公开(公告)号：KR100562009B1

公开(公告)日：2006-03-22

申请号：KR1020027002868

申请日：2000-08-31

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 알고츠존엠. ,  마치크리스토퍼에이. ,  에리프레드릭지. ,  벅제시디. ,  얼쇼프알렉산더아이. ,  다스팔라쉬피. ,  포멘코브이고르브이.

IPC: H01S3/10

Abstract: 스마트 레이저는 파장계(22)로부터의 피드백 신호를 사용하여 펄스 에너지, 파장 및 대역폭을 자동적으로 제어하는 컴퓨터 제어기(24A)를 구비한다. 펄스 에너지는 방전 전압을 제어함으로써 제어된다. 파장은 라인 협소화 모듈의 R
MAX 미러를 매우 정교하고도 신속하게 위치결정함으로써 제어된다. 대역폭은 라인 협소화 모듈에서의 회절격자의 굴곡을 조절함으로써 제어된다. 바람직한 실시예는 빔 익스팬더 프리즘이 위치된 프리즘 플레이트의 자동 조절과 R
MAX 경사의 자동 조절을 포함한다. 다른 바람직한 실시예는 공진 공동내에서 레이저 챔버(3)의 수평 위치의 자동 조절을 포함한다. 바람직한 실시예에서, 파장 모니터로부터의 피드백 신호는 R
MAX 미러를 위치결정하기 위하여 사용된다. 다른 실시예에서, R
MAX 미러에서 반사되어 광다이오드 어레이로 비춰진 개개의 레이저 빔은 미러를 위치결정하기 위하여 사용된다.
레이저, 파장 제어, 협대역, 스마트 레이저, 라인 협소화 모듈

公开(公告)号：KR1020020026613A

公开(公告)日：2002-04-11

申请号：KR1020027002868

申请日：2000-08-31

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 알고츠존엠. ,  마치크리스토퍼에이. ,  에리프레드릭지. ,  벅제시디. ,  얼쇼프알렉산더아이. ,  다스팔라쉬피. ,  포멘코브이고르브이.

IPC: H01S3/10

Abstract: 스마트 레이저는 파장계(22)로부터의 피드백 신호를 사용하여 펄스 에너지, 파장 및 대역폭을 자동적으로 제어하는 컴퓨터 제어기(24A)를 구비한다. 펄스 에너지는 방전 전압을 제어함으로써 제어된다. 파장은 라인 협소화 모듈의 R
MAX 미러를 매우 정교하고도 신속하게 위치결정함으로써 제어된다. 대역폭은 라인 협소화 모듈에서의 회절격자의 굴곡을 조절함으로써 제어된다. 바람직한 실시예는 빔 익스팬더 프리즘이 위치된 프리즘 플레이트의 자동 조절과 R
MAX 경사의 자동 조절을 포함한다. 다른 바람직한 실시예는 공진 공동내에서 레이저 챔버(3)의 수평 위치의 자동 조절을 포함한다. 바람직한 실시예에서, 파장 모니터로부터의 피드백 신호는 R
MAX 미러를 위치결정하기 위하여 사용된다. 다른 실시예에서, R
MAX 미러에서 반사되어 광다이오드 어레이로 비춰진 개개의 레이저 빔은 미러를 위치결정하기 위하여 사용된다.