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公开(公告)号：KR100928136B1
公开(公告)日：2009-11-25
申请号：KR1020070114094
申请日：2007-11-09
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
Abstract: 본 발명은 증착 재료가 증발되는 곳의 온도에 편차가 있더라도 기판에 균일한 성막을 형성할 수 있고, 재료 효율을 향상시킬 수 있는 유기물 선형 증착 장치에 관한 것이다.
이를 위해 바닥면에 수직한 단측벽 및 장측벽을 가지며, 상부가 개방된 바디, 바디의 바닥면에 수직하고, 바디의 장측벽과 나란하며, 바디의 단측벽으로부터 중앙을 향해 돌출된 쌍을 이룬 횡격벽, 횡격벽과 이격되어 나란하게 형성되고, 단측벽과의 사이에 간격을 두고 형성되는 유로 격벽, 장측벽의 하단을 관통하여 형성된 다수의 노즐 및 바디의 단측벽 및 장측벽을 따라 형성되어 바디를 덮는 커버를 포함하는 유기물 선형 증착 장치가 개시된다.
유기물 선형 증착, 도가니, 온도 편차Abstract translation: 本发明涉及一种有机材料线性沉积设备，其能够在基板上形成均匀的膜并且即使当蒸发材料蒸发时的温度变化时也提高材料效率。
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公开(公告)号：KR1020090047953A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：KR1020070114094
申请日：2007-11-09
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
Abstract: 본 발명은 증착 재료가 증발되는 곳의 온도에 편차가 있더라도 기판에 균일한 성막을 형성할 수 있고, 재료 효율을 향상시킬 수 있는 유기물 선형 증착 장치에 관한 것이다.
이를 위해 바닥면에 수직한 단측벽 및 장측벽을 가지며, 상부가 개방된 바디, 바디의 바닥면에 수직하고, 바디의 장측벽과 나란하며, 바디의 단측벽으로부터 중앙을 향해 돌출된 쌍을 이룬 횡격벽, 횡격벽과 이격되어 나란하게 형성되고, 단측벽과의 사이에 간격을 두고 형성되는 유로 격벽, 장측벽의 하단을 관통하여 형성된 다수의 노즐 및 바디의 단측벽 및 장측벽을 따라 형성되어 바디를 덮는 커버를 포함하는 유기물 선형 증착 장치가 개시된다.
유기물 선형 증착, 도가니, 온도 편차
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