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公开(公告)号：KR100346940B1
公开(公告)日：2002-07-31
申请号：KR1019997007541
申请日：1998-02-17
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 파트로윌리엄엔. , 샌드스트롬리차드엘. , 벅스다니엘엘. , 네스리차드몬스
IPC: H01S3/00
CPC classification number: H03K17/80 , H01S3/0971 , H01S5/0428 , H03K3/57
Abstract: 자기펄스압축기회로의단에서의단의부정합으로인한 2차펄스를제거할수 있는고압펄스전력발생회로가기재되어있다. 상기펄스발생회로소스는비선형자기압축기회로(16)에주기적으로방전된고압전하저장소자(CO)를포함한다. 상기압축기회로의각각의단에연결된부정합교정회로(CRn)는단의부정합으로인한반사에너지를방전하고, 그반사에너지를부하에역으로전달되는것을방지한다. 바람직한실시예에서, 본발명의펄스전력발생회로는자기펄스압축기회로(16)의각각의단에연결된다이오드와저항을이용한다.
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公开(公告)号：KR101456859B1
公开(公告)日：2014-11-03
申请号：KR1020097023062
申请日：2008-04-09
Applicant: 사이머 엘엘씨
CPC classification number: H01S3/1055 , G02B27/646 , H01S3/137 , H01S3/139 , H01S3/225 , H01S2301/02
Abstract: 본 발명의 실시예의 측면에 따라, 오차 신호에 기초하여, 대역폭 제어를 위해, 또는 임의의 빔 배율 제어를 이용하지 않으면서, 대역폭이 아닌 다른 레이저 동작 파라미터의 제어를 위해, 시드 레이저 및 증폭기 레이저에서의 가스 방전 사이의 미분 타이밍을 조정하거나, 또는 오차 신호에 기초하여, 대역폭 제어를 위해, 또는 대역폭 제어가 아닌 것을 위해 빔 배율 제어를 이용하면서, 대역폭이 아닌 다른 레이저 동작 파라미터의 제어를 위해, 시드 레이저 및 증폭기 레이저에서의 가스 방전 사이의 미분 타이밍을 조정하고, 오차 신호에 기초하여, 대역폭 제어를 위해, 또는 오차 신호에 기초한 대역폭 제어를 위해 빔 배율 제어를 이용하면서, 대역폭이 아닌 다른 레이저 동작 파라미터의 제어를 위해, 시드 레이저 및 증폭기 레이저에서의 가스 방전 사� ��의 미분 타이밍을 조정하는 것을 포함하는 방법 및 장치가 개시된다.
레이저 시스템, 대역폭, 캐비티, 시드 레이저 출력, 가스 방전 시드 레이저, 가스 방전 증폭기 레이저, 대역폭 측량 유닛, 대역폭 측정치, 대역폭 세트 포인트, 대역폭 오차 신호 생성기, 격자, 가변 빔 배율 광학 시스템, 가변 배율 라인 협대화 유닛, 미분 타이밍 컨트롤러, 대역폭 컨트롤러, 불감대, 대역폭 오차 신호-
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公开(公告)号：KR1020100016222A
公开(公告)日：2010-02-12
申请号：KR1020097023062
申请日：2008-04-09
Applicant: 사이머 엘엘씨
CPC classification number: H01S3/1055 , G02B27/646 , H01S3/137 , H01S3/139 , H01S3/225 , H01S2301/02
Abstract: According to aspects of an embodiment of the disclosed subject matter, method and apparatus are disclose that ma y comprise adjusting a differential timing between gas discharges in the seed laser and amplifier laser for bandwidth control, based on the error signal, or for control of another laser operating parameter other than bandwidth, without utilizing any beam magnification control, or adjusting a differential timing between gas discharges in the seed laser and amplifier laser for bandwidth control, based on the error signal, or for control of another laser operating parameter other than bandwidth, while utilizing beam magnification control for other than bandwidth control, and adjusting a differential timing between gas discharges in the seed laser and amplifier laser for bandwidth control, based on the error signal, or for control of another laser operating parameter other than bandwidth, while utilizing beam magnification control for bandwidth control based on the error signal.
Abstract translation: 根据所公开主题的实施例的方面，公开了一种方法和装置，其包括基于误差信号调整种子激光器中的气体放电与用于带宽控制的放大器激光器之间的差分定时，或用于控制另一个 除了带宽之外的激光操作参数，不利用任何光束放大控制，或者基于误差信号调整用于带宽控制的种子激光器和放大器激光器中的气体放电之间的差分定时，或用于除带宽以外的另一激光器操作参数的控制 同时利用除带宽控制之外的光束放大控制，并且基于误差信号调整种子激光器和放大器激光器中的气体放电之间的差分定时，或用于控制除带宽之外的另一个激光器操作参数，同时 利用基于误差信号的带宽控制的光束放大控制。
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公开(公告)号：KR1020000075482A
公开(公告)日：2000-12-15
申请号：KR1019997007541
申请日：1998-02-17
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 파트로윌리엄엔. , 샌드스트롬리차드엘. , 벅스다니엘엘. , 네스리차드몬스
IPC: H01S3/00
CPC classification number: H03K17/80 , H01S3/0971 , H01S5/0428 , H03K3/57
Abstract: 자기펄스압축기회로의단에서의단의부정합으로인한 2차펄스를제거할수 있는고압펄스전력발생회로가기재되어있다. 상기펄스발생회로소스는비선형자기압축기회로(16)에주기적으로방전된고압전하저장소자(CO)를포함한다. 상기압축기회로의각각의단에연결된부정합교정회로(CRn)는단의부정합으로인한반사에너지를방전하고, 그반사에너지를부하에역으로전달되는것을방지한다. 바람직한실시예에서, 본발명의펄스전력발생회로는자기펄스압축기회로(16)의각각의단에연결된다이오드와저항을이용한다.
