公开(公告)号：KR100913349B1

公开(公告)日：2009-08-20

申请号：KR1020037016873

申请日：2002-06-05

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 타이터스클레이씨. ,  헐버드윌리엄쥐. ,  사이벌스키레이몬드에프. ,  알고츠존엠. ,  라이식마이클에스.

IPC: G02B5/06

CPC classification number: H01S3/036 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/02 ,  H01S3/03 ,  H01S3/034 ,  H01S3/0401 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08059 ,  H01S3/0812 ,  H01S3/086 ,  H01S3/13 ,  H01S3/134 ,  H01S3/1392 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2256

Abstract: 고 에너지 레이저 빔을 산출하는 레이저를 라인 내로우잉하기 위한, 격자 기반 라인 내로우잉 디바이스가 개시된다. 격자와 하우징 구조 사이의 상이한 열 팽창에 의해 유발된 격자상의 응력을 사실상 제거하는 만곡 격자 마운트가 제공된다. 두껍고 극히 낮은 열 팽창의 유리 기판상의 매우 얇은 알루미늄으로 구성된 격자가 만곡 격자 마운트를 사용하여 알루미늄 하우징 구조에 부착되어 있다. 적어도 하나의 만곡 조인트가 기판의 열 팽창 및 수축을 허용하는 격자 마운트내에 제공된다. 특정 실시예에서, 마운트는 금속 플레이트를 포함하고 만곡 조인트는 금속 플레이트내에 기계가공된 4개의 레그(126)를 구비한 H-만곡 조인트(124)이다. 다른 실시예에서, 2개의 H-만곡 조인트가 제공된다. 다른 실시예에서, 만곡 조인트는 마운트의 일단부가 타단부에 대하여 슬립핑될 수 있도록 하는 도브테일 조인트이다.
격자, 라인 내로우잉 디바이스, 만곡 격자 마운트, 열팽창계수, 금속 플레이트, H-만곡 조인트, 도브테일 조인트

公开(公告)号：KR1020020026613A

公开(公告)日：2002-04-11

申请号：KR1020027002868

申请日：2000-08-31

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 알고츠존엠. ,  마치크리스토퍼에이. ,  에리프레드릭지. ,  벅제시디. ,  얼쇼프알렉산더아이. ,  다스팔라쉬피. ,  포멘코브이고르브이.

IPC: H01S3/10

Abstract: 스마트 레이저는 파장계(22)로부터의 피드백 신호를 사용하여 펄스 에너지, 파장 및 대역폭을 자동적으로 제어하는 컴퓨터 제어기(24A)를 구비한다. 펄스 에너지는 방전 전압을 제어함으로써 제어된다. 파장은 라인 협소화 모듈의 R
MAX 미러를 매우 정교하고도 신속하게 위치결정함으로써 제어된다. 대역폭은 라인 협소화 모듈에서의 회절격자의 굴곡을 조절함으로써 제어된다. 바람직한 실시예는 빔 익스팬더 프리즘이 위치된 프리즘 플레이트의 자동 조절과 R
MAX 경사의 자동 조절을 포함한다. 다른 바람직한 실시예는 공진 공동내에서 레이저 챔버(3)의 수평 위치의 자동 조절을 포함한다. 바람직한 실시예에서, 파장 모니터로부터의 피드백 신호는 R
MAX 미러를 위치결정하기 위하여 사용된다. 다른 실시예에서, R
MAX 미러에서 반사되어 광다이오드 어레이로 비춰진 개개의 레이저 빔은 미러를 위치결정하기 위하여 사용된다.

公开(公告)号：KR100878772B1

公开(公告)日：2009-01-14

申请号：KR1020037011272

申请日：2002-02-15

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 스팽글러로날드엘. ,  자크로버트엔. ,  룰존에이. ,  팔렌샤트프레데릭에이. ,  포멘코프이고르브이. ,  알고츠존엠. ,  립콘쟈콥피. ,  샌드스트롬리차드엘.

IPC: H01S3/10

CPC classification number: G03F7/70575 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70333 ,  G03F7/70933 ,  H01S3/02 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/0404 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/097 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/104 ,  H01S3/105 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/1312 ,  H01S3/134 ,  H01S3/137 ,  H01S3/22 ,  H01S3/2207 ,  H01S3/225

Abstract: 고속 파장 보정 기능을 갖춘 전기 방전 레이저가 개시되었다. 고속 파장 보정 장비는 적어도 하나의 압전 구동기와 고속 파장 측정 시스템(104)과 고속 피드백 응답 시간을 포함한다. 바람직한 실시예에서, 수밀리미터의 저속 시간 프레임, 약 1 내지 5 밀리초의 중속 시간 프레임 및 수 마이크로초의 초고속 프레임상에서 파장을 제어하기 위해 장비가 제공된다. 바람직한 기술은 튜닝 미러를 사용하여 레이저 파장을 튜닝하기 위해 초고속 압전 구동기와 비교적 저속인 스테퍼 모터의 조합을 포함한다. 초고속 파장 제어는 압전 구동기와의 조합으로 압전 로드 셀에 제공된다. 바람직한 실시예는 파장 측정치, 고속 진동 제어, 로드 셀 및 액티브 댐핑 모듈(320)을 사용한 액티브 댐핑, 및 이력 버스트 데이터를 기초로 하여 피드 포워드 알고리즘을 사용한 트랜지언트 반전에 기초하여 고속 피드백 제어를 제공한다.
전기 방전 레이저, 파장 보정, 튜닝 미러, 압전 구동기, 댐핑, 버스트 데이터, 피드백 제어, 스테퍼 모터

