公开(公告)号：KR1020100099619A

公开(公告)日：2010-09-13

申请号：KR1020090018202

申请日：2009-03-03

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 정선영 ,  이승한 ,  송승용 ,  최영서 ,  전진환 ,  권오준 ,  주영철 ,  류지훈 ,  문지영 ,  박창숙

IPC: H05B33/10 ,  H05B33/04

CPC classification number: H01L51/5246 ,  H01L27/3244

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing an organic light emitting display is provided to shorten a process time by performing a sintering process using a laser. CONSTITUTION: A buffer layer(111) is formed in a deposition apparatus(110). A semiconductor layer(112) including an active layer(112a) and a source/drain region(112b) is formed in the buffer layer. A gate isolation layer(113) is formed in the buffer layer including the semiconductor layer. The gate electrode(114) is formed in the gate isolation layer. An interlayer dielectric layer(115) is formed in the gate isolation layer. Source / drain electrodes(116a, 116b) are formed in the predetermined domain of the interlayer dielectric layer.

Abstract translation: 目的：提供一种制造有机发光显示器的方法，通过使用激光进行烧结处理来缩短处理时间。 构成：在沉积装置（110）中形成缓冲层（111）。 在缓冲层中形成包括有源层（112a）和源极/漏极区（112b）的半导体层（112）。 在包括半导体层的缓冲层中形成栅极隔离层（113）。 栅电极（114）形成在栅极隔离层中。 在栅极隔离层中形成层间介质层（115）。 源极/漏极（116a，116b）形成在层间电介质层的预定区域中。