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公开(公告)号：KR101211490B1
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：KR1020067027071
申请日：2005-06-17
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 샌드스트롬리차드엘. , 브라운다니엘제이.더블유. , 에르쇼프알렉산더아이. , 포멘코프이고브이. , 파트로윌리엄엔.
IPC: H01S3/22
Abstract: 분산 파장 선택 광학장치에 대해 각각의 펄스를 포함하고 있는 레이저 광 펄스 빔의 입사각에 의해 적어도 부분적으로 결정되는 각각의 펄스에 대해 적어도 하나의 중심 파장을 선택하는 분산 대역폭 선택 광학 장치(도 1의 참조기호 120); 분산 중심 파장 선택 광학장치에 대해 각각의 펄스를 포함하는 레이저 광 펄스 빔의 적어도 하나의 입사각( )을 선택하도록 동작하는 튜닝 메커니즘; 상기 분산 중심 파장 선택 광학장치로부터, 각 부분이 적어도 2 개의 상이한 선택된 중심 파장중에 하나를 가지는, 복수의 공간적으로 분리되지만 시간적으로는 분리되지 않는 부분들을 구비한 레이저 광 펄스를 복귀시키기 위해 레이저 광 펄스의 상이한 공간적으로 분리되지만 시간적으로는 분리되지 않는 부분에 대한 입사각을 각각 정의하는 복수의 입사각 선택 엘리먼트를 포함하는 튜닝 메커니즘을 포함하는, 협대역 단펄스 듀레이션 가스 방출 레이저 출력 광 펄스 빔 생성 시스템으로서, 선택된 펄스 반복율에서 레이저 출력 광 펄스를 구비하는 빔을 생성하는 시스템에 대역폭 제어를 제공하는 장치 및 방법이 개시된다. 상기 튜닝 메커니즘은, 상기 분산 대역폭 선택 광학장치로부터, 각 펄스의 각각의 시간적으로 분리된 부분이 적어도 2 개의 상이한 선택된 중심 파장중에 하나를 가지는, 각 펄스의 복수의 시간적으로 분리된 부분들을 구비한 레이저 빔을 복귀시키기 위해 펄스의 상이한 시간적으로 분리된 부분에 대한 입사각을 각각 정의하는 시간 입사각( ) 선택 엘리먼트를 포함할 수 있다. 상기 튜닝 메커니즘은, 레이저 광 펄스의 공간적으로 분리되지만 시간적으로는 분리되지 않은 부분에 대해 각각 입사각을 정의하는 복수의 공간 입사각 선택 엘리먼트; 및 상기 펄스의 각각의 공간적으로 분리되지만 시간적으로 분리되지 않은 부분중 적어도 제 1 시간적으로 분리된 부분에 대한 적어도 제 1 입사각과, 상기 펄스의 각각의 공간적으로 분리된 부분 중에서 제 2의 시간적으로 분리되지만 공간적으로 분리되지 않은 부분에 대한 제 2 입사각을 각각 정의하는 복수의 시간 입사각 선택 엘리먼트를 포함할 수 있다.
협대역 단펄스 듀레이션의 가스 방출 레이저 출력 광 펄스 빔 생성 시스템, 펄스 반복율, 레이저 출력 광 펄스, 분산 파장 선택 광학장치, 펄스, 입사각, 튜닝 메커니즘, 입사각 선택 엘리먼트Abstract translation: 分布式带宽选择为选择至少一个中心波长为每个脉冲，至少部分地由包含用于色散波长选择性光学元件的各脉冲的激光脉冲束的入射角来确定的一部分，所述光学装置（参照图1 符号120）; 包括用于色散中心波长选择光学器件的每个脉冲的激光脉冲束的至少一个入射角
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公开(公告)号：KR1020070114199A
公开(公告)日：2007-11-29
申请号：KR1020077022258
申请日：2006-02-22
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 브라운다니엘제이.더블유. , 어쇼프알렉산더아이. , 플로이로브블라디미르비. , 포멘코프이고르브이. , 파트로윌리엄엔.
