公开(公告)号：KR101073558B1

公开(公告)日：2011-10-17

申请号：KR1020090095829

申请日：2009-10-08

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 박상영 ,  차유민 ,  정원웅 ,  노연구 ,  문주일

IPC: H01L51/56 ,  H05B33/04

CPC classification number: H01L33/005 ,  B32B37/1009 ,  B32B41/00 ,  B32B2309/12 ,  B32B2457/206 ,  H01L51/56

Abstract: 기판합착장치는제1 기판및 제2 기판의합착이수행되는합착공간을포함하는진공챔버, 상기합착공간의공기를제1 세기로흡입하는제1 펌프, 상기합착공간의공기를상기제1 세기보다큰 제2 세기로흡입하는제2 펌프, 상기합착공간으로질소를공급하는질소공급부, 상기합착공간의압력을센싱하는센서부및 상기제1 펌프, 상기제2 펌프및 상기질소공급부를제어하는제어부를포함한다.

公开(公告)号：KR101001454B1

公开(公告)日：2010-12-14

申请号：KR1020090006200

申请日：2009-01-23

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 박상영 ,  문주일 ,  차유민 ,  정원웅

IPC: H05B33/10 ,  H01L51/56

CPC classification number: H01L21/6831

Abstract: 본 발명은 진공 챔버 내에서 정전기력으로 기판을 흡착하여 지지하는 정전척과 이 정전척을 구비하는 유기전계발광 소자의 제조장치에 관한 것이다. 본 발명의 정전척은 중심부를 관통하는 적어도 하나의 개구부를 구비하는 절연 플레이트; 상기 절연 플레이트에 실장되며, 한 쌍의 전극들을 형성하는 제 1전극층 및 제 2전극층들; 상기 한 쌍의 전극들에 전압을 인가하는 제1 컨트롤러; 및 상기 절연 플레이트에 인접하게 배치되며, 상기 절연 플레이트의 일면 상에 위치한 대전물체의 정전하가 제거되도록 상기 적어도 하나의 개구부로 이온을 방출하는 제전부를 포함하며, 상기 제 1전극층은 상기 개구부에 대응하는 영역이 오픈된 빗 형상으로 형성되고, 상기 제 2전극층은 상기 개구부를 구비하는 시트 형상으로 형성되며, 상기 제 1전극층의 두께는 0.1~5㎛이다.
정전척, 정전하, 개구부, 제전부, 이온, 유기전계발광 소자, 제조장치

公开(公告)号：KR1020110090027A

公开(公告)日：2011-08-10

申请号：KR1020100009586

申请日：2010-02-02

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 박상영 ,  차유민 ,  정원웅 ,  노연구 ,  문주일

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08 ,  B65G49/06 ,  G02F1/13

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B25J15/0616 ,  B65G49/065 ,  G02F1/1303 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/68707

Abstract: PURPOSE: A substrate transfer robot is provided to spray gas into a glass substrate direction from a robot arm when transferring the glass substrate, thereby enabling to transfer while the glass substrate and robot arm are separated and preventing damage from interference of the glass substrate and robot arm. CONSTITUTION: A substrate transfer robot is comprised of a robot arm, a floating part, and a substrate supporting part. The robot arm(10) transfers a substrate. The floating part(20) floats the substrate from the robot arm. The substrate supporting part supports the substrate by being installed in the robot arm. The floating part floats the substrate by spraying gas. A bracket(21) is projected on the robot arm. The gas is transferred through a passage installed in the bracket. A spraying nozzle sprays the gas supplied from the passage(23).

Abstract translation: 目的：提供一种基板传送机器人，用于在转移玻璃基板时从机器人手臂向玻璃基板方向喷射气体，从而在玻璃基板和机器人手臂分离时能够转移，并防止玻璃基板和机器人的干扰 臂。 构成：基板传送机器人由机器人手臂，浮动部件和基板支撑部件构成。 机器人臂（10）传送基板。 浮动部件（20）从机器人臂浮起基板。 基板支撑部通过安装在机器人手臂中来支撑基板。 浮动部分通过喷涂气体漂浮基板。 支架（21）投影在机器人手臂上。 气体通过安装在支架中的通道传送。 喷射喷嘴喷射从通道（23）供应的气体。

公开(公告)号：KR1020110038512A

公开(公告)日：2011-04-14

申请号：KR1020090095829

申请日：2009-10-08

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 박상영 ,  차유민 ,  정원웅 ,  노연구 ,  문주일

IPC: H01L51/56 ,  H05B33/04

CPC classification number: H01L33/005 ,  B32B37/1009 ,  B32B41/00 ,  B32B2309/12 ,  B32B2457/206 ,  H01L51/56

Abstract: PURPOSE: An apparatus and method for bonding substrates are provided to suppress the bending of a first substrate and a second substrate due to press difference by forming filling materials in a space between the first substrate and the second substrate. CONSTITUTION: A vacuum chamber comprises a bonding space for bonding a first substrate and a second substrate. A first pump(200) inhales the air of the bonding space with the first intensity. A second pump inhales the air of the bonding space with the second intensity. The second intensity is stronger than the first intensity. A nitrogen supply unit supplies nitrogen to the bonding space. A sensor(500) senses the pressure of the bonding space. A controller(600) controls the first pump, the second pump, and the nitrogen supply unit.

Abstract translation: 目的：提供一种用于接合基板的装置和方法，以通过在第一基板和第二基板之间的空间中形成填充材料来抑制由于压差而引起的第一基板和第二基板的弯曲。 构成：真空室包括用于接合第一基板和第二基板的接合空间。 第一泵（200）以第一强度吸入粘合空间的空气。 第二个泵以第二强度吸入粘合空间的空气。 第二强度比第一强度强。 氮气供应单元向粘合空间供应氮气。 传感器（500）感测粘合空间的压力。 控制器（600）控制第一泵，第二泵和氮气供应单元。

公开(公告)号：KR1020100086790A

公开(公告)日：2010-08-02

申请号：KR1020090006200

申请日：2009-01-23

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 박상영 ,  문주일 ,  차유민 ,  정원웅

IPC: H05B33/10 ,  H01L51/56

CPC classification number: H01L21/6831

Abstract: PURPOSE: An electrostatic chuck and a device for manufacturing an organic electroluminescent device are provided to reduce a process time by finely aligning a substrate in a deposition process. CONSTITUTION: An insulation plate(20) is made of resin or ceramic. At least one opening is formed on the center of the insulation plate. A pair of electrodes are mounted on the insulation plate. A first controller(50) applies a voltage to the pair of electrodes. A neutralizer(40) is arranged to be adjacent to the insulation plate and discharges ions through the opening of the insulation plate to neutralize electrostatic charges.

Abstract translation: 目的：提供一种静电卡盘和用于制造有机电致发光器件的装置，以通过在沉积工艺中精细地对准衬底来减少处理时间。 构成：绝缘板（20）由树脂或陶瓷制成。 在绝缘板的中心上形成至少一个开口。 一对电极安装在绝缘板上。 第一控制器（50）向一对电极施加电压。 中和器（40）布置成与绝缘板相邻并且通过绝缘板的开口排出离子以中和静电电荷。