公开(公告)号：KR101456859B1

公开(公告)日：2014-11-03

申请号：KR1020097023062

申请日：2008-04-09

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 파트로윌리엄엔. ,  자크스로버트엔. ,  오브리언케빈엠. ,  이시하라토시히코

IPC: H01S3/098 ,  H01S3/102

CPC classification number: H01S3/1055 ,  G02B27/646 ,  H01S3/137 ,  H01S3/139 ,  H01S3/225 ,  H01S2301/02

Abstract: 본 발명의 실시예의 측면에 따라, 오차 신호에 기초하여, 대역폭 제어를 위해, 또는 임의의 빔 배율 제어를 이용하지 않으면서, 대역폭이 아닌 다른 레이저 동작 파라미터의 제어를 위해, 시드 레이저 및 증폭기 레이저에서의 가스 방전 사이의 미분 타이밍을 조정하거나, 또는 오차 신호에 기초하여, 대역폭 제어를 위해, 또는 대역폭 제어가 아닌 것을 위해 빔 배율 제어를 이용하면서, 대역폭이 아닌 다른 레이저 동작 파라미터의 제어를 위해, 시드 레이저 및 증폭기 레이저에서의 가스 방전 사이의 미분 타이밍을 조정하고, 오차 신호에 기초하여, 대역폭 제어를 위해, 또는 오차 신호에 기초한 대역폭 제어를 위해 빔 배율 제어를 이용하면서, 대역폭이 아닌 다른 레이저 동작 파라미터의 제어를 위해, 시드 레이저 및 증폭기 레이저에서의 가스 방전 사� ��의 미분 타이밍을 조정하는 것을 포함하는 방법 및 장치가 개시된다.
레이저 시스템, 대역폭, 캐비티, 시드 레이저 출력, 가스 방전 시드 레이저, 가스 방전 증폭기 레이저, 대역폭 측량 유닛, 대역폭 측정치, 대역폭 세트 포인트, 대역폭 오차 신호 생성기, 격자, 가변 빔 배율 광학 시스템, 가변 배율 라인 협대화 유닛, 미분 타이밍 컨트롤러, 대역폭 컨트롤러, 불감대, 대역폭 오차 신호

公开(公告)号：KR1020100016222A

公开(公告)日：2010-02-12

申请号：KR1020097023062

申请日：2008-04-09

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 파트로윌리엄엔. ,  자크스로버트엔. ,  오브리언케빈엠. ,  이시하라토시히코

IPC: H01S3/098 ,  H01S3/102

CPC classification number: H01S3/1055 ,  G02B27/646 ,  H01S3/137 ,  H01S3/139 ,  H01S3/225 ,  H01S2301/02

Abstract: According to aspects of an embodiment of the disclosed subject matter, method and apparatus are disclose that ma y comprise adjusting a differential timing between gas discharges in the seed laser and amplifier laser for bandwidth control, based on the error signal, or for control of another laser operating parameter other than bandwidth, without utilizing any beam magnification control, or adjusting a differential timing between gas discharges in the seed laser and amplifier laser for bandwidth control, based on the error signal, or for control of another laser operating parameter other than bandwidth, while utilizing beam magnification control for other than bandwidth control, and adjusting a differential timing between gas discharges in the seed laser and amplifier laser for bandwidth control, based on the error signal, or for control of another laser operating parameter other than bandwidth, while utilizing beam magnification control for bandwidth control based on the error signal.

Abstract translation: 根据所公开主题的实施例的方面，公开了一种方法和装置，其包括基于误差信号调整种子激光器中的气体放电与用于带宽控制的放大器激光器之间的差分定时，或用于控制另一个 除了带宽之外的激光操作参数，不利用任何光束放大控制，或者基于误差信号调整用于带宽控制的种子激光器和放大器激光器中的气体放电之间的差分定时，或用于除带宽以外的另一激光器操作参数的控制 同时利用除带宽控制之外的光束放大控制，并且基于误差信号调整种子激光器和放大器激光器中的气体放电之间的差分定时，或用于控制除带宽之外的另一个激光器操作参数，同时 利用基于误差信号的带宽控制的光束放大控制。