트내의 출력 레이저 광 펄스 빔 펄스를 생성하는 협대역 DUV 고전력 고반복율 가스 방전 레이저용 라인 내로잉 모듈에 있어서, 분산 중심 파장 선택 광학기구상의 각각의 펄스를 포함하는 레이저 광 펄스 빔의 입사각에 의해 적어도 부분적으로 결정된 각 펄스에 대하여 적어도 하나의 중심 파장을 선택하는, 상기 라인 내로우잉 모듈의 광경로내에 이동가능하게 장착된 상기 분산 중심 파장 선택 광학기구; 상기 분산 중심 파장 선택 광학기구쪽으로 펄스를 포함하는 레이저 광 펄스 빔의 투사각을 선택함으로써, 상기 분산 중심 파장 선택 광학 기구상에 각 펄스를 포함하는 레이저 광 펄스 빔의 입사각을 선택하도록 부분적으로 동작하는 제1 튜닝 메커니즘; 및 상기 라인 내로우잉 모듈의 공칭 광경로에 대하여 상기 분산 중심 파장 선택 광학기구의 위치를 변경함으로써 상기 각 펄스를 포함하는 레이저 광 펄스 빔의 입사각을 선택하도록 부분적으로 동작하는 제2 튜닝 메커니즘;을 포함하고, 상기 제2 튜닝 메커니즘은 상기 중심 파장에 대한 값을 거칠게 선택하고 상기 제1 튜닝 메커니즘은 상기 중심 파장에 대한 값을 보다 미세하게 선택하는 라인 내로우잉 방법 및 모듈이 개시되어 있다.
라인 내로우잉 모듈, 가스 방전 레이저, 분산 중심 파장 선택 광학 기구, 튜 닝 메커니즘, 거친 조정, 미세조정, 입사각, 투사각, 광경로, 출력 레이저 광 펄스 빔 펄스

公开(公告)号：KR1020120025004A

公开(公告)日：2012-03-14

申请号：KR1020127002413

申请日：2005-11-28

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 알고트스마틴제이. ,  버그스테트로버트에이. ,  글레스피월터디. ,  쿨게이코블라디미르에이. ,  파틀로윌리엄엔. ,  라일로프게르만이. ,  샌드스트롬리차드엘. ,  스트레이트브라이언디. ,  다이어디모티에스.

IPC: H01S3/22

CPC classification number: H01S3/1055 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  H01S3/005 ,  H01S3/036 ,  H01S3/08 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/08059 ,  H01S3/097 ,  H01S3/106 ,  H01S3/2251

Abstract: 공칭 광경로를 갖고 있고, 펄스의 버스트내의 출력 레이저 광 펄스 빔 펄스를 생성하는 협대역 DUV 고전력 고반복율 가스 방전 레이저용 라인 내로잉 모듈에 있어서, 분산 중심 파장 선택 광학기구상의 각각의 펄스를 포함하는 레이저 광 펄스 빔의 입사각에 의해 적어도 부분적으로 결정된 각 펄스에 대하여 적어도 하나의 중심 파장을 선택하는, 상기 라인 내로우잉 모듈의 광경로내에 이동가능하게 장착된 상기 분산 중심 파장 선택 광학기구; 상기 분산 중심 파장 선택 광학기구쪽으로 펄스를 포함하는 레이저 광 펄스 빔의 투사각을 선택함으로써, 상기 분산 중심 파장 선택 광학 기구상에 각 펄스를 포함하는 레이저 광 펄스 빔의 입사각을 선택하도록 부분적으로 동작하는 제1 튜닝 메커니즘; 및 상기 라인 내로우잉 모듈의 공칭 광경로에 대하여 상기 분산 중심 파장 선택 광학기구의 위치를 변경함으로써 상기 각 펄스를 포함하는 레이저 광 펄스 빔의 입사각을 선택하도록 부분적으로 동작하는 제2 튜닝 메커니즘;을 포함하고, 상기 제2 튜닝 메커니즘은 상기 중심 파장에 대한 값을 거칠게 선택하고 상기 제1 튜닝 메커니즘은 상기 중심 파장에 대한 값을 보다 미세하게 선택하는 라인 내로우잉 방법 및 모듈이 개시되어 있다.

Abstract translation: 在用于窄带DUV高功率高重复率气体放电激光器的输入模块中，其具有标称光路并在脉冲串中产生输出激光脉冲束脉冲， 所述色散中心波长选择光学机构可移动地安装在所述机翼模块的所述光路内进入所述线中，为至少部分由所述激光脉冲束的入射角度确定的每个脉冲选择至少一个中心波长; 通过选择包括脉冲的激光束脉冲束在色散中心波长选择光学器件上的投射角，部分地选择包括每个脉冲的激光束脉冲束的入射角， 1调谐机制; 以及第二调谐机构，其部分地操作以通过将色散中心波长选择光学器件相对于机翼模块的标称光路的位置改变成线路来选择包括每个脉冲的激光脉冲束的入射角 第二调谐机构大致选择中心波长的值，第一调谐机构为中心波长选择更精细的值。