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公开(公告)号：KR1020050042442A
公开(公告)日：2005-05-09
申请号：KR1020040074875
申请日：2004-09-18
Applicant: 삼성전기주식회사
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0808 , G09F9/372 , B81B3/0083 , B81C1/00142 , H01L41/187
Abstract: Disclosed is a diffractive micromirror and a method of producing the same. More particularly, the present invention pertains to a diffractive thin-film piezoelectric micromirror, which is operated in a piezoelectric operation manner to assure excellent displacement, operation speed, reliability, linearity, and low voltage operation, and a method of producing the same. The diffractive thin-film piezoelectric micromirror includes a silicon substrate on which a recess is formed to provide an air space to the center thereof, and a piezoelectric mirror layer having a band shape, which is attached to the silicon substrate along both ends of the recess at both ends thereof while being spaced from the bottom of the recess at a center portion thereof and which includes a thin-film piezoelectric material layer to be vertically movable when voltage is applied to the piezoelectric material layer, and thus diffracts an incident light beam.
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公开(公告)号：KR1020060061033A
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：KR1020040099892
申请日：2004-12-01
Applicant: 삼성전기주식회사
IPC: H01L41/02
CPC classification number: G02B26/0808 , G02B26/0858
Abstract: 본 발명은 하부 지지대상에 하부 보호층을 형성하여 식각시에 하부 지지대의 과식각을 방지함으로써, 하부 지지대 및 마이크로 미러의 표면 평탄도를 향상시킨 회절형 박막 압전 광변조기 및 그 제조방법에 관한 것이다.
광변조기, 회절형 광변조기, MEMS, 압전, 마이크로 미러-
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公开(公告)号：KR100688737B1
公开(公告)日：2007-02-28
申请号：KR1020040078402
申请日：2004-10-01
Applicant: 삼성전기주식회사
CPC classification number: G02B26/0808
Abstract: 본 발명은 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기에 관한 것으로서, 특히 회절부재를 압전력에 의해 회전시켜 반사면이 기울어지게 하는 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 기판; 상기 기판위에 놓여 있으며 이격되어 있는 한 쌍의 지지부재; 양끝단이 각각 지지부재에 고정되어 상기 기판으로부터 부유하여 있고, 서로 평행하게 배열되어 있으며, 배열방향으로 구부러져 있는 복수의 회절부재; 상기 복수의 회절부재의 상면에 하면이 각각 부착되어 있고, 상면이 반사면으로 형성되어 있으며, 상기 반사면이 인접하는 반사면과 평행한 복수의 반사판; 및 상기 하나의 반사판의 반사면과 그에 인접한 다른 하나의 반사판의 반사면이 평면거울이 되도록 하는 제1 위치와 상기 하나의 반사판의 반사면과 그에 인접한 다른 하나의 반사판의 반사면이 입사광을 회절시키는 제2 위치가 되도록 상기 회절부재들을 압전재료를 이용한 회전력에 의해 안쪽 보다 바깥쪽이 더 많이 회전하도록 소정 각도 범위에서 회전시키는 복수의 구동체를 포함하여 이루어진 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기가 제공된다.
회절격자, 광변조기, 블레이즈, 정전기력-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100601481B1
公开(公告)日：2006-07-18
申请号：KR1020040099892
申请日：2004-12-01
Applicant: 삼성전기주식회사
IPC: H01L41/02
CPC classification number: G02B26/0808 , G02B26/0858
Abstract: 본 발명은 하부 지지대상에 하부 보호층을 형성하여 식각시에 하부 지지대의 과식각을 방지함으로써, 하부 지지대 및 마이크로 미러의 표면 평탄도를 향상시킨 회절형 박막 압전 광변조기 및 그 제조방법에 관한 것이다.
광변조기, 회절형 광변조기, MEMS, 압전, 마이크로 미러-
公开(公告)号：KR100645640B1
公开(公告)日：2006-11-15
申请号：KR1020040074875
申请日：2004-09-18
Applicant: 삼성전기주식회사
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0808 , G09F9/372
Abstract: 본 발명은 회절형 마이크로 미러 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 특히 압전 구동방식에 의해 마이크로 미러를 구동하도록 함으로써 변위, 구동속도, 신뢰성, 선형성 및 저전압 구동 확보가 뛰어난 회절형 박막 압전 마이크로 미러 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 중앙 부분에 에어 스페이스를 제공하기 위한 함몰부가 형성되어 있는 실리콘 기판; 및 밴드 형상을 하고 있으며, 중앙 부분이 상기 실리콘 기판의 함몰부에 이격되어 위치하도록 양끝단의 하면이 각각 상기 실리콘 기판의 함몰부를 벗어난 양측지역에 부착되어 있고, 박막의 압전재료층을 포함하여 상기 압전재료층에 전압이 인가되면 상기 함몰부에 이격된 부분이 상하로 구동되고, 입사되는 빔을 회절시키기 위한 압전미러층을 포함하여 이루어진 회절형 박막 압전 마이크로 미러가 제공된다.
