公开(公告)号：KR1020080022378A

公开(公告)日：2008-03-11

申请号：KR1020060085734

申请日：2006-09-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이인호 ,  박영길 ,  이강혁 ,  김호진 ,  김성래

IPC: B65G49/06 ,  B65G49/00 ,  B65G47/74 ,  G02F1/13

Abstract: A substrate transfer unit is provided to reduce substrate transfer time by forming fork entrance space so as to allow the fork of a transfer robot to be entered through a link unit. A substrate transfer unit comprises a frame(10), a transfer unit(20), a transfer robot(22) and a link unit(40). The frame is laid in a bottom surface. The transfer unit includes a plurality of transfer shafts(21) installed in an upper side of the frame, a transfer motor connected the transfer shafts and rotating the transfer shafts and a plurality of transfer rollers(23) installed in the respective transfer shaft and transferring substrates by being rotated when the respective transfer shaft is rotated. The transfer robot enters to the transfer unit and transfers the substrates to a position for a following process. The link unit includes a link roller disposed between the transfer rollers and a link member forming fork entrance space by rotating the link roller.

Abstract translation: 提供基板转印单元以通过形成叉入口空间来减少基板传送时间，以便允许传送机器人的叉通过连接单元进入。 基板转印单元包括框架（10），转印单元（20），转印机器人（22）和链接单元（40）。 框架放置在底面。 传送单元包括安装在框架的上侧的多个传送轴（21），连接传送轴并转动传送轴的传送马达和安装在各个传送轴中的多个传送辊（23），并传送 当相应的转印轴旋转时通过旋转基板。 传送机器人进入传送单元并将基板传送到用于后续处理的位置。 连杆单元包括设置在转印辊之间的连杆辊和通过旋转连杆辊而形成叉入口空间的连杆部件。

公开(公告)号：KR100592675B1

公开(公告)日：2006-06-26

申请号：KR1020030079531

申请日：2003-11-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강성윤 ,  이인호 ,  박영길 ,  이강혁 ,  김혜성

IPC: B65G53/02

Abstract: 본 발명은 기판 부상용 공기를 공급하는 배관구조가 단순하고, 부상용 공기공급이 중단될 때 기판과 이송장치 간의 충돌로 인한 기판의 손상을 방지할 수 있는 기판이송장치에 관한 것으로,
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 공기로 부상시키는 부상부와, 상기 부상부에 의해 부상된 기판에 이송력을 전달하는 이송부를 포함하고,
상기 부상부에는 하나 이상의 공기 분출구를 갖는 공기챔버가 하나 이상 마련되고, 상기 분출구에는 상기 공기챔버에서 분출되는 공기의 흐름을 조절하기 위한 조절부재가 구비되고, 상기 조절부재는 다공질 패드인 것을 특징으로 한다.
기판이송장치, 공기부상.

公开(公告)号：KR100523039B1

公开(公告)日：2005-10-24

申请号：KR1020030079532

申请日：2003-11-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강성윤 ,  이인호 ,  박영길 ,  이강혁 ,  김혜성

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 발명은 기판을 부상하기 위한 부상부의 공기 공급구조가 단순하면서도 제작과 유지보수가 용이하고, 부상부 전체에 걸쳐서 부상공기의 분출압력이 균일한 기판이송장치를 제공하기 위한 것으로,
본 발명에 따른 기판이송장치는 기판을 공기로 부상시키는 부상부와, 상기 부상부에 의해 부상된 기판에 이송력을 전달하는 이송부를 포함하고, 상기 부상부는 기판을 부상시키기 위한 공기를 발생시키는 횡류 팬을 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020050045455A

公开(公告)日：2005-05-17

申请号：KR1020030079531

申请日：2003-11-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강성윤 ,  이인호 ,  박영길 ,  이강혁 ,  김혜성

IPC: B65G53/02

CPC classification number: B65G49/061 ,  B65G13/02 ,  B65G51/03 ,  B65G2201/022 ,  B65G2207/28 ,  B65G2812/16 ,  G02F1/1303

