公开(公告)号：KR1020110106751A

公开(公告)日：2011-09-29

申请号：KR1020100025989

申请日：2010-03-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김덕기 ,  김병철 ,  정훈 ,  권용우

IPC: H01L21/8247 ,  H01L27/115

CPC classification number: H01L27/2409 ,  H01L27/2463 ,  H01L45/06 ,  H01L45/1253 ,  H01L45/147

Abstract: 반도체소자 및 전자 시스템을 제공한다. 이 반도체 소자는 하부 도전성 패턴 및 상기 하부 도전성 패턴 상의 중간 도전성 패턴을 포함한다. 상기 중간 도전성 패턴 상에 상기 중간 도전성 패턴과 전기적으로 연결된 상부 도전성 패턴이 제공된다. 상기 중간 도전성 패턴은 제1 부분 및 상기 제1 부분의 일부로부터 연장되어 상기 제1 부분보다 높은 레벨에 위치하는 제2 부분을 포함한다. 상기 상부 도전성 패턴은 상기 중간 도전성 패턴의 상기 제1 부분 상에 형성되며 상기 제2 부분보다 높은 레벨에 위치하는 상부면을 갖는다.