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公开(公告)号：KR1020110038512A
公开(公告)日：2011-04-14
申请号：KR1020090095829
申请日：2009-10-08
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: H01L33/005 , B32B37/1009 , B32B41/00 , B32B2309/12 , B32B2457/206 , H01L51/56
Abstract: PURPOSE: An apparatus and method for bonding substrates are provided to suppress the bending of a first substrate and a second substrate due to press difference by forming filling materials in a space between the first substrate and the second substrate. CONSTITUTION: A vacuum chamber comprises a bonding space for bonding a first substrate and a second substrate. A first pump(200) inhales the air of the bonding space with the first intensity. A second pump inhales the air of the bonding space with the second intensity. The second intensity is stronger than the first intensity. A nitrogen supply unit supplies nitrogen to the bonding space. A sensor(500) senses the pressure of the bonding space. A controller(600) controls the first pump, the second pump, and the nitrogen supply unit.
Abstract translation: 目的：提供一种用于接合基板的装置和方法，以通过在第一基板和第二基板之间的空间中形成填充材料来抑制由于压差而引起的第一基板和第二基板的弯曲。 构成：真空室包括用于接合第一基板和第二基板的接合空间。 第一泵（200）以第一强度吸入粘合空间的空气。 第二个泵以第二强度吸入粘合空间的空气。 第二强度比第一强度强。 氮气供应单元向粘合空间供应氮气。 传感器（500）感测粘合空间的压力。 控制器（600）控制第一泵，第二泵和氮气供应单元。
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公开(公告)号：KR1020100086790A
公开(公告)日：2010-08-02
申请号：KR1020090006200
申请日：2009-01-23
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: H01L21/6831
Abstract: PURPOSE: An electrostatic chuck and a device for manufacturing an organic electroluminescent device are provided to reduce a process time by finely aligning a substrate in a deposition process. CONSTITUTION: An insulation plate(20) is made of resin or ceramic. At least one opening is formed on the center of the insulation plate. A pair of electrodes are mounted on the insulation plate. A first controller(50) applies a voltage to the pair of electrodes. A neutralizer(40) is arranged to be adjacent to the insulation plate and discharges ions through the opening of the insulation plate to neutralize electrostatic charges.
Abstract translation: 目的：提供一种静电卡盘和用于制造有机电致发光器件的装置，以通过在沉积工艺中精细地对准衬底来减少处理时间。 构成：绝缘板（20）由树脂或陶瓷制成。 在绝缘板的中心上形成至少一个开口。 一对电极安装在绝缘板上。 第一控制器（50）向一对电极施加电压。 中和器（40）布置成与绝缘板相邻并且通过绝缘板的开口排出离子以中和静电电荷。
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公开(公告)号：KR1020100068079A
公开(公告)日：2010-06-22
申请号：KR1020080126774
申请日：2008-12-12
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: G02B6/26 , B23K26/035
CPC classification number: G02B6/32 , G02B6/4204
Abstract: PURPOSE: A laser system is provided to uniformly form the energy density of a laser beam by adjusting the curvature radius of a single type optical cable with a mode scrambler. CONSTITUTION: An optical cable jumper(10) connects a bundle type optical cable(1) and a single type optical cable(2). The optical cable jumper includes an input terminal(11) and an output terminal(12). The input terminal is connected with the bundle type optical cable. The output terminal is connected with the single type optical cable. The optical cable jumper includes a first optical tube(15) and a second optical tube(16).
Abstract translation: 目的：提供一种激光系统，通过用模式扰频器调整单型光缆的曲率半径，均匀地形成激光束的能量密度。 构成：光缆跳线（10）连接捆式光缆（1）和单一型光缆（2）。 光缆跳线包括输入端子（11）和输出端子（12）。 输入端与束式光缆连接。 输出端子与单根光缆连接。 光缆跳线包括第一光管（15）和第二光管（16）。
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公开(公告)号：KR101084272B1
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：KR1020090094382
申请日：2009-10-05
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: B23K26/0869 , B23K26/083 , B23K26/244 , B23K2201/40 , H01L21/02675
Abstract: A laser irradiation system includes a laser configured to irradiate light, a laser transfer unit configured to transfer the laser along a target irradiation area, the target irradiation area being divided into a plurality of sections, a laser transfer controller configured to control a speed of the laser in each of the plurality of sections of the target irradiation area, a laser output controller configured to control an output level of the laser in each of the plurality of sections of the target irradiation area, and a main controller configured to control the laser output controller and the laser transfer controller.
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公开(公告)号：KR101084231B1
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：KR1020090094383
申请日：2009-10-05
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: B23K26/04 , B23K26/0661
Abstract: 본 발명은 레이저 조사 시스템 및 레이저 조사 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 실시예에 따른 레이저 조사 시스템은 레이저광을 발생하는 레이저광 발생부와, 상기 레이저광을 공급받아 상기 레이저광을 타켓으로 조사하는 레이저광 조사부와, 상기 레이저광 조사부로부터 출사된 레이저광 중 반사되어 다시 상기 레이저광 조사부로 향하는 레이저광을 감지하는 레이저광 감지부와, 상기 레이저광 감지부가 감지한 레이저광을 전기적 신호 데이터로 변환하는 검출부와, 상기 검출부가 제공하는 신호 데이터에 기초하여 상기 레이저광 발생부의 출력을 제어하는 제어부를 포함한다.
