公开(公告)号：KR101711192B1

公开(公告)日：2017-03-14

申请号：KR1020140107764

申请日：2014-08-19

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  삼성디스플레이 주식회사

Inventor： 정치연 ,  구성모 ,  구흥모 ,  김혜원 ,  안명기 ,  이일형 ,  이정섭

IPC: G02F1/29 ,  G02F1/137

CPC classification number: G02F1/1309 ,  G01N21/95 ,  G01N21/958 ,  G01N2021/9513 ,  G02F1/1334 ,  G02F1/13718

Abstract: 본발명의기술적사상은미세피치를갖는고해상도디스플레이의화소불량을검출하는데이용할수 있는전기-광학변조기및 그전기-광학변조기를포함한검사장치를제공한다. 그검사장치는광원; 검사대상체상부에배치되고, CLC 폴리머로형성된반사필름을구비하며, 상기검사대상체의전압분포에따라해당하는부분의반사광의인텐서티가서로다르게나타나는전기-광학변조기; 광을투과또는반사하는빔 스플리터(BS: Beam Splitter); 상기광원으로부터광을상기빔 스플리터로전달하는제1 광학계; 및상기빔 스플리터로부터의광을상기전기-광학변조기로전달하고상기전기-광학변조기로부터반사광을상기빔 스플리터로전달하는제2 광학계;를포함한다.

Abstract translation: 电光调制器可以包括在聚合物膜中包括液晶（LC）液滴的聚合物膜和在聚合物膜的上表面上的透明电极层。 胆甾型液晶（CLC）聚合物反射膜可以在与透明电极层相对的聚合物膜的下表面上。

公开(公告)号：KR1020090074388A

公开(公告)日：2009-07-07

申请号：KR1020080000150

申请日：2008-01-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 손수봉 ,  변승건 ,  서제완 ,  구흥모 ,  김성채 ,  김정학

IPC: G02F1/13

CPC classification number: G09G3/006 ,  G01M11/0285 ,  G02F1/1309

Abstract: An apparatus for inspecting a display panel and a method thereof are provided to form a landmark in an image photographing the display panel, thereby facilitating manufacture of the landmark. After a landmark is added to an image photographing a display panel, an image in which only the landmark is displayed is obtained(215). After a simple repetition pattern is generated along with a block of the display panel, an image of the display panel is photographed(216,217). A matching image is obtained(218). After an inspection pattern is generated on the display panel, an inspection image about the display panel is photographed(219,220). If a bad pixel is in the inspection image, location information of the bad pixel is obtained by comparing the inspection image with the matching image(221,222).

Abstract translation: 提供一种用于检查显示面板的装置及其方法，以在拍摄显示面板的图像中形成地标，从而便于制作地标。 在将图像添加到拍摄显示面板的图像之后，获得仅显示地标的图像（215）。 在与显示面板的块一起生成简单的重复图案之后，拍摄显示面板的图像（216,217）。 获得匹配图像（218）。 在显示面板上产生检查图案之后，拍摄关于显示面板的检查图像（219,220）。 如果在检查图像中存在坏像素，则通过将检查图像与匹配图像进行比较来获得不良像素的位置信息（221,222）。

公开(公告)号：KR101426487B1

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：KR1020080000150

申请日：2008-01-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 손수봉 ,  변승건 ,  서제완 ,  구흥모 ,  김성채 ,  김정학

