公开(公告)号：KR1020090020649A

公开(公告)日：2009-02-26

申请号：KR1020087031844

申请日：2007-05-31

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 어쇼프알렉산더아이. ,  펠렐제임스제이. ,  호프만토마스 ,  레일리다니엘제이. ,  레멘크리스알.

IPC: H01S3/223

CPC classification number: H01S3/225 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/03 ,  H01S3/034

Abstract: An apparatus and method is disclosed which may comprise a high power excimer or molecular fluorine gas discharge laser DUV light source system which may comprise: a pulse stretcher which may comprise: an optical delay path mirror, an optical delay path mirror gas purging assembly which may comprise: a purging gas supply system directing purging gas across a face of the optical delay line mirror. The optical delay path mirror may comprise a plurality of optical delay path mirrors; the purging gas supply system may direct purging gas across a face of each of the plurality of optical delay line mirrors. The purging gas supply system may comprise: a purging gas supply line; a purging gas distributing and directing mechanism which may direct purging gas across the face of the respective optical delay path mirror.

Abstract translation: 公开了一种装置和方法，其可以包括高功率准分子或分子氟气体放电激光DUV光源系统，其可以包括：脉冲展宽器，其可以包括：光学延迟路径反射镜，光学延迟路径镜气体清洗组件，其可以 包括：吹扫气体供应系统，其引导净化气体穿过光学延迟线反射镜的表面。 光学延迟路径镜可以包括多个光学延迟路径镜; 净化气体供应系统可以引导净化气体穿过多个光学延迟线反射镜中的每一个的表面。 净化气体供应系统可以包括：净化气体供应管线; 吹扫气体分配和引导机构，其可以将吹扫气体引导通过相应的光学延迟路径反射镜的表面。

公开(公告)号：KR101385046B1

公开(公告)日：2014-04-14

申请号：KR1020087031844

申请日：2007-05-31

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 어쇼프알렉산더아이. ,  펠렐제임스제이. ,  호프만토마스 ,  레일리다니엘제이. ,  레멘크리스알.

IPC: H01S3/223

CPC classification number: H01S3/225 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/03 ,  H01S3/034

Abstract: 고출력 엑시머 또는 분자 플루오르 가스 방전 레이저 DUV 광원 시스템으로서, 광 지연 라인 미러의 면을 가로질러 퍼징가스를 지향시키는 퍼징 가스 공급 시스템을 구비하는 광 지연 경로 미러 가스 퍼징 어셈블리, 및 광 지연 경로 미러를 구비하는 펄스 스트레처를 포함하는 고출력 엑시머 또는 분자 플루오르 가스 방전 레이저 DUV 광원 시스템을 포함하는 장치 및 방법이 개시된다. 상기 광 지연 경로 미러는 복수의 광 지연 경로 미러를 포함하고; 상기 퍼징 가스 공급 시스템은 퍼징 가스를 복수의 광 지연 라인 미러 각각의 면을 지나도록 지향시킨다. 상기 퍼징 가스 공급 시스템은: 퍼징 가스 공급 라인; 퍼징 가스를 각각의 광 지연 경로 미러의 면을 가로질러 지향시키는 퍼징 가스 분배 메커니즘 및 지향 메커니즘을 포함한다.
광 지연 라인 미러, 광 지연 라인 미러 가스 퍼징 어셈블리, 펄스 스트레처, 고 출력 엑시머, 분자 플루오르 가스 방전 레이저 DUV 광원 시스템, 퍼징 가스, 퍼징 가스 분배 및 지향 메커니즘, 퍼징 가스 공급 시스템