-
公开(公告)号：KR100592675B1
公开(公告)日：2006-06-26
申请号：KR1020030079531
申请日：2003-11-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B65G53/02
Abstract: 본 발명은 기판 부상용 공기를 공급하는 배관구조가 단순하고, 부상용 공기공급이 중단될 때 기판과 이송장치 간의 충돌로 인한 기판의 손상을 방지할 수 있는 기판이송장치에 관한 것으로,
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 공기로 부상시키는 부상부와, 상기 부상부에 의해 부상된 기판에 이송력을 전달하는 이송부를 포함하고,
상기 부상부에는 하나 이상의 공기 분출구를 갖는 공기챔버가 하나 이상 마련되고, 상기 분출구에는 상기 공기챔버에서 분출되는 공기의 흐름을 조절하기 위한 조절부재가 구비되고, 상기 조절부재는 다공질 패드인 것을 특징으로 한다.
기판이송장치, 공기부상.-
公开(公告)号：KR1020000018641A
公开(公告)日：2000-04-06
申请号：KR1019980036312
申请日：1998-09-03
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: PURPOSE: A table for controlling a position is provided to prevent an assembly difference of respective X and Y axis table from being accumulated in an assembly, and stop a precis ion of one axis from being dropped due to a vibration of other axis when the other axis is operating. CONSTITUTION: A table for controlling a position comprises: a frame(1); X/Y transfer elements capable of sliding in X/Y directions, the X/Y transfer elements constructed at both sides of the frame; a Y axis table established on the frame(1) by a first guide so that the Y axis table can move in the Y axis direction linked by a movement of the Y axis transfer element; an X axis table joined on the Y axis table with a second guide so that the X axis table can move in the X direction; and a third guide for connecting the X axis table with the X axis transfer element while the X axis table is not be interfered with the X axis transfer element when the X axis table moves in the Y direction.
Abstract translation: 目的：提供一个用于控制位置的工作台，以防止各个X轴和Y轴工作台的组装差异累积在组件中，并且当另一个轴的其他轴的振动导致一个轴的精度下降时， 轴正在运行。 构成：用于控制位置的表包括：框架（1）; 能够在X / Y方向上滑动的X / Y转印元件，构成在框架两侧的X / Y转印元件; 通过第一引导件在框架（1）上建立的Y轴工作台，使得Y轴工作台可以通过Y轴传送元件的移动而在Y轴方向上移动; X轴工作台在Y轴工作台上与第二引导件接合，使得X轴工作台可沿X方向移动; 以及第三引导件，用于当X轴工作台沿Y方向移动时，X轴工作台与X轴传动件不会被X轴传动件干涉，从而将X轴工作台与X轴传动元件连接。
-
公开(公告)号：KR1020000018640A
公开(公告)日：2000-04-06
申请号：KR1019980036311
申请日：1998-09-03
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: PURPOSE: An apparatus for transmitting wafer is provided to operated and installed in a small place by performing a horizontal rotation movement. CONSTITUTION: A first motor(2) is fixed to a base plate(1). A rotating plate(3) is formed as a circular shape for being rotated at a certain angle by the first motor(2). A vertical housing(4) is installed at an upper surface of the rotating plate(3) and opposed each other. A vertical moving portion(6) is located between the vertical housing(4) and installs a plurality of arms(5) for leading and expelling a wafer to a certain process. A cover(13) to which a moving hole(12) is formed in a vertical direction so that an open portion of the vertical housing(4) is covered and a vertical slider(10) and a vertical moving portion(6) are combined.
Abstract translation: 目的：提供一种用于传输晶片的装置，通过执行水平旋转运动来操作和安装在小的位置。 构成：第一马达（2）固定在基板（1）上。 旋转板（3）形成为通过第一电动机（2）以一定角度旋转的圆形形状。 垂直壳体（4）安装在旋转板（3）的上表面并彼此相对。 垂直移动部分（6）位于垂直壳体（4）之间，并安装多个臂（5），用于引导和排出晶片到某一过程。 一个盖子（13），垂直方向上形成有一个移动孔（12），使垂直的壳体（4）的开口部分被覆盖，一个垂直滑块（10）和一个垂直运动部分（6）组合在一起 。
-
-
公开(公告)号：KR1020130064847A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：KR1020110131421
申请日：2011-12-09
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 강성윤
CPC classification number: D06F39/02 , D06F37/04 , D06F37/22 , D06F37/26 , D06F39/08 , D06F39/12 , Y02B40/50
Abstract: PURPOSE: A detergent supplying device and a drum washing machine including the same are provided to prevent water leakage by including a water leakage prevention member. CONSTITUTION: A water supply device(20) comprises a detergent container(21) and a water supply device(30). The detergent container is divided into a plurality of inner walls(24). A detergent reception unit(22) is located in the detergent container, and a side wall(21a) includes a ventilation hole(23) preventing the reversal of washing water. The water supply device includes a water supply device frame(31) and a water supply cover(32) and is connected to a water supply tube(13a).
