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公开(公告)号：KR1020070117134A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：KR1020060050928
申请日：2006-06-07
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0002 , B81C1/0046 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: A method for forming a micro pattern using nano imprint is provided to form a pattern having various shapes and to output a hydrophile region and a hydrophobicity region alternately on a micro structure surface without chemical processing. A stamp(100) comprises a positive part(320) and a negative(120) part, wherein a micro structure having a hydrophile property is imprinted at the negative part. The micro structure of the stamp is copied at a surface region of a hydrophile property resist(300) which is coated on a substrate(200) by using a nano imprint.
Abstract translation: 提供了使用纳米压印形成微图案的方法，以形成具有各种形状的图案，并且在微结构表面上交替地输出亲水区域和疏水性区域而无需化学处理。 印模（100）包括正极（320）和负极（120）部分，其中具有亲水性的微结构印在负极部分。 通过使用纳米印记将印模的微结构复制在涂布在基板（200）上的亲水性抗蚀剂（300）的表面区域。
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公开(公告)号：KR100588154B1
公开(公告)日：2006-06-09
申请号：KR1020050076102
申请日：2005-08-19
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 본 발명은 자기기록매체의 검사장치 및 그 검사방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 자기기록매체의 검사장치는, 상기 자기기록매체로 광을 출사시키는 헤테로다인레이저와; 상기 자기기록매체로부터 반사된 광을 특정 방향으로 편광시키는 편광부와; 편광된 광을 수광하는 수광부와; 수광된 광으로부터 자기컬신호를 검출하는 검출부와; 검출된 상기 자기컬신호를 표시하는 표시부를 포함한다. 이에 의해 정확하고 용이하게 자기기록매체의 자기컬신호를 검출할 수 있는 광학디바이스의 검사장치 및 그 검사방법이 제공된다.
Abstract translation: 检查磁记录介质的设备和方法 根据本发明的用于检查磁记录介质的设备包括：用于向磁记录介质发射光的外差激光器; 偏振器，用于使从磁记录介质反射的光沿特定方向偏振; 用于接收偏振光的光接收单元; 一种检测器，用于从接收到的光中检测磁卷曲信号; 以及用于显示检测到的磁卷曲信号的显示单元。 由此，提供了能够准确且容易地检测磁记录介质的磁卷曲信号的光学装置的检查装置和检查方法。
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公开(公告)号：KR100675798B1
公开(公告)日：2007-02-02
申请号：KR1020050012756
申请日：2005-02-16
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: F16C32/06
Abstract: 본 발명은 선형운동이 일어나는 면과 그 상대면의 면품질이 좋지 않거나 정밀도가 떨어지는 경우에도 선형모터 코일에 흐르는 전류를 제어하여 능동적으로 공극을 제어할 수 있는 능동형 제어 베어링 기구를 이용한 대행정 스테이지에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 선형 운동을 위한 선형모터 자석과 선형모터 코일를 구비하는 선형모터부를 포함하고, 특히 상기 선형모터 자석은 Halbach 자석 배열이 되도록 하여 상기 선형모터부에서 선형 운동을 위한 추진력을 생성함과 동시에 원활한 선형 운동이 이루어질 수 있도록 가이드 하는 베어링 효과를 위한 힘을 생성하도록 한다. 가이드 시스템으로 공기베어링 시스템을 사용하는 경우에는 상기 선형모터부에서 유도되는 힘 중 특정방향의 힘은 공기베어링에 예압을 가하는데 이용된다. 또한 본 발명은 공기베어링 시스템 뿐만 아니라 그 외의 가이드 시스템에 대해서도 동일하게 적용할 수 있다.
스테이지, 공기베어링, 자석배열, 능동형 제어 베어링-
公开(公告)号：KR1020060087880A
公开(公告)日：2006-08-03
申请号：KR1020050008749
申请日：2005-01-31
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/027 , B82Y40/00
CPC classification number: B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/00 , H01L23/544 , H01L2223/54426
Abstract: 나노 임프린트 리소그래피용 정렬시스템 및 이를 채용한 임프린트 리소그래피 방법가 개시된다. 개시된 나노 임프린트 리소그래피용 정렬시스템은 몰드에 마련되어 전자들을 방출하는 복수의 전자 방출 소자와, 전자 방출 소자들에 대응하도록 마련되어 전자 방출 소자들로부터 방출된 전자들이 도달하는 전극을 구비하여, 전극에 흐르는 전류가 최대치가 될 수 있도록 몰드와 기판을 조정하여 서로 정렬시킨다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100534140B1
公开(公告)日：2005-12-08
申请号：KR1020040047051
申请日：2004-06-23
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은, 스테이지장치에 있어서, 상호 이격된 제1가이드 및 제2가이드를 갖는 가이드유닛과; 상기 제1가이드 및 상기 제2가이드 사이에 마련되어 상기 가이드유닛에 대해 상대 이동하는 가동자와; 상기 제1가이드와 상기 가동자 사이에 마련되도록 상기 제1가이드 및 상기 가동자 중 적어도 하나에 결합된 에어베어링과; 상기 가동자를 상기 가이드유닛에 대해 상대 이동시키도록 상기 가동자 및 상기 제2가이드 중 어느 하나에 결합되어 다른 하나에 접촉하는 액추에이터와; 상기 가동자 및 상기 가이드유닛 중 어느 하나에 결합되어 다른 하나에 대해 상대 이동하는 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 구조가 간단하며, 용이하게 조립 및 분해할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100699092B1
公开(公告)日：2007-03-23
申请号：KR1020050111785
申请日：2005-11-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/02 , B41K3/00 , B81C1/0046 , H05K2203/0108
Abstract: A pattern forming method and a pattern forming apparatus are provided to obtain high qualities from a pattern and to reduce pattern forming costs. An object is loaded on a loading portion(S100). A center portion of soft mold is protruded toward the object by applying a fluid pressure to a rear surface of the soft mold(S200). The soft mold is attached to the object from the center portion to the other portions(S300). A predetermined pattern of the soft mold is printed on the object. The soft mold is separated from the object(S600). An edge portion of the soft mold is fixed to a support body. The center portion is protruded from the soft mold due to the fluid pressure applied to the rear surface of the soft mold.