박막, 압전, 광변조기, 회절형 광변조기, 마이크로 미러-
公开(公告)号：KR1020060040142A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：KR1020040089368
申请日：2004-11-04
Applicant: 삼성전기주식회사
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0808 , B81C1/00142 , B81C2201/014 , G02B26/0858 , H01L41/187 , Y10S359/904
Abstract: 본 발명은 회절형 마이크로 미러 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 특히 압전 구동방식에 의한 회절형 마이크로 미러의 함몰부의 깊이와 폭을 원하는 정도까지 정밀하게 형성할 수 있도록 하는 회절형 마이크로 미러 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
박막, 압전, 광변조기, 회절형 광변조기, 마이크로 미러, 함몰부-
公开(公告)号：KR1020150041523A
公开(公告)日：2015-04-16
申请号：KR1020130120158
申请日：2013-10-08
Applicant: 삼성전기주식회사 , 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: Y02E10/566 , Y02E60/60
Abstract: 본발명은태양전지제어장치및 제어방법에관한것으로, 제 1 출력단및 제 2 출력단을구비하는태양전지모듈, 상기제 1 출력단및 상기제 2 출력단사이에연결되고, 상기태양전지모듈에서출력되는전력을충전및 방전하는입력필터콘덴서, 상기입력필터콘덴서에병렬로연결되고, 상기입력필터콘덴서에서출력되는전력을펄스형태의직류전력으로변환하는컨버터, 상기컨버터에직렬로연결되고, 상기펄스형태의직류전력을교류전력으로변환하여전력계통에인가하는인버터, 상기입력필터콘덴서에병렬로연결되고, 상기태양전지모듈에서출력되는전력이상기전력계통의순시전력보다큰 경우에너지를저장하고, 상기태양전지모듈에서출력되는전력이상기전력계통의순시전력보다작은경우에너지를방출하는디커플러및 상기디커플러의입력인덕터와배터리에서전류를검출하고, 상기입력인덕터와배터리에서검출된전류와전류지령을비교하여오차를획득하고, 상기오차를보상하기위한보상신호를생성하여, 상기오차에상기보상신호를가산하여스위칭신호를발생시켜상기디커플러에인가하는컨트롤러-여기서, 상기전류지령은상위제어기의상기전력계통의순시전력지령으로부터획득할수 있음-를포함하는태양전지제어장치를제공할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种太阳能电池控制装置及其控制方法。 太阳能电池控制装置包括：太阳能电池模块，包括第一输出端子和第二输出端子，连接在第一输出端子和第二输出端子之间的输入滤波电容器，以及从太阳能电池模块输出的充电和放电功率; 转换器并联连接到输入滤波电容器，并将从输入滤波电容器输出的功率转换为脉冲型直流电源，将逆变器串联连接到转换器，将脉冲型直流电源转换为交流电源，并将交流电源施加到 电力系统，并联连接到输入滤波电容器的解耦器，当从太阳能电池模块输出的功率大于电力系统的瞬时功率时，存储能量，并且当从太阳能电池模块输出的功率小于放电能量时放电能量 电力系统的瞬时功率，以及控制器检测来自输入电感器和电池的电流 将输入电感器和电池检测到的电流与电流基准进行比较以获得误差，产生用于补偿误差的补偿信号，将补偿信号与误差相加，产生开关信号，以及 将所产生的开关信号施加到去耦器，其中可以从电力系统的瞬时功率参考获得电流基准。
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公开(公告)号：KR1020060029451A
公开(公告)日：2006-04-06
申请号：KR1020040078402
申请日：2004-10-01
Applicant: 삼성전기주식회사
CPC classification number: G02B26/0808 , B81B2201/04 , B81C1/00142 , G02B26/0858 , H01L41/187
Abstract: The present invention relates, in general, to a light modulator having a variable blaze diffraction grating and, more particularly, to a light modulator having a variable blaze diffraction grating, in which a diffraction member rotates due to piezoelectric force so as to incline a reflective surface.
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