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公开(公告)号：KR1020110033727A
公开(公告)日：2011-03-31
申请号：KR1020090091322
申请日：2009-09-25
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: H01L21/682 , C23C14/042 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: PURPOSE: A substrate centering device and an organic material depositing system are provided to prevent the damage to a substrate due to clamping of a substrate cramp by preventing a substrate from overriding a roller member. CONSTITUTION: In a substrate centering device and an organic material depositing system, a substrate support holder(210) supports the both sides of a substrate which is loaded by a robot. A substrate centering unit(250) is configured in the substrate support holder to be movable. A substrate clamper(290) is installed in the substrate support holder and is movable up and down. The substrate clamper clamps the substrate which is centered by the substrate centering unit. An operation unit(260) reciprocates the substrate centering unit.
Abstract translation: 目的：提供基板定心装置和有机材料沉积系统，以通过防止基板超过辊构件来防止由于夹持基板夹持而损坏基板。 构成：在基板定心装置和有机材料沉积系统中，基板支撑架（210）支撑由机器人装载的基板的两侧。 衬底定心单元（250）被配置在衬底支撑保持器中以可移动。 衬底夹持器（290）安装在衬底支撑架中并可上下移动。 基板夹持器夹持由基板定心单元居中的基板。 操作单元（260）使基板定心单元往复运动。
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公开(公告)号：KR101084268B1
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：KR1020090091322
申请日：2009-09-25
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: H01L21/682 , C23C14/042 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: A substrate centering device for an organic material deposition system comprises: a plurality of substrate support holders configured to be reciprocally movable in a facing direction within an organic material deposition chamber and supporting both side portions of a substrate loaded by a robot; a substrate centering unit configured to be reciprocally movable at each of the substrate support holders and centering the substrate by guiding both side portions of the substrate; and a plurality of substrate clampers configured to be reciprocally movable in a vertical direction at each of the substrate support holders, and clamping the substrate that has been centered by the substrate centering unit.
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公开(公告)号：KR100962967B1
公开(公告)日：2010-06-10
申请号：KR1020070113559
申请日：2007-11-08
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: C23C14/24
Abstract: 본 발명은 도가니 내부에 설치된 인너플레이트에 의해 유기 물질의 분사 압력을 조절할 수 있는 증발원에 관한 것이다. 본 발명에 따른 증발원은 바닥면으로부터 일정 높이까지 연장된 베리어에 의해 내부에 유기박막 재료인 유기물이 수납되는 도가니; 상기 도가니와 연통되도록 형성되어 상기 유기물을 기판에 분사시키는 적어도 하나의 분사노즐; 및 상기 도가니의 외주면에 설치되는 가열부;를 포함하되, 일단이 상기 베리어에 접하고, 타단이 상기 도가니에 내접하며, 적어도 하나의 개구부가 형성된 인너플레이트가 상기 도가니에 삽입된다. 이러한 구성에 의하여, 유기 물질을 대면적 기판 전체에 균일하게 성막할 수 있다.
증발원, 도가니, 인너플레이트-
公开(公告)号：KR100928136B1
公开(公告)日：2009-11-25
申请号：KR1020070114094
申请日：2007-11-09
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
Abstract: 본 발명은 증착 재료가 증발되는 곳의 온도에 편차가 있더라도 기판에 균일한 성막을 형성할 수 있고, 재료 효율을 향상시킬 수 있는 유기물 선형 증착 장치에 관한 것이다.
이를 위해 바닥면에 수직한 단측벽 및 장측벽을 가지며, 상부가 개방된 바디, 바디의 바닥면에 수직하고, 바디의 장측벽과 나란하며, 바디의 단측벽으로부터 중앙을 향해 돌출된 쌍을 이룬 횡격벽, 횡격벽과 이격되어 나란하게 형성되고, 단측벽과의 사이에 간격을 두고 형성되는 유로 격벽, 장측벽의 하단을 관통하여 형성된 다수의 노즐 및 바디의 단측벽 및 장측벽을 따라 형성되어 바디를 덮는 커버를 포함하는 유기물 선형 증착 장치가 개시된다.
유기물 선형 증착, 도가니, 온도 편차Abstract translation: 本发明涉及一种有机材料线性沉积设备，其能够在基板上形成均匀的膜并且即使当蒸发材料蒸发时的温度变化时也提高材料效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020090047953A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：KR1020070114094
申请日：2007-11-09
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
Abstract: 본 발명은 증착 재료가 증발되는 곳의 온도에 편차가 있더라도 기판에 균일한 성막을 형성할 수 있고, 재료 효율을 향상시킬 수 있는 유기물 선형 증착 장치에 관한 것이다.