Abstract: 본 발명은 기판 부상용 공기를 공급하는 배관구조가 단순하고, 부상용 공기공급이 중단될 때 기판과 이송장치 간의 충돌로 인한 기판의 손상을 방지할 수 있는 기판이송장치에 관한 것으로,
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 공기로 부상시키는 부상부와, 상기 부상부에 의해 부상된 기판에 이송력을 전달하는 이송부를 포함하고,
상기 부상부에는 하나 이상의 공기 분출구를 갖는 공기챔버가 하나 이상 마련되고, 상기 분출구에는 상기 공기챔버에서 분출되는 공기의 흐름을 조절하기 위한 조절부재가 구비되고, 상기 조절부재는 다공질 패드인 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR200458076Y1

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：KR2020070006780

申请日：2007-04-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이강혁 ,  박영길 ,  오찬섭 ,  김호진

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 고안은 기판정렬장치를 동작시키기 위한 동력발생장치의 구성을 추가할 필요가 없는 기판정렬시스템에 관한 것이다.
본 고안에 따른 기판정렬시스템은 기판이 얹혀지는 스테이지와, 스테이지에 상하로 이동가능하게 설치되어 상측으로 이동하며 기판을 상측으로 이동시키는 다수의 리프트핀과, 리프트핀에 얹혀진 기판을 수평방향으로 이동시키며 정렬되게 하는 기판정렬장치를 포함한 것으로, 기판정렬장치는 리프트핀에 의해 상측으로 이동하는 수직이송유닛과, 수직이송유닛에 측방으로 진퇴이동 가능하게 설치되어 수직이송유닛이 상측으로 이동함에 따라 기판의 측단을 항하여 돌출되며 기판을 측방으로 이동시키는 수평이송유닛을 포함하여, 기판정렬장치가 상측으로 이동하는 리프트핀에 의해 동작하도록 되어 있으므로, 기판정렬장치를 동작시키기 위한 동력발생장치를 구성할 필요가 없어져 기판정렬시스템의 구성 및 제어가 간단해지게 되는 효과가 있� �.

公开(公告)号：KR100832472B1

公开(公告)日：2008-05-27

申请号：KR1020060085734

申请日：2006-09-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이인호 ,  박영길 ,  이강혁 ,  김호진 ,  김성래

IPC: B65G49/06 ,  B65G49/00 ,  B65G47/74 ,  G02F1/13

Abstract: 바닥면에 놓여지는 프레임과, 상기 프레임의 상측에 설치된 다수의 이송축과, 상기 이송축과 연결되어 상기 이송축을 회전시키는 이송모터와, 상기 각 이송축에 설치되어 상기 이송모터에 의한 상기 각 이송축의 회전 시 회전되어 기판을 이송시키는 다수의 이송롤러로 이루어진 이송유닛과, 상기 이송유닛을 통해 이송되는 기판을 후속 공정수행위치로 반송시키도록 상기 이송유닛에 진입하여 기판을 반송시키는 포크가 구비된 반송로봇 및 상기 이송롤러의 사이에 배치되는 링크롤러와, 상기 링크롤러를 회동시켜 상기 포크가 진입하는 포크진입공간을 형성되도록 하는 링크부재가 구비된 링크유닛을 포함하는 기판이송장치를 개시한다. 이러한 기판이송장치는 링크유닛에 의해 기판의 반송 시 반송로봇의 포크가 이송유닛 측으로 진입할 수 있는 포크진입공간을 형성함으로써 기판을 반송하는데 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR1020050045457A

公开(公告)日：2005-05-17

申请号：KR1020030079533

申请日：2003-11-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강성윤 ,  이인호 ,  박영길 ,  이강혁 ,  김혜성

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 발명은 기판을 부상하기 위한 부상부의 공기 공급구조가 단순하면서도 제작과 유지보수가 용이하고, 부상부 전체에 걸쳐서 부상공기의 분출압력이 균일한 기판이송장치를 제공하기 위한 것으로,
본 발명에 따른 기판이송장치는 기판을 공기로 부상시키는 부상부와, 상기 부상부에 의해 부상된 기판에 이송력을 전달하는 이송부를 포함하고, 상기 부상부는 기판을 부상시키기 위한 공기를 발생시키는 축류 팬을 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR100523040B1

