公开(公告)号：KR1020150062546A

公开(公告)日：2015-06-08

申请号：KR1020130147316

申请日：2013-11-29

Applicant: 삼성전기주식회사

Inventor： 손배순 ,  정소영 ,  박성열 ,  함석진

IPC: G01B15/02 ,  G01N23/00

CPC classification number: G01N23/20083 ,  G01B15/02 ,  G01N23/201 ,  G01N23/223 ,  G01N2223/045 ,  G01N2223/1016

Abstract: 본발명은기재부착시료의두께측정방법및 장치에관한것이다. 본발명의하나의실시예에따라, 빈영역을통과하는초기 X-선의세기를검출하는단계; 기재만으로이루어진제1 투과체를투과하는제1 투과 X-선및 제1 투과체로부터산란하는제1 산란 X-선의세기를검출하는단계; 기재상에시료가부착된제2 투과체를투과하는제2 투과 X-선및 시료로부터산란하는제2 산란 X-선의세기를검출하는단계; 및초기 X-선세기, 제1 및제2 투과 X-선세기및 제1 및제2 산란 X-선세기로부터시료의두께를산출하는단계;를포함하는기재부착시료의두께측정방법이제안된다. 또한, 기재부착시료의두께측정장치가제안된다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于测量附着在基板上的样品的厚度的方法和装置。 根据本发明实施例的用于测量附着在基板上的样品的厚度的方法包括：检测通过空区域传播的初始X射线的强度的步骤; 检测通过仅由基板构成的第一透射体透射的第一透射X射线的强度和从第一透射体散射的第一散射X射线的强度的步骤; 检测通过由所述基板构成的第二透射体和附着在所述基板上的样品透射的第二透射X射线的强度和从所述样品散射的第二散射X射线的强度的步骤; 以及从初始X射线强度，第一和第二透射X射线强度以及第一和第二散射X射线强度计算样品的厚度的步骤。 此外，公开了用于测量附着在基板上的样品的厚度的装置。