公开(公告)号：KR1019970007556A

公开(公告)日：1997-02-21

申请号：KR1019950023172

申请日：1995-07-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 나기정 ,  임현우 ,  홍정의 ,  이재형

IPC: G05D16/00

Abstract: 습식 공정시 제어 불량을 해결한 EPIC 시스템 장치를 개시한다. EPIC 또는 자동 압력 제어기(Auto Pressure Controller : 이하 APC) 시스템 정면 입구(FRONT DOOR)에 압력 게이지(PRESSURE GAUGE) 입력부위를 “T”형으로 개조하여 설비 챔버, 압력 게이지, N
2 제거 라인(PURGE LINE)에 각각 연결하여 공정 진행후 계속적인 N
2 제거(PURGE)를 실시함으로 압력 게이지 센서(PRESSURE GAUGE SENSOR)부를 N
2 로 건조(DRY)시켜 수분 및 부식성 가스로 발생될 수 있는 제어 불량문제를 해결 할 수 있는 EPIC 시스템 장치를 제공한다. 본 발명에서는 압력 감지가 잘못된 경우엔 오히려 더 나빠지는 공정 결과 때문에 EPIC 또는 자동 압력 제어기(APC)의 압력 감지 부분을 개선하여 지속적으로 정확한 압력 감지를 보장함으로서 두께 편차를 획기적으로 감소시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR1019980056098A

公开(公告)日：1998-09-25

申请号：KR1019960075362

申请日：1996-12-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 나기정

IPC: H01L21/324

Abstract: 본 발명에 개시된 확산로 장치는 반응실과, 상기 반응실을 밀폐시키기 위한 도어와, 상기 반응실을 가열시키기 위하여 상기 로를 둘러싼 가열 수단과, 상기 도어에 의해 상기 로가 제대로 밀폐되었는지의 여부를 판단하는 도어 닫힘 감지 장치를 구비한 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 도어 닫힘 감지 장치를 구비하여 도어가 제대로 닫혔을 경우에만 확산 공정이 진행되도록 함으로써 확산로 장치의 수명을 연장시킬 수 있을 뿐만 아니라 공정 이상의 발생 여지를 감소시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR1019980014171A

公开(公告)日：1998-05-15

申请号：KR1019960033027

申请日：1996-08-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 나기정 ,  홍정의

IPC: H01L21/20

Abstract: 프로세스 튜브를 갖는 수평 에트모스캔 시스템에 대해 기재되어 있다. 본 발명에 의한 프로세스 튜브는, 수평형 튜브 및 상기 수평형 튜브의 앞부분에 설치되되, 상기 수평형 튜브의 단부로부터 소정의 간격을 두고 설치된 프랜지를 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 히터와 프로세스 튜브 사이의 밀림 현상을 방지함과 동시에 프로세스 튜브와 에트모스캠 튜브와의 봉합을 좋게할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019970008337A

公开(公告)日：1997-02-24

申请号：KR1019950023174

申请日：1995-07-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이재형 ,  나기정 ,  홍정의 ,  정병홍

IPC: H01L21/228

Abstract: 반도체 장치의 웰 형성방법에 대해 기재되어 있다. 이는 제1도전형 웰이 형성될 영역에 제1도전형의 불순물을 주입하는 제1공정, 영역의 표면에 웰 산화막을 형성하는 제2공정, 결과물 전면에 절연막을 형성하는 제3공정, 절연막이 형성되어 있는 결과물 전면에 제2도전형의 불순물을 주입하는 제4공정 및 드라이브-인 공정을 실시하여 제1 및 제2도전형의 웰을 형성하는 제5공정을 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 웰의 표면 농도 및 저항이 변화하는 것을 방지하였다.

公开(公告)号：KR1019990027883A

公开(公告)日：1999-04-15

申请号：KR1019970050413

申请日：1997-09-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 나기정

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은 반도체 제조장비의 진단시스템에 관한 것으로, 반도체 제조장비의 진단시스템에 있어서, 반도체 제조장비의 일 구성요소을 선택하는 기능을 갖는 진단부 선택부와, 선택된 진단부에 대한 세부적인 진단항목들이 기억되어 있고 세부 진단항목들중 하나를 선택하는 기능을 갖는 세부 진단항목 선택부와, 반도체 제조장비 내에 장착된 측정장비들중 선택된 세부 진단항목을 테스트하기 위한 적어도 하나 이상의 측정장비를 선택하는 기능을 갖고 선택된 진단부의 세부 진단을 실시하는 기능을 갖는 측정장비 선택부와, 선택된 측정장비에 의해 측정된 결과를 육안으로 확인할 수 있도록 표시해주는 측정결과 표시부를 포함하는 것을 특징으로 한다.