Abstract translation: 提供图案形成方法和图案形成装置以从图案获得高质量并且减少图案形成成本。 物体被装载在装载部分上（S100）。 通过向软模的后表面施加流体压力使软模的中心部朝向物体突出（S200）。 软模具从中心部分附接到物体到另一部分（S300）。 柔性模具的预定图案被印刷在物体上。 软模与物体分离（S600）。 软模具的边缘部分固定在支撑体上。 由于施加到软模的后表面的流体压力，中心部分从软模具突出。
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公开(公告)号：KR100662576B1
公开(公告)日：2006-12-28
申请号：KR1020050068555
申请日：2005-07-27
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 프로토포포브,블라디미르 , 조성훈 , 이석원 , 이문구 , 김광수
Abstract: An apparatus and a method for inspecting an optical device are provided to measure the deformation of the optical device. An apparatus for inspecting an optical device includes a heterodyne laser(10), a phase changing section(30), a polarization section(40), a light collecting section(50), an optical diode(60), and a signal processing section(70). The heterodyne laser irradiates light to the optical device. The phase changing section removes noise by changing the phase of the light irradiated from the heterodyne laser. The polarization section polarizes the light passed through the optical device to a predetermined direction. The light collecting section collects the polarized light. The optical diode converts the collected light to an electrical signal. The signal processing section processes the electrical signal.
Abstract translation: 提供了用于检查光学装置的设备和方法，以测量光学装置的变形。 一种用于检查光学装置的设备包括外差激光器（10），相位改变部分（30），偏振部分（40），光收集部分（50），光学二极管（60）和信号处理部分 （70）。 外差激光器将光照射到光学装置。 相变部分通过改变从外差激光器照射的光的相位来去除噪声。 偏振部分将通过光学装置的光线偏振到预定方向。 光收集部分收集偏振光。 光学二极管将收集的光转换为电信号。 信号处理部分处理电信号。
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公开(公告)号：KR100620384B1
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：KR1020050057622
申请日：2005-06-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H05K3/06
Abstract: 본 발명은, 기판에 패턴을 형성하는 기판제조방법에 관한 것으로서, 상기 기판 표면에 레지스트를 도포하는 단계와; 소정의 음각패턴이 형성된 스탬프를 상기 기판의 레지스트에 가압하여 각인하는 단계와; 상기 레지스트를 경화하는 단계와; 상기 스탬프를 상기 기판의 레지스트로부터 분리하는 단계와; 상기 기판에 상기 스탬프에 의해 형성된 각인부에 액상으로 마련되며 전도성이 있는 경화제를 도포하는 단계와; 상기 경화제를 경화하는 단계와; 경화된 상기 경화제가 패턴을 형성하도록 상기 레지스트를 에칭하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 복잡한 형상의 미세패턴이 비교적 간단하며 용이하게 형성될 수 있는 기판제조방법이 제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种制造用于在基板上形成图案的基板的方法，该方法包括以下步骤：将抗蚀剂施加到基板的表面; 将具有预定雕刻图案的印章压印在基材的抗蚀剂上并对印章进行冲压; 固化抗蚀剂; 将印模与基材的抗蚀剂分离; 在由印模形成的印模上以液相将导电固化剂施加到基材上; 固化固化剂; 蚀刻抗蚀剂以使固化的硬化剂形成图案。 由此，提供了一种衬底制造方法，其中可以相对容易且容易地形成复杂形状的精细图案。
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公开(公告)号：KR100277130B1
公开(公告)日：2001-01-15
申请号：KR1019980050273
申请日：1998-11-23
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 이문구
IPC: H04B10/00
Abstract: 가. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
본 발명은 광전송시스템에서 재생기 구간 오버헤드의 인터페이스 방법에 관한 것이다.
나. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제
쉘프에 사용되지 않는 슬롯의 수를 최소화할 수 있도록 재생기 구간 오버헤드를 인터페이스한다.
다. 발명의 해결방법의 요지
워킹 및 프로텍팅 유니트 그룹으로 이루어진 이스트 및 웨스트 유니트 그룹으로 구성되는 단말의 이스트 유니트 그룹과 웨스트 유니트 그룹이 각각 설치된 쉘프들에 설치된 재생기 구간 오버헤드 추출부들을 통해 재생기 구간 오버헤드의 채널들을 추출하는 단계와, 상기 각 쉘프의 재생기 구간 오버헤드 추출부들이 추출한 채널들 중에서 워킹 유니트에 대응한 재생기 구간 오버헤드 추출부가 추출한 채널을 선택하여 처리하는 단계와, 이스트 및 웨스트 유니트 그룹으로 구성된 단말의 이스트 유니트 그룹과 웨스트 유니트 그룹이 설치된 쉘프들에 설치된 재생기 구간 오버헤드 추출부들을 통해 재생기 구간 오버헤드의 채널들을 추출하는 단계와, 상기 쉘프의 재생기 구간 오버헤드 추출부들이 추출한 채널들을 입력받아 처리하는 단계를 구비하는 � �을 특징으로 한다.
라. 발명의 중요한 용도
광전송시스템에 사용된다.
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