Abstract translation: 目的：提供洗涤剂供应装置和包括该洗涤剂的滚筒洗衣机，以通过包括防漏水部件来防止漏水。 构成：供水装置（20）包括洗涤剂容器（21）和供水装置（30）。 洗涤剂容器被分成多个内壁（24）。 洗涤剂接收单元（22）位于洗涤剂容器中，侧壁（21a）包括防止洗涤水反转的通气孔（23）。 供水装置包括供水装置框架（31）和供水罩（32），并连接到供水管（13a）。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020050045457A
公开(公告)日：2005-05-17
申请号：KR1020030079533
申请日：2003-11-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 기판을 부상하기 위한 부상부의 공기 공급구조가 단순하면서도 제작과 유지보수가 용이하고, 부상부 전체에 걸쳐서 부상공기의 분출압력이 균일한 기판이송장치를 제공하기 위한 것으로,
본 발명에 따른 기판이송장치는 기판을 공기로 부상시키는 부상부와, 상기 부상부에 의해 부상된 기판에 이송력을 전달하는 이송부를 포함하고, 상기 부상부는 기판을 부상시키기 위한 공기를 발생시키는 축류 팬을 포함하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1020040015536A
公开(公告)日：2004-02-19
申请号：KR1020020047819
申请日：2002-08-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B25J9/06
Abstract: PURPOSE: An articulated robot is provided to perform the rectilinear motion of a hand formed at an end effector by transmitting driving force with a bevel gear set and a shaft instead of a timing belt. CONSTITUTION: A first arm(412) is rotatably connected to a second arm(428). A rotary shaft of the first arm is rotatably connected to a base. A hand is rotatably connected to an uppermost arm. A rotation driving unit is installed in the base, and rotates the arms and the hand. A drive transmission unit includes bevel gear sets(414,418,420,424) and shafts(416,422), and transmits the rotary power of the rotation driving unit to the arms and the hand.
Abstract translation: 目的：提供铰接式机器人，通过用锥齿轮组和轴代替时序皮带传递驱动力来执行形成在末端执行器上的手的直线运动。 构成：第一臂（412）可旋转地连接到第二臂（428）。 第一臂的旋转轴可旋转地连接到基座。 手可旋转地连接到最上臂。 旋转驱动单元安装在基座中，并且旋转手臂和手。 驱动传动单元包括锥齿轮组（414,418,420,424）和轴（416,422），并将旋转驱动单元的旋转动力传递到臂和手。
-
公开(公告)号：KR1020130068688A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：KR1020110136011
申请日：2011-12-16
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 강성윤
IPC: D06F39/02
CPC classification number: D06F39/02 , D06F37/04 , D06F37/10 , D06F37/22 , D06F37/28 , D06F39/005 , D06F39/14 , D06F2216/00 , E05Y2900/312 , Y02B40/50
Abstract: PURPOSE: A detergent supply device and a washing machine including the same are provided to simplify a structure of a detergent container while maintaining the convenience thereof, thereby improving productivity. CONSTITUTION: An opening (22) where a detergent is inserted is formed in a detergent container. A cover (40) is installed to be rotatable for opening/closing the opening of the detergent container. A guide panel (30) has curvature for guiding the rotation of the cover. An elastic member (50) is arranged between the guide panel and the cover and generates electricity when the cover rotates.
Abstract translation: 目的：提供洗涤剂供给装置和包括该洗涤剂的洗衣机以简化洗涤剂容器的结构，同时保持其便利性，从而提高生产率。 构成：将洗涤剂插入的开口（22）形成在洗涤剂容器中。 盖（40）安装成可旋转以打开/关闭洗涤剂容器的开口。 引导面板（30）具有用于引导盖的旋转的曲率。 弹性构件（50）布置在引导板和盖之间，并且当盖旋转时发电。
-
公开(公告)号：KR1020050045456A
公开(公告)日：2005-05-17
申请号：KR1020030079532
申请日：2003-11-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 기판을 부상하기 위한 부상부의 공기 공급구조가 단순하면서도 제작과 유지보수가 용이하고, 부상부 전체에 걸쳐서 부상공기의 분출압력이 균일한 기판이송장치를 제공하기 위한 것으로,
본 발명에 따른 기판이송장치는 기판을 공기로 부상시키는 부상부와, 상기 부상부에 의해 부상된 기판에 이송력을 전달하는 이송부를 포함하고, 상기 부상부는 기판을 부상시키기 위한 공기를 발생시키는 횡류 팬을 포함하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR100284553B1
公开(公告)日：2001-04-02
申请号：KR1019980036311
申请日：1998-09-03
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 이송 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하는 반도체 제조 공정에서 사용되는 웨이퍼를 다수의 공정 장치에 정밀 이송시킬 수 있는 웨이퍼 이송 장치에 관한 것으로서, 웨이퍼 공정간의 설치 공간을 최소화함과 아울러 웨이퍼 이송 장치의 구성을 단순화하고 청정도를 유지할 수 있는 웨이퍼 이송 장치를 제공함에 있다.
상기한 목적을 실현하기 위하여 본 발명은 베이스 플레이트(1)와, 상기한 베이스 플레이트(1)에 고정된 제1모터(2)와, 상기한 제1모터(2)에 의해 소정 각도 회전되도록 원판 형상으로 형성된 회전 플레이트(3)와, 상기한 회전 플레이트(3) 상면에 직립 설치됨과 아울러 서로 대향되어 있는 수직 하우징(4)과, 상기한 수직 하우징(4)의 사이에 위치됨과 아울러 웨이퍼를 소정 공정에 인입, 취출할 수 있도록 다수의 아암(5)이 설치된 수직 이동부(6)와, 상기한 수직 이동부(6)를 승강시킬 수 있도록 수직 하우징(4)에 설치된 수직 구동 수단으로 구성함을 특징으로 한다.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
16
records
(took 0.039 seconds)