公开(公告)号：KR100562009B1

公开(公告)日：2006-03-22

申请号：KR1020027002868

申请日：2000-08-31

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 알고츠존엠. ,  마치크리스토퍼에이. ,  에리프레드릭지. ,  벅제시디. ,  얼쇼프알렉산더아이. ,  다스팔라쉬피. ,  포멘코브이고르브이.

IPC: H01S3/10

Abstract: 스마트 레이저는 파장계(22)로부터의 피드백 신호를 사용하여 펄스 에너지, 파장 및 대역폭을 자동적으로 제어하는 컴퓨터 제어기(24A)를 구비한다. 펄스 에너지는 방전 전압을 제어함으로써 제어된다. 파장은 라인 협소화 모듈의 R
MAX 미러를 매우 정교하고도 신속하게 위치결정함으로써 제어된다. 대역폭은 라인 협소화 모듈에서의 회절격자의 굴곡을 조절함으로써 제어된다. 바람직한 실시예는 빔 익스팬더 프리즘이 위치된 프리즘 플레이트의 자동 조절과 R
MAX 경사의 자동 조절을 포함한다. 다른 바람직한 실시예는 공진 공동내에서 레이저 챔버(3)의 수평 위치의 자동 조절을 포함한다. 바람직한 실시예에서, 파장 모니터로부터의 피드백 신호는 R
MAX 미러를 위치결정하기 위하여 사용된다. 다른 실시예에서, R
MAX 미러에서 반사되어 광다이오드 어레이로 비춰진 개개의 레이저 빔은 미러를 위치결정하기 위하여 사용된다.
레이저, 파장 제어, 협대역, 스마트 레이저, 라인 협소화 모듈

公开(公告)号：KR1020050012235A

公开(公告)日：2005-01-31

申请号：KR1020047017911

申请日：2003-04-23

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 샌드스트롬리차드엘. ,  판샤오지양 ,  멜치올존티. ,  알고츠존엠. ,  볼매튜 ,  프로이로프블라디미르 ,  어쇼프알렉산더아이. ,  야거토마스 ,  질레스피에월터디. ,  루브린레오나드 ,  그라첼홀저케이. ,  파르틀로윌리암엔. ,  마쉬엘리자베쓰 ,  모톤리차드디. ,  우자즈도우키리차드씨. ,  와켄틴데이비드제이. ,  웹알키레.

IPC: H01S3/22

CPC classification number: H01S3/225 ,  G03F7/7055 ,  H01S3/1024 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2258 ,  H01S3/2333

Abstract: 본 발명은 고 반복율 고전력 출력 빔(38)을 발생하는 모듈러, 고 반복율, 자외선 가스 방전 레이저 시스템(도 1)을 위한 수명이 긴 광학기구를 제공한다. 본 발명은 프로토타입 레이저 시스템의 출력 빔(14C)의 고 펄스 강도 섹션(10)(26)에 위치된 CaF
2 광학기구(4260)(422)(424)(426)상에서의 표면 손상 문제에 대해 본원인에 의해 발견된 해결책을 포함한다. 실시예는 수십억 출력 레이저 펄스(38)의 빔 운반을 위한 빔 포인팅 컨트롤(40A)(40B)(6)에 의한 인클로우징된(4) 및 퍼지된 빔 경로(14C)를 포함한다. 본원에 설명된 광학 컴포넌트 및 모듈은 수십억 펄스(14A)에 대해 3.5 x10
6 Watts/㎠ 이상의 피크 강도 및 1.75 x 10
6 Watts/㎠ 이상의평균 출력 펄스 강도로 200nm 이하의 파장을 갖춘 자외선 레이저 출력 펄스(14A)를 제어할 수 있는 데 이는 상기 펄스 강도에서 수분 후엔 고장나는 종래기술의 광학 컴포넌트 및 모듈과 비교된다.

公开(公告)号：KR101024559B1

公开(公告)日：2011-03-31

申请号：KR1020047017911

申请日：2003-04-23

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 샌드스트롬리차드엘. ,  판샤오지양 ,  멜치올존티. ,  알고츠존엠. ,  볼매튜 ,  프로이로프블라디미르 ,  어쇼프알렉산더아이. ,  야거토마스 ,  질레스피에월터디. ,  루브린레오나드 ,  그라첼홀저케이. ,  파르틀로윌리암엔. ,  마쉬엘리자베쓰 ,  모톤리차드디. ,  우자즈도우키리차드씨. ,  와켄틴데이비드제이. ,  웹알키레.