표시 패널, 실런트, 경화, 레이저광, 레이저 조사 시스템, 레이저 조사 방법-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110037105A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：KR1020090094383
申请日：2009-10-05
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: B23K26/04 , B23K26/0661
Abstract: PURPOSE: A laser irradiation system and a laser irradiation method are provided to prevent the damage of a laser irradiation part by blocking the output of the laser generation unit. CONSTITUTION: A laser beam generation unit(33) generates the laser light. A laser beam irradiation unit(31) is supplied with the laser beam and irradiates the beam. The laser beam detection unit detects the laser beam which is reflected out of the laser beam emitted from the laser irradiation part. A detection unit(34) changes the detected laser light into electric signal data.
Abstract translation: 目的：提供激光照射系统和激光照射方法，以通过阻挡激光产生单元的输出来防止激光照射部的损坏。 构成：激光束产生单元（33）产生激光。 激光束照射单元（31）被供给激光束并照射光束。 激光束检测单元检测从激光照射部发射的激光束反射的激光束。 检测单元（34）将检测到的激光改变为电信号数据。
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公开(公告)号：KR1020110090027A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：KR1020100009586
申请日：2010-02-02
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H01L21/677 , B25J15/08 , B65G49/06 , G02F1/13
CPC classification number: H01L21/67742 , B25J15/0616 , B65G49/065 , G02F1/1303 , H01L21/6838 , H01L21/68707
Abstract: PURPOSE: A substrate transfer robot is provided to spray gas into a glass substrate direction from a robot arm when transferring the glass substrate, thereby enabling to transfer while the glass substrate and robot arm are separated and preventing damage from interference of the glass substrate and robot arm. CONSTITUTION: A substrate transfer robot is comprised of a robot arm, a floating part, and a substrate supporting part. The robot arm(10) transfers a substrate. The floating part(20) floats the substrate from the robot arm. The substrate supporting part supports the substrate by being installed in the robot arm. The floating part floats the substrate by spraying gas. A bracket(21) is projected on the robot arm. The gas is transferred through a passage installed in the bracket. A spraying nozzle sprays the gas supplied from the passage(23).
Abstract translation: 目的：提供一种基板传送机器人，用于在转移玻璃基板时从机器人手臂向玻璃基板方向喷射气体，从而在玻璃基板和机器人手臂分离时能够转移，并防止玻璃基板和机器人的干扰 臂。 构成：基板传送机器人由机器人手臂，浮动部件和基板支撑部件构成。 机器人臂（10）传送基板。 浮动部件（20）从机器人臂浮起基板。 基板支撑部通过安装在机器人手臂中来支撑基板。 浮动部分通过喷涂气体漂浮基板。 支架（21）投影在机器人手臂上。 气体通过安装在支架中的通道传送。 喷射喷嘴喷射从通道（23）供应的气体。
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公开(公告)号：KR101073558B1
公开(公告)日：2011-10-17
申请号：KR1020090095829
申请日：2009-10-08
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: H01L33/005 , B32B37/1009 , B32B41/00 , B32B2309/12 , B32B2457/206 , H01L51/56
Abstract: 기판합착장치는제1 기판및 제2 기판의합착이수행되는합착공간을포함하는진공챔버, 상기합착공간의공기를제1 세기로흡입하는제1 펌프, 상기합착공간의공기를상기제1 세기보다큰 제2 세기로흡입하는제2 펌프, 상기합착공간으로질소를공급하는질소공급부, 상기합착공간의압력을센싱하는센서부및 상기제1 펌프, 상기제2 펌프및 상기질소공급부를제어하는제어부를포함한다.
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公开(公告)号：KR100982308B1
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：KR1020080126774
申请日：2008-12-12
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: G02B6/26 , B23K26/035
CPC classification number: G02B6/32 , G02B6/4204
Abstract: 본 발명의 일 실시예는 레이저 시스템 교환시, 입력되는 레이저빔에 대하여 양 렌즈 사이의 거리 조정, 및 양 렌즈에 레이저빔 센터를 일치시키는 작업을 필요로 하지 않는 레이저 시스템에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 시스템은, 입력단에 연결되는 번들형 광케이블로 전송되는 레이저빔을 출력단에 연결되는 싱글형 광케이블로 전송하는 광케이블 점퍼, 및 상기 광케이블 점퍼의 후방에서 상기 싱글형 광케이블에 연결되어 레이저빔을 피사체에 조사하는 레이저건을 포함한다.
레이저빔, 번들, 믹싱, 싱글, 점퍼, 모드 스크램블러-
公开(公告)号：KR100953538B1
公开(公告)日：2010-04-21
申请号：KR1020080030300
申请日：2008-04-01
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
Abstract: 본 발명은 스크린 마스크 세정 장치에 있어서, 내부에서 스크린 마스크의 세정이 이루어지는 공간부가 형성된 챔버와, 상기 챔버 내부에 배치되어 상기 스크린 마스크를 세정하는 세정부를 구비하며, 상기 세정부는 상기 스크린 마스크에 세정 약품을 분사하는 약품분사 노즐부, 스크린 마스크에 린스액을 분사하는 린스 노즐부, 및 상기 스크린 마스크를 건조시키는 건조 노즐부로 이루어진 스크린 마스크 세정 장치를 제공한다.
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