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公开(公告)号：KR1020060026321A
公开(公告)日：2006-03-23
申请号：KR1020040075198
申请日：2004-09-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: H01J37/3266 , H01J37/321 , H05H1/46
Abstract: 본 발명은 전자석에 의한 외부 자기장을 인가하되 자기장의 방향을 용기 벽과 평행하게 하지 않고 시편(예를 들면 웨이퍼) 근처에서 발산하거나 수렴하도록 함으로써 넓은 영역에서 효율적인 플라즈마 발생이 가능하도록 하는데 그 목적이 있다. 이와 같은 목적의 본 발명에 따른 플라즈마 처리 장치는 고주파 전원과, 고주파 전원을 공급받아 전자기장을 발생시키는 안테나와, 전자기장을 통해 전력을 공급받아 플라즈마를 발생시키는 챔버와, 챔버의 측벽에 설치되어 챔버 내부의 전자기장을 불균일하게 만드는 코일을 포함한다.
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公开(公告)号：KR1019970058441A
公开(公告)日：1997-07-31
申请号：KR1019950069755
申请日：1995-12-30
IPC: H05K3/34
Abstract: 인쇄회로기판의 통전검사용 프로브 장치가 개시된다. 이 장치는 전자부품을 인쇄회로기판과 결합시키는 결합부와 접촉하여 통전검사를 수행하는 프로브 어셈블리와, 프로브 어셈블리가 직선운동하도록 구동하기 위한 제1구동수단과, 프로브 어셈블리의 직선운동을 안내하기 위한 가이드를 포함하는 인쇄회로기판의 통전검사용 프로브 장치에 있어서, 프로브 어셈블리는 그 선단에서 결합부와 접촉하여 통전검사에 따른 신호를 검출하기 위한 프로브 팁과; 이 프로브 팁의 후단에 결합되어 프로브 팁이 결합부에 접촉할 때 프로브 팁에 가해지는 접촉힘을 측정하기 위한 힘센서와; 프로브 팁이 결합부에 접촉할 때의 프로브 팁의 위치를 측정하기 위한 위치센서와; 측정된 접촉힘과 프로브 팁의 위치에 따라 프로브 팁의 위치를 조정하기 위한 위치조정수단;을 포함한다. 이 장치는 프로브 어셈블리의 결합부에 대한 경사각을 조정하기 위한 제2구동수단을 더 포함할 수 있다. 이에 따라 납땜 불량 및 프로브 팁의 진동을 방지하여 안정된 통전검사를 수행할 수 있고, 다양한 납땜부의 표면형상에 대하여 적응성을 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019950015514A
公开(公告)日：1995-06-17
申请号：KR1019930025912
申请日：1993-11-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01J9/42
Abstract: 본 발명은 컬러텔레비젼등에 내장되는 음극선관의 휘도를 조정하는 음극선관의 휘도 조정장치에 관한 것으로써, 특히 휘도를 조정하는 다수개의 볼륨이 배설된 피씨기판이 장착된 음극선관의 휘도를 조정하도록 공업용 로봇에 휘도 조정장치가 장착되어서 음극선관의 휘도를 자동조정할 수 있으므로 제품의 고품질화를 실현할 수 있는 것은 물론이고 생산성이 향상되고 제조코스트를 다운시킬 수 있는 음극선관의 휘도 조정장치에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR1019940002987A
公开(公告)日：1994-02-19
申请号：KR1019920013086
申请日：1992-07-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 인쇄회로기관(Printed Circuit Board)의 자동측정 검사장치에 있어서, 특히 인쇄회로기판의 부품소자인 SCR(Silicon Controlled Rectifier)의 에노드 단자와 게이트 단자에 서로 다른 전압을 인가하여 상기 SCR의 동작 특성을 검사하는 SCR의 동작검사장치에 관한 것으로써, 마이크로컴퓨터와, 상기 마이크로컴퓨터로부터 출력되는 전압 데이타를 입력받아 아날로그 전압으로 변환시키는 D/A 변환기와, 상기 마이크로컴퓨터로부터 출력되는 제어 데이타를 입력받아 릴레이 스위치 (RL1∼RL4)의 온/오프를 선택하는 릴레이 선택기와, 상기 릴레이 선택기에 릴레이 스위치(RL2)를 통해서 접속되어 SCR의 게이트 단자 및 캐소드 단자에 전류를 공급하는 전류버퍼와, 상기 SCR의 에노드 단자 및 캐소드 단자간의 전압을 입력받아 증폭시키는 차동증폭기와, 상기 차동증폭기 에서 증폭된 아날로그 전압을 일정한 시간동안 샘플링하여 유지시키는 홀드소자와, 상기 홀드소자로부터 입력되는 아날로그 전압을 디지탈 전압으로 변환시키는 A/D 변환기와, 상기 A/D 변환기로 부터 입력되는 신호를 상기 마이크로컴퓨터에서 받아서 미리 설정된 기준 데이타와 비교해서 SCR의 정품인지 여부를 판별하여 그 출력 값을 표시하는 표시수단으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
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