이를 위해 바닥면에 수직한 단측벽 및 장측벽을 가지며, 상부가 개방된 바디, 바디의 바닥면에 수직하고, 바디의 장측벽과 나란하며, 바디의 단측벽으로부터 중앙을 향해 돌출된 쌍을 이룬 횡격벽, 횡격벽과 이격되어 나란하게 형성되고, 단측벽과의 사이에 간격을 두고 형성되는 유로 격벽, 장측벽의 하단을 관통하여 형성된 다수의 노즐 및 바디의 단측벽 및 장측벽을 따라 형성되어 바디를 덮는 커버를 포함하는 유기물 선형 증착 장치가 개시된다.
유기물 선형 증착, 도가니, 온도 편차-
公开(公告)号：KR101152578B1
公开(公告)日：2012-06-01
申请号：KR1020100010837
申请日：2010-02-05
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
Abstract: 본발명은챔버내에서제 1기판에대한기판이송및 얼라인공정수행과동시에제 2기판에대한증착공정을수행할수 있도록함으로써, 기판이송및 얼라인공정시소모되는유기물질재료의손실을줄여재료효율을극대화하고, 공정 Tack time을최소화할 수있는유기물증착장치및 증착방법을제공한다. 본발명의실시예에의한유기물증착장치는, 내부가제 1기판증착영역및 제 2기판증착영역으로구분되는챔버와; 상기제 1 또는제 2기판증착영역내에서제 1방향으로이동하여제 1기판또는제 2기판상으로유기물입자를분사시키는유기물증착원과; 상기유기물증착원이각각제 1 또는제 2기판증착영역에위치되도록상기유기물증착원을제 2방향으로회전이동시키는제 2이동수단이포함되어구성된다.
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公开(公告)号：KR1020100120081A
公开(公告)日：2010-11-12
申请号：KR1020100010837
申请日：2010-02-05
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
Abstract: PURPOSE: An organic material deposition apparatus and method are provided to simultaneously perform a substrate transfer and alignment process for a first substrate and a deposition process for a second substrate within the same processing chamber. CONSTITUTION: An organic material deposition apparatus comprises a chamber(100), an organic material deposition source(300), a first transfer unit(510), and a second transfer unit(520). The inside of the chamber is divided into a first substrate deposition region and a second substrate deposition region. The organic material deposition source moves in the first or second substrate deposition region and sprays organic particles on a first or second substrate. The first transfer unit rotates the organic material deposition source in a first direction to be located in the first or second substrate deposition region. The second transfer unit reciprocates the organic material deposition source in a second direction within the first or second substrate deposition region.
Abstract translation: 目的：提供一种有机材料沉积装置和方法，以在同一处理室内同时对第一基板进行基板转移和取向处理以及第二基板的沉积工艺。 构成：有机材料沉积装置包括室（100），有机材料沉积源（300），第一转移单元（510）和第二转移单元（520）。 室的内部被分为第一衬底沉积区域和第二衬底沉积区域。 有机材料沉积源在第一或第二衬底沉积区域中移动并在第一或第二衬底上喷射有机颗粒。 第一传送单元使第一方向上的有机材料沉积源旋转以位于第一或第二基板沉积区域中。 第二传送单元使第一或第二基板沉积区域内的有机材料沉积源沿第二方向往复运动。
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公开(公告)号：KR1020090047630A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：KR1020070113559
申请日：2007-11-08
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: C23C14/24
Abstract: 본 발명은 도가니 내부에 설치된 인너플레이트에 의해 유기 물질의 분사 압력을 조절할 수 있는 증발원에 관한 것이다. 본 발명에 따른 증발원은 바닥면으로부터 일정 높이까지 연장된 베리어에 의해 내부에 유기박막 재료인 유기물이 수납되는 도가니; 상기 도가니와 연통되도록 형성되어 상기 유기물을 기판에 분사시키는 적어도 하나의 분사노즐; 및 상기 도가니의 외주면에 설치되는 가열부;를 포함하되, 일단이 상기 베리어에 접하고, 타단이 상기 도가니에 내접하며, 적어도 하나의 개구부가 형성된 인너플레이트가 상기 도가니에 삽입된다. 이러한 구성에 의하여, 유기 물질을 대면적 기판 전체에 균일하게 성막할 수 있다.
증발원, 도가니, 인너플레이트-
公开(公告)号：KR1020060099974A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：KR1020050021542
申请日：2005-03-15
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: C23C14/00
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/12 , C23C14/26
Abstract: 증발원 및 이를 구비한 증착장치에 관한 것으로서, 상기 증발원은 증착물질을 저장하며, 전면에 개구부를 구비하는 저장부와, 상기 저장부의 개구된 부분과 연결되어 상기 증착물질을 분사하는 노즐부와, 상기 노즐부와 상기 저장부를 수납하며, 전면이 개구된 하우징과, 상기 저장부에 열을 공급하는 가열부를 포함하며, 상기 하우징은 상기 저장부의 적어도 일부분을 노출하는 열방출구 및 열방출판을 구비함으로써, 상기 노즐부와 상기 저장부의 온도 편차를 줄여, 균일한 박막을 형성할 수 있다.
증발원, 증착 장치, 열방출구, 열방출판
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