IPC: H01S3/22

CPC classification number: H01S3/225 ,  G03F7/7055 ,  H01S3/1024 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2258 ,  H01S3/2333

Abstract: 본 발명은 고 반복율 고전력 출력 빔(38)을 발생하는 모듈러, 고 반복율, 자외선 가스 방전 레이저 시스템(도 1)을 위한 수명이 긴 광학기구를 제공한다. 본 발명은 프로토타입 레이저 시스템의 출력 빔(14C)의 고 펄스 강도 섹션(10)(26)에 위치된 CaF
2 광학기구(4260)(422)(424)(426)상에서의 표면 손상 문제에 대해 본원인에 의해 발견된 해결책을 포함한다. 실시예는 수십억 출력 레이저 펄스(38)의 빔 운반을 위한 빔 포인팅 컨트롤(40A)(40B)(6)에 의한 인클로우징된(4) 및 퍼지된 빔 경로(14C)를 포함한다. 본원에 설명된 광학 컴포넌트 및 모듈은 수십억 펄스(14A)에 대해 3.5 x10
6 Watts/㎠ 이상의 피크 강도 및 1.75 x 10
6 Watts/㎠ 이상의평균 출력 펄스 강도로 200nm 이하의 파장을 갖춘 자외선 레이저 출력 펄스(14A)를 제어할 수 있는 데 이는 상기 펄스 강도에서 수분 후엔 고장나는 종래기술의 광학 컴포넌트 및 모듈과 비교된다.
파장, 펄스, 반복율, 자외선 가스 방전, 레이저, 빔, 퍼지

公开(公告)号：KR1020040020938A

公开(公告)日：2004-03-09

申请号：KR1020037016873

申请日：2002-06-05

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 타이터스클레이씨. ,  헐버드윌리엄쥐. ,  사이벌스키레이몬드에프. ,  알고츠존엠. ,  라이식마이클에스.

IPC: G02B5/06

CPC classification number: H01S3/036 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/02 ,  H01S3/03 ,  H01S3/034 ,  H01S3/0401 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08059 ,  H01S3/0812 ,  H01S3/086 ,  H01S3/13 ,  H01S3/134 ,  H01S3/1392 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2256

Abstract: 고 에너지 레이저 빔을 산출하는 레이저를 라인 내로우잉하기 위한, 격자 기반 라인 내로우잉 디바이스가 개시된다. 격자와 하우징 구조 사이의 상이한 열 팽창에 의해 유발된 격자상의 응력을 사실상 제거하는 만곡 격자 마운트가 제공된다. 두껍고 극히 낮은 열 팽창의 유리 기판상의 매우 얇은 알루미늄으로 구성된 격자가 만곡 격자 마운트를 사용하여 알루미늄 하우징 구조에 부착되어 있다. 적어도 하나의 만곡 조인트가 기판의 열 팽창 및 수축을 허용하는 격자 마운트내에 제공된다. 특정 실시예에서, 마운트는 금속 플레이트를 포함하고 만곡 조인트는 금속 플레이트내에 기계가공된 4개의 레그(126)를 구비한 H-만곡 조인트(124)이다. 다른 실시예에서, 2개의 H-만곡 조인트가 제공된다. 다른 실시예에서, 만곡 조인트는 마운트의 일단부가 타단부에 대하여 슬립핑될 수 있도록 하는 도브테일 조인트이다.

公开(公告)号：KR1020030081471A

公开(公告)日：2003-10-17

申请号：KR1020037011272

申请日：2002-02-15

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 스팽글러로날드엘. ,  자크로버트엔. ,  룰존에이. ,  팔렌샤트프레데릭에이. ,  포멘코프이고르브이. ,  알고츠존엠. ,  립콘쟈콥피. ,  샌드스트롬리차드엘.

IPC: H01S3/10

CPC classification number: G03F7/70575 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70333 ,  G03F7/70933 ,  H01S3/02 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/0404 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/097 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/104 ,  H01S3/105 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/1312 ,  H01S3/134 ,  H01S3/137 ,  H01S3/22 ,  H01S3/2207 ,  H01S3/225

Abstract: 고속 파장 보정 기능을 갖춘 전기 방전 레이저가 개시되었다. 고속 파장 보정 장비는 적어도 하나의 압전 구동기와 고속 파장 측정 시스템(104)과 고속 피드백 응답 시간을 포함한다. 바람직한 실시예에서, 수밀리미터의 저속 시간 프레임, 약 1 내지 5 밀리초의 중속 시간 프레임 및 수 마이크로초의 초고속 프레임상에서 파장을 제어하기 위해 장비가 제공된다. 바람직한 기술은 튜닝 미러를 사용하여 레이저 파장을 튜닝하기 위해 초고속 압전 구동기와 비교적 저속인 스테퍼 모터의 조합을 포함한다. 초고속 파장 제어는 압전 구동기와의 조합으로 압전 로드 셀에 제공된다. 바람직한 실시예는 파장 측정치, 고속 진동 제어, 로드 셀 및 액티브 댐핑 모듈(320)을 사용한 액티브 댐핑, 및 이력 버스트 데이터를 기초로 하여 피드 포워드 알고리즘을 사용한 트랜지언트 반전에 기초하여 고속 피드백 제어를 제공한다.