IPC: H01S3/22
CPC classification number: H01S3/225 , H01S3/094 , H01S3/10015 , H01S3/10023 , H01S3/109 , H01S3/1611 , H01S3/1653 , H01S3/2255 , H01S3/2308 , H01S3/2333 , H01S3/2366 , H01S3/2375 , H01S3/2383 , H05G2/003 , H05G2/005 , H05G2/008
Abstract: An apparatus and method is disclosed which may comprise an EUV drive laser system comprising: a solid state seed laser master oscillator laser; a gas discharge excimer laser gain generator producing a drive laser output light beam. The solid state seed laser may comprise a third harmonic Nd: YLF laser, which may be tunable. The gas discharge excimer gain generator laser may comprise a XeF excimer laser power amplifier or power oscillator. The solid state laser may comprise a tunable laser tuned by changing the temperature of a laser crystal comprising the solid state laser, or by utilizing a wavelength selection element, e.g., a Lyot filter or an etalon.
Abstract translation: 公开了一种可以包括EUV驱动激光系统的装置和方法，该系统包括：固态种子激光主振荡器激光器; 产生驱动激光输出光束的气体放电准分子激光增益发生器。 固态种子激光器可以包括可调谐的三次谐波Nd：YLF激光器。 气体放电准分子增益发生器激光器可以包括XeF准分子激光功率放大器或功率振荡器。 固体激光器可以包括通过改变包括固态激光器的激光晶体的温度或通过利用波长选择元件例如Lyot滤光器或标准具来调节的可调谐激光器。
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公开(公告)号：KR1020070028447A
公开(公告)日：2007-03-12
申请号：KR1020067027071
申请日：2005-06-17
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 샌드스트롬리차드엘. , 브라운다니엘제이.더블유. , 에르쇼프알렉산더아이. , 포멘코프이고브이. , 파트로윌리엄엔.
IPC: H01S3/22
CPC classification number: H01S3/0812 , G03F7/70025 , G03F7/70575 , H01S3/08059 , H01S3/097 , H01S3/1055 , H01S3/1305
Abstract: An apparatus and method for providing bandwidth control in a narrow band short pulse duration gas discharge laser output light pulse beam producing system, producing a beam comprising laser output light pulses at a selected pulse repetition rate, is disclosed which may comprise a dispersive bandwidth selection optic (Fig. 1, character 120) selecting at least one center wavelength for each pulse determined at least in part by the angle (of incidence of the laser light pulse beam containing the respective pulse on the dispersive wavelength selection optic; a tuning mechanism operative to select at least one angle (Deltaalpha L)of incidence of the a laser light pulse beam containing the respective pulse upon the dispersive center wavelength selection optic; the tuning mechanism comprising a plurality of incidence angle selection elements each defining an angle of incidence for a different spatially separated but not temporally separated portion of the laser light pulse to return from the dispersive center wavelength selection optic a laser light pulse comprising a plurality of spatially separated but not temporally separated portions, each portion having one of at least two different selected center wavelengths. The tuning mechanism may comprise a temporal angle (DeltaalphaL) of incidence selection element defining an angle of incidence for different temporally separated portions of the pulse to return from the dispersive bandwidth selection optic a laser beam comprising a plurality of temporally separated portions of each pulse, each temporally separated portion of each pulse having one of at least two different selected center wavelengths. The tuning mechanism may comprise a plurality of spatial incidence angle selection elements each defining an angle of incidence for a spatially separated but not temporally separated portion of the laser light pulse, and a plurality of temporal angle of incidence selection elements each defining at least a first angle of incidence for at least a first temporally separated portion of each spatially separated but not temporally separated portion of the pulse and a second angle of incidence for a second temporally separated but not spatially separated portion of each spatially separated portion of the pulse. ® KIPO & WIPO 2007
Abstract translation: 公开了一种用于在窄带短脉冲持续时间气体放电激光输出光脉冲束产生系统中提供带宽控制的装置和方法，其产生包括选定脉冲重复频率的激光输出光脉冲的光束，其可以包括色散带宽选择光学器件 （图1，字符120）为每个脉冲选择至少一个中心波长，所述至少一个中心波长至少部分地由在分散波长选择光学器件上包含相应脉冲的激光束脉冲光束的入射角度确定;调谐机构， 在分散中心波长选择光学器件上选择包含相应脉冲的激光束的至少一个角度（Deltaalpha L）;调谐机构包括多个入射角选择元件，每个入射角选择元件限定不同的入射角 激光光脉冲的空间分离而不是时间上分离的部分返回 分散中心波长选择光学器件，包括多个空间分离但不时间分离的部分的激光脉冲，每个部分具有至少两个不同的选定中心波长中的一个。 调谐机构可以包括入射选择元件的时间角（DeltaalphaL），其限定脉冲的不同时间上分离的部分的入射角，以从色散带宽选择光学器返回包括每个脉冲的多个时间上分离的部分的激光束， 每个脉冲的每个时间上分离的部分具有至少两个不同的选择的中心波长中的一个。 调谐机构可以包括多个空间入射角选择元件，每个空间入射角选择元件限定激光光脉冲的空间分离但不是暂时分离的部分的入射角，以及多个入射选择元件的时间入射选择元件，每个限定至少第一 脉冲的每个空间分离但不是时间上分离的部分的至少第一时间上分离的部分的入射角以及脉冲的每个空间分离部分的第二时间上分离但不是在空间上分离的部分的第二入射角。 ®KIPO＆WIPO 2007
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