公开(公告)日：2005-10-24

申请号：KR1020030079533

申请日：2003-11-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강성윤 ,  이인호 ,  박영길 ,  이강혁 ,  김혜성

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 발명은 기판을 부상하기 위한 부상부의 공기 공급구조가 단순하면서도 제작과 유지보수가 용이하고, 부상부 전체에 걸쳐서 부상공기의 분출압력이 균일한 기판이송장치를 제공하기 위한 것으로,
본 발명에 따른 기판이송장치는 기판을 공기로 부상시키는 부상부와, 상기 부상부에 의해 부상된 기판에 이송력을 전달하는 이송부를 포함하고, 상기 부상부는 기판을 부상시키기 위한 공기를 발생시키는 축류 팬을 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR2020080004991U

公开(公告)日：2008-10-29

申请号：KR2020070006780

申请日：2007-04-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이강혁 ,  박영길 ,  오찬섭 ,  김호진

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/68 ,  G02F2001/133354 ,  H01L21/68742 ,  Y10S414/136

Abstract: 본 고안은 기판정렬장치를 동작시키기 위한 동력발생장치의 구성을 추가할 필요가 없는 기판정렬시스템에 관한 것이다.
본 고안에 따른 기판정렬시스템은 기판이 얹혀지는 스테이지와, 스테이지에 상하로 이동가능하게 설치되어 상측으로 이동하며 기판을 상측으로 이동시키는 다수의 리프트핀과, 리프트핀에 얹혀진 기판을 수평방향으로 이동시키며 정렬되게 하는 기판정렬장치를 포함한 것으로, 기판정렬장치는 리프트핀에 의해 상측으로 이동하는 수직이송유닛과, 수직이송유닛에 측방으로 진퇴이동 가능하게 설치되어 수직이송유닛이 상측으로 이동함에 따라 기판의 측단을 항하여 돌출되며 기판을 측방으로 이동시키는 수평이송유닛을 포함하여, 기판정렬장치가 상측으로 이동하는 리프트핀에 의해 동작하도록 되어 있으므로, 기판정렬장치를 동작시키기 위한 동력발생장치를 구성할 필요가 없어져 기판정렬시스템의 구성 및 제어가 간단해지게 되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020080022377A

公开(公告)日：2008-03-11

申请号：KR1020060085733

申请日：2006-09-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이인호 ,  박영길 ,  이강혁 ,  김호진 ,  김성래

IPC: B65G49/06 ,  B65G47/53 ,  G02F1/13

Abstract: A substrate transfer device is provided to prevent delay of substrate transfer time by transferring substrates in one direction through passage space formed in a conversion frame even during a substrate conversion transferring process through a conversion unit. A substrate transfer device comprises a transfer unit(10) and a conversion unit(20). The transfer unit includes a frame(11) and a transfer roller portion(12) arranged in an upper portion of the frame and transferring substrates contacted with an upper surface in one direction. The conversion unit includes a conversion frame(21) disposed inside the frame, an elevating portion arranged in a lower portion of the conversion frame and elevating the conversion frame, and a conversion roller portion(26) transferring the substrates in case of ascent of the conversion frame.

Abstract translation: 提供了一种衬底传送装置，以便即使在通过转换单元进行衬底转换处理过程中，也可以通过在转换框架中形成的通过空间将衬底沿一个方向传送衬底来防止衬底传送时间的延迟。 基板传送装置包括传送单元（10）和转换单元（20）。 转印单元包括框架（11）和布置在框架的上部中的转印辊部分（12），并且在一个方向上传送与上表面接触的基板。 转换单元包括设置在框架内的转换框架（21），布置在转换框架的下部并提升转换框架的升降部分，以及转换辊部分（26），在上升的情况下传送基板 转换框架。