公开(公告)号：KR1020060069991A

公开(公告)日：2006-06-23

申请号：KR1020040108602

申请日：2004-12-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김주우 ,  이병암 ,  임규홍 ,  김종석 ,  고창균

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/68 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/681 ,  Y10S414/136

Abstract: 웨이퍼 정렬 방법에서, 함몰부가 형성된 웨이퍼의 에지부에 정삼각형을 이루는 세 점을 잡아 정삼각형의 무게중심을 웨이퍼의 중심점으로 설정한다. 그리고 중심점을 소정의 공정에서 요구되는 기준점에 일치시켜 웨이퍼의 위치를 보상한다. 그 후, 함몰부에 중심점과 가장 근접하게 위치하는 최단점을 설정하고, 최단점과 중심점이 이루는 중심축을 소정의 공정에서 요구되는 기준축에 일치시켜 웨이퍼의 회전각을 보상한다. 따라서, 소정의 공정에서 요구되는 웨이퍼의 위치와 회전각을 효과적으로 보상할 수 있다.