IPC: G02F1/13

Abstract: 본 발명은 표시패널의 검사 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 특히 본 발명은 표시패널에 레이저를 이용한 물리적인 랜드마크를 형성하지 않는 대신에 표시패널을 촬영한 영상상에 랜드마크를 형성시키기 때문에 랜드마크의 제작이 용이하고, 랜드마크의 제작 성공률이 높은 효과가 있다.
본 발명은 표시패널에 블록별로 블록단차패턴을 생성 후 상기 표시패널의 영상을 촬영하는 단계; 상기 촬영된 영상 상에 랜드 마크를 추가 후 상기 랜드마크만이 표시된 영상을 획득하는 단계; 상기 표시패널에 블록별로 단순반복패턴을 생성 후 상기 표시패널의 영상을 촬영하는 단계; 상기 촬영된 영상과 획득된 영상을 매칭한 매칭영상을 획득하는 단계; 상기 표시패널에 검사패턴을 생성 후 상기 표시패널에 대한 검사영상을 촬영하는 단계; 상기 검사영상에 불량픽셀이 있는지 판단하는 단계; 상기 불량픽셀이 있으면, 상기 검사영상과 매칭영상을 비교하여 상기 불량픽셀의 위치정보를 획득하는 단계;를 수행한다.

公开(公告)号：KR1020070101055A

公开(公告)日：2007-10-16

申请号：KR1020060032348

申请日：2006-04-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정윤용 ,  유대곤 ,  구흥모 ,  주상혁 ,  유영수

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/95607

Abstract: A test handler and a method for detecting a position error of the test handler are provided to prevent the damage of a device by accurately detecting the position error of the device by using an image of the device obtained through an optical apparatus. A test handler includes a head(30), a tray, a light source(33), a polarization part(37), an image input device(35), and an error detecting device. The head(30) transfers a device from a loader(11) to a tester(20). The light source and the image input device are installed on both sides of the head to detect the position error of the device loaded on the tray. The light source irradiates light to the device loaded on the tray. The polarization part polarizes the light irradiated to the device. The image input device receives an image reflected from the device. The error detecting device detects the position error of the device by processing the image of the device.

Abstract translation: 提供了用于检测测试处理器的位置误差的测试处理器和方法，以通过使用通过光学设备获得的设备的图像来精确地检测设备的位置误差来防止设备的损坏。 测试处理器包括头（30），托盘，光源（33），偏振部分（37），图像输入装置（35）和错误检测装置。 头部（30）将装置从装载器（11）传送到测试器（20）。 光源和图像输入装置安装在头部的两侧，以检测装载在托盘上的装置的位置误差。 光源将光照射到装载在托盘上的装置。 偏振部分使照射到装置的光极化。 图像输入装置接收从装置反射的图像。 误差检测装置通过处理装置的图像来检测装置的位置误差。

公开(公告)号：KR100805228B1

公开(公告)日：2008-02-21

申请号：KR1020060032348

申请日：2006-04-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정윤용 ,  유대곤 ,  구흥모 ,  주상혁 ,  유영수

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은 테스트 핸들러와 테스트 핸들러에서의 위치불량 검출방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 디바이스가 트레이로 이동하는 과정에서 발생할 수 있는 트레이에 적재된 디바이스의 위치불량 여부를 광학장치로 촬상한 디바이스의 이미지를 이용하여 검출할 수 있는 테스트 핸들러에 관한 것이다.
효율적인 디바이스의 위치불량의 검출을 위해 본 발명의 테스트 핸들러는 디바이스를 적재하는 트레이와, 상기 적재된 디바이스로 빛을 조사하는 광원과, 상기 디바이스로 조사된 후 반사된 빛을 편광하는 편광부와, 상기 편광부를 통과한 상기 디바이스에 반사되어 생기는 이미지를 입력받는 영상입력장치와, 상기 입력된 디바이스의 이미지를 처리하여 상기 트레이에 적재된 디바이스의 위치불량을 검출하는 불량검출장치를 포함한다.

公开(公告)号：KR100727882B1

公开(公告)日：2007-06-14

申请号：KR1020060031110

申请日：2006-04-05

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 주상혁 ,  유대곤 ,  구흥모 ,  정윤용 ,  유영수

IPC: H01L21/66

Abstract: A test handler is provided to detect exactly a loading state of a predetermined device on a tray by using the image of the predetermined device obtained from an optical unit composed of an illumination part and an image input part. A test handler includes a tray for loading a predetermined device, a latch for fixing the device on the tray, a header, an illumination part, an image input part, and a failure detecting part. The header is used for transferring the device of the tray. The illumination part(37) is installed at one side of the header in order to irradiate light onto the device of the tray. The image input part(39) is installed at the header in order to receive the imaged reflected from the device. The failure detecting part is used for detecting the failure of positioning of the device by processing the image of the device.

Abstract translation: 设置测试处理器以通过使用从由照明部分和图像输入部分组成的光学单元获得的预定器件的图像精确地检测托盘上的预定器件的加载状态。 测试处理器包括用于装载预定装置的托盘，用于将装置固定在托盘上的闩锁，头部，照明部分，图像输入部分和故障检测部分。 标题用于传送托盘的设备。 照明部分（37）安装在头部的一侧以便将光照射到托盘的装置上。 图像输入部分（39）安装在头部以便接收从装置反射的成像。 故障检测部分用于通过处理设备的图像来检测设备的定位失败。

公开(公告)号：KR100494386B1

公开(公告)日：2005-06-13

申请号：KR1020020073005

申请日：2002-11-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김창효 ,  윤광준 ,  구흥모

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은, 웨이퍼의 직경보다 작은 직경으로 상기 웨이퍼 상에 형성된 감광막의 결함을 검사하는 웨이퍼의 감광막 결함검사 시스템 및 감광막 결함검사 방법에 관한 것이다. 본 웨이퍼의 감광막 결함검사 시스템은, 상기 웨이퍼를 수평방향으로 수용하기 위한 웨이퍼수용장치와; 상기 웨이퍼수용장치에 수용된 웨이퍼를 회전시키기 위한 회전수단과; 상기 웨이퍼수용장치에 수용된 웨이퍼의 평면에 대해 수직방향으로 배치되어, 상기 회전수단에 의해 회전되는 상기 웨이퍼 및 상기 감광막을 라인으로 촬상하기 위한 촬상수단과; 상기 촬상수단에 의해 촬상된 영상에 기초하여 상기 감광막의 외곽원주와 상기 웨이퍼의 외곽원주의 관계에 따라 상기 웨이퍼와 상기 감광막의 중심일치 여부를 판단하는 영상데이터처리장치를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 웨이퍼와의 중심 불일치에 따른 감광막의 결함을 자동 검사할 수 있는 웨이퍼의 감광막 결함검사 시스템 및 감광막 결함검사 방법을 제공할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020160022440A

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：KR1020140107764

申请日：2014-08-19

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  삼성디스플레이 주식회사

Inventor： 정치연 ,  구성모 ,  구흥모 ,  김혜원 ,  안명기 ,  이일형 ,  이정섭

IPC: G02F1/29 ,  G02F1/137

CPC classification number: G02F1/1309 ,  G01N21/95 ,  G01N21/958 ,  G01N2021/9513 ,  G02F1/1334 ,  G02F1/13718 ,  G02F1/29 ,  G02F1/13 ,  G02F1/137

Abstract: 본발명의기술적사상은미세피치를갖는고해상도디스플레이의화소불량을검출하는데이용할수 있는전기-광학변조기및 그전기-광학변조기를포함한검사장치를제공한다. 그검사장치는광원; 검사대상체상부에배치되고, CLC 폴리머로형성된반사필름을구비하며, 상기검사대상체의전압분포에따라해당하는부분의반사광의인텐서티가서로다르게나타나는전기-광학변조기; 광을투과또는반사하는빔 스플리터(BS: Beam Splitter); 상기광원으로부터광을상기빔 스플리터로전달하는제1 광학계; 및상기빔 스플리터로부터의광을상기전기-광학변조기로전달하고상기전기-광학변조기로부터반사광을상기빔 스플리터로전달하는제2 광학계;를포함한다.

Abstract translation: 本发明的技术思想提供了一种能够用于检测具有精细间距的高分辨率显示器的有缺陷的图像元素的电光调制器，并且涉及一种具有电光调制器的测试装置。 测试装置包括：光源; 布置在待测试对象顶部的电光调制器具有由胆甾型液晶（CLC）聚合物制成的反射膜，并且允许由相应部分反射的光强度根据电压不同而不同 待测对象的分布; 通过或反射灯的分束器（BS）; 第一光学系统，将从光源发射的光发射到分束器; 以及将来自电光调制器的反射光传输到分束器的第二光学系统。

公开(公告)号：KR1020040044819A

公开(公告)日：2004-05-31

申请号：KR1020020073005

申请日：2002-11-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김창효 ,  윤광준 ,  구흥모

IPC: H01L21/66

Abstract: PURPOSE: A system for inspecting a defect of a photoresist layer of a wafer and an inspecting method thereof are provided to inspect automatically the defect by using the inconsistency between a center and the photoresist layer and a center of a wafer. CONSTITUTION: A system for inspecting a defect of a photoresist layer of a wafer includes a wafer storage unit, a rotation unit, an image pickup device, and an image data process unit. The wafer storage unit(16) is used for storing a wafer, horizontally. The rotation unit is used for rotating the wafer within the wafer storage unit. The image pickup device is arranged vertically to a plane of the wafer within the wafer storage unit in order to photograph the rotating wafer in lines. The image data process unit(22) decides a defect by using the relation between an outer circumference of the photoresist layer and an outer circumference of the wafer on the basis of the photographed images.

Abstract translation: 目的：提供用于检查晶片的光致抗蚀剂层的缺陷的系统及其检查方法，以通过使用中心与光致抗蚀剂层和晶片的中心之间的不一致来自动检查缺陷。 构成：用于检查晶片的光致抗蚀剂层的缺陷的系统包括晶片存储单元，旋转单元，图像拾取装置和图像数据处理单元。 晶片存储单元（16）用于水平地存储晶片。 旋转单元用于在晶片存储单元内旋转晶片。 图像拾取装置与晶片存储单元内的晶片的平面垂直地布置，以便以线条拍摄旋转的晶片。 图像数据处理单元（22）基于所拍摄的图像，通过使用光致抗蚀剂层的外周与晶片的外周之间的关系来确定缺陷。

公开(公告)号：KR1020030011175A

公开(公告)日：2003-02-07

申请号：KR1020010045738

申请日：2001-07-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 유대곤 ,  김창효 ,  강지훈 ,  주상혁 ,  구흥모 ,  김덕겸

IPC: G01B11/00

Abstract: PURPOSE: An apparatus for inspecting soldering is provided to secure mechanical stiffness and restore an accurate three-dimensional image by corresponding a side image of an object with a vertical image of the object. CONSTITUTION: An apparatus for inspecting soldering includes an illuminating module(140) having a plurality of light emitting elements and a through hole for passing light; a first photographing part(110) photographing a vertical image of an object through the through hole; a plurality of second photographing parts(120) photographing a side image of the object through the through hole; and an optical path part(130) installed among the illuminating module, the first photographing part, and the second photographing parts so that light passed through the through hole travels to the second photographing parts.

Abstract translation: 目的：提供一种用于检查焊接的装置，以确保机械刚度，并通过对象的物体的侧面图像与对象的垂直图像相对应地恢复准确的三维图像。 构成：用于检查焊接的装置包括具有多个发光元件的照明模块（140）和用于通过光的通孔; 通过所述通孔拍摄物体的垂直图像的第一拍摄部分（110）; 通过所述通孔拍摄所述物体的侧面图像的多个第二拍摄部件（120） 以及安装在照明模块，第一拍摄部分和第二拍摄部分之间的光路部分，使得穿过通孔的光行进到第